[发明专利]芯片的制作方法在审

专利信息
申请号: 201911355371.0 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN113035793A 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 葛孝昊;曾丹;史波;赵家宽 申请(专利权)人: 珠海格力电器股份有限公司;珠海零边界集成电路有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L21/56;H01L21/78
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 李辉;颜镝
地址: 519070*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 芯片 制作方法
【说明书】:

发明涉及一种芯片的制作方法,芯片的制作方法包括:在晶圆片(1)的表面形成电路层;对形成有所述电路层的晶圆片(1)进行封装;以及对封装后的所述晶圆片(1)进行切割,以形成多个封装后的芯片。应用本发明的技术方案,首先将整片的晶圆片进行封装,然后再对封装后的晶圆片进行切割以获得封装后的芯片,有利于改善相关技术中存在的芯片的制作方法工作繁琐、成本较高的问题。

技术领域

本发明涉及集成电路技术领域,具体而言,涉及一种芯片的制作方法。

背景技术

现在主流的芯片封装方案是:来料检验→晶圆研磨→晶圆切割→上芯→固化→清洗→打电极引线→拉力测试→注塑→固化→电镀→切筋成型→测试→镭射印码→检测包装。整个工序十分复杂且工艺繁琐,导致成本很高。

发明内容

本发明旨在提供一种芯片的制作方法,以改善相关技术中存在芯片的制作方法工作繁琐、成本较高的问题。

根据本发明实施例的一个发明,提供了一种芯片的制作方法,芯片的制作方法包括:

在晶圆片的表面形成电路层;

对形成有电路层的晶圆片进行封装;以及

对封装后的晶圆片进行切割,以形成多个封装后的芯片。

在一些实施例中,在晶圆片的表面形成电路层包括:

在晶圆片的表面形成多个芯片电路;以及

在芯片电路的背对晶圆片的一面形成电极引线,电极引线与封装后的晶圆片的切割路径相交叉。

在一些实施例中,在晶圆片的表面形成电路层包括:在晶圆片的表面形成多行芯片电路,相邻两行的芯片电路对齐。

在一些实施例中,在晶圆片的表面形成电路层包括:多个芯片电路分成多组,每组芯片电路包括相邻的两个芯片电路,电极引线的两端分别与两个芯片电路连接。

在一些实施例中,对形成有电路层的晶圆片进行封装包括:

将形成有电路层的晶圆片连接在基板上;

将熔融的塑封材料包覆在晶圆片和基板的外侧;以及

使塑封材料固化。

在一些实施例中,将形成有电路层的晶圆片连接在基板上包括:

在基板上布置结合材料;

采用回流焊的方式将结合材料固化,以将基板和晶圆片连接在一起。

在一些实施例中,在基板上布置结合材料包括:在基板上印刷结合材料。

在一些实施例中,将形成有电路层的晶圆片连接在基板上还包括:在基板和晶圆片焊接后,对基板和晶圆片进行清洗。

在一些实施例中,使塑封材料固化包括:将晶圆片、基板和塑封材料加热至预定温度。

在一些实施例中,对封装后的晶圆片进行切割包括:采用激光切割的方式切割晶圆片。

应用本发明的技术方案,首先将整片的晶圆片进行封装,然后再对封装后的晶圆片进行切割以获得封装后的芯片,有利于改善相关技术中存在的芯片的制作方法工作繁琐、成本较高的问题。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述,本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或相关技术中的技术方案,下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

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