[发明专利]芯片的制作方法在审
申请号: | 201911355371.0 | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN113035793A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 葛孝昊;曾丹;史波;赵家宽 | 申请(专利权)人: | 珠海格力电器股份有限公司;珠海零边界集成电路有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/56;H01L21/78 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 李辉;颜镝 |
地址: | 519070*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 制作方法 | ||
本发明涉及一种芯片的制作方法,芯片的制作方法包括:在晶圆片(1)的表面形成电路层;对形成有所述电路层的晶圆片(1)进行封装;以及对封装后的所述晶圆片(1)进行切割,以形成多个封装后的芯片。应用本发明的技术方案,首先将整片的晶圆片进行封装,然后再对封装后的晶圆片进行切割以获得封装后的芯片,有利于改善相关技术中存在的芯片的制作方法工作繁琐、成本较高的问题。
技术领域
本发明涉及集成电路技术领域,具体而言,涉及一种芯片的制作方法。
背景技术
现在主流的芯片封装方案是:来料检验→晶圆研磨→晶圆切割→上芯→固化→清洗→打电极引线→拉力测试→注塑→固化→电镀→切筋成型→测试→镭射印码→检测包装。整个工序十分复杂且工艺繁琐,导致成本很高。
发明内容
本发明旨在提供一种芯片的制作方法,以改善相关技术中存在芯片的制作方法工作繁琐、成本较高的问题。
根据本发明实施例的一个发明,提供了一种芯片的制作方法,芯片的制作方法包括:
在晶圆片的表面形成电路层;
对形成有电路层的晶圆片进行封装;以及
对封装后的晶圆片进行切割,以形成多个封装后的芯片。
在一些实施例中,在晶圆片的表面形成电路层包括:
在晶圆片的表面形成多个芯片电路;以及
在芯片电路的背对晶圆片的一面形成电极引线,电极引线与封装后的晶圆片的切割路径相交叉。
在一些实施例中,在晶圆片的表面形成电路层包括:在晶圆片的表面形成多行芯片电路,相邻两行的芯片电路对齐。
在一些实施例中,在晶圆片的表面形成电路层包括:多个芯片电路分成多组,每组芯片电路包括相邻的两个芯片电路,电极引线的两端分别与两个芯片电路连接。
在一些实施例中,对形成有电路层的晶圆片进行封装包括:
将形成有电路层的晶圆片连接在基板上;
将熔融的塑封材料包覆在晶圆片和基板的外侧;以及
使塑封材料固化。
在一些实施例中,将形成有电路层的晶圆片连接在基板上包括:
在基板上布置结合材料;
采用回流焊的方式将结合材料固化,以将基板和晶圆片连接在一起。
在一些实施例中,在基板上布置结合材料包括:在基板上印刷结合材料。
在一些实施例中,将形成有电路层的晶圆片连接在基板上还包括:在基板和晶圆片焊接后,对基板和晶圆片进行清洗。
在一些实施例中,使塑封材料固化包括:将晶圆片、基板和塑封材料加热至预定温度。
在一些实施例中,对封装后的晶圆片进行切割包括:采用激光切割的方式切割晶圆片。
应用本发明的技术方案,首先将整片的晶圆片进行封装,然后再对封装后的晶圆片进行切割以获得封装后的芯片,有利于改善相关技术中存在的芯片的制作方法工作繁琐、成本较高的问题。
通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述,本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或相关技术中的技术方案,下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
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