[发明专利]机械手臂和半导体处理设备

权利要求书

1.一种机械手臂，其特征在于，包括：

第一手臂、第二手臂以及固定块；

其中所述第一手臂、第二手臂均具有端部和与端部连接的支撑部，所述固定块包括底部表面和相对的顶部表面，以及位于所述顶部表面和顶部表面之间至少两相对的侧面；

位于所述固定块中且贯穿所述固定块的部分所述底部表面的第一凹槽，所述第一凹槽的两侧侧壁具有若干螺丝安装孔；

位于所述固定块中且分别贯穿所述固定块的两相对的侧面的部分表面的第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽的两侧；

所述第一手臂的端部和所述第二手臂的端部分别位于第一凹槽两侧的第二凹槽中，若干螺丝从第一凹槽中穿过相应的螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂分别固定。

2.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述第二凹槽与第一凹槽相互贯穿，所述螺丝安装孔位于第一凹槽的侧壁上。

3.如权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述第一手臂和第二手臂的端部上具有凸起部，所述凸起部凸出于端部的表面，所述第一手臂和第二手臂的凸起部位于第一凹槽中与第一凹槽的侧壁接触，所述若干螺丝从第一凹槽中穿过凸起部和螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂固定。

4.如权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，所述第一凹槽的数量为两个，所述第一手臂的端部上和第二手臂的端部上凸起部的数量为一个，第一手臂和第二手臂的凸起部分别固定于不同的第一凹槽的侧壁。

5.如权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，所述第一手臂的端部上和第二手臂的端部上具有的若干凸起部，所述第一凹槽的数量为若干，所述第一手臂的端部上和第二手臂的端部上具有的若干凸起部分别固定于若干第一凹槽的侧壁上。

6.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述第二凹槽与第一凹槽未相互贯通，所述螺丝安装孔位于第二凹槽底部和第一凹槽两侧的相交的侧壁上，若干螺丝从第一凹槽中穿过相应的螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂端部分别固定。

7.如权利要求6所述的机械手臂，其特征在于，所述第一手臂和第二手臂的端部的侧壁上具有与螺丝对应的螺纹孔。

8.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述第一凹槽两侧的固定块的顶部上还具有若干固定螺丝安装孔，所述固定螺丝安装孔贯穿固定块的顶部表面并连通第二凹槽，所述第一手臂和第二手臂的端部上具有对应的螺纹孔。

9.如权利要求8所述的机械手臂，其特征在于，所述第一手臂和第二手臂的端部分别置于对应的第二凹槽中，若干固定螺丝从固定块的顶部表面穿过固定螺丝安装孔，固定于相应的螺纹孔中，将第一手臂和第二手臂固定。

10.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述第一凹槽两侧的固定块的顶部上还具有若干固定螺丝安装孔，所述固定螺丝安装孔贯穿固定块的顶部表面并连通第二凹槽，所述第一手臂和第二手臂的端部上具有对应的穿孔，所述固定块的底部上具有相应的螺丝孔。

11.如权利要求10所述的机械手臂，其特征在于，所述第一手臂和第二手臂的端部分别置于对应的第二凹槽中，若干固定螺丝从固定块的顶部表面穿过固定螺丝安装孔和穿孔，固定于固定块底部的相应的螺丝孔中，将第一手臂和第二手臂固定。

12.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述第二凹槽的宽度大于或等于第一手臂和第二手臂端部的厚度。

13.一种半导体处理设备，其特征在于，包括：如权利要求1-12任一项所述的机械手臂。