[实用新型]一种穿通结构的瞬态电压抑制二极管芯片有效

专利信息
申请号: 201920552938.2 申请日: 2019-04-23
公开(公告)号: CN209658187U 公开(公告)日: 2019-11-19
发明(设计)人: 朱瑞;许柏松;邱健繁;徐永斌;叶新民 申请(专利权)人: 江阴新顺微电子有限公司
主分类号: H01L29/87 分类号: H01L29/87;H01L21/329;H01L29/06
代理公司: 11429 北京中济纬天专利代理有限公司 代理人: 赵海波<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 214400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 穿通 外延层 衬底层 瞬态电压抑制二极管 阳极金属层 阴极金属层 金属层 阴极区 芯片 本实用新型 原材料供应 原材料加工 产品保护 产品设计 产品性能 分立器件 制造工艺 电场 传统的 高掺杂 原结构 集成电路 横跨 贯穿 制造
【权利要求书】:

1.一种穿通结构的瞬态电压抑制二极管芯片,其特征在于:包括金属层、P++衬底层、P-外延层、P+穿通层和N+阴极区,所述金属层包括阴极金属层和阳极金属层,所述P++衬底层和P-外延层依次设于阳极金属层和阴极金属层之间;所述P+穿通层贯穿P-外延层,P+穿通层与P++衬底层相连通,所述N+阴极区横跨于P+穿通层和P-外延层上。

2.根据权利要求1所述的一种穿通结构的瞬态电压抑制二极管芯片,其特征在于:所述阴极金属层为铝或铝硅或铝硅铜合金,所述阳极金属层为Ti/Ni/Ag组合物或Cr/Ni/Ag组合物或V/Ni/Ag组合物。

3.根据权利要求1所述的一种穿通结构的瞬态电压抑制二极管芯片,其特征在于:所述P++衬底层的厚度为300~530μm,P++衬底层电导率的不大于0.02Ω.cm。

4.根据权利要求1所述的一种穿通结构的瞬态电压抑制二极管芯片,其特征在于:所述P-外延层的厚度为6~12μm,P-外延层的电导率为1~5Ω.cm。

5.根据权利要求1所述的一种穿通结构的瞬态电压抑制二极管芯片,其特征在于:所述阴极金属层的厚度为3~8μm,阳极金属层的厚度为0.5~3μm。

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