[发明专利]半导体构件和用于制造半导体构件的方法有效
| 申请号: | 201880049497.2 | 申请日: | 2018-07-03 |
| 公开(公告)号: | CN110945646B | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
| 发明(设计)人: | R.布兰克;M.弗兰克;P.弗鲁豪夫;S.内雷特;R.克诺夫;B.米勒;J.斯特罗吉斯;K.威尔克 | 申请(专利权)人: | 西门子股份公司 |
| 主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H05K1/14;H05K3/36;H01R12/71;H01L23/538;H01L23/049;H01R12/52 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 张建锋 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 构件 用于 制造 方法 | ||
1.一种半导体构件(10),具有
-第一载体部件(12),
-与第一载体部件(12)对置地布置的第二载体部件(14),
-至少一个布置在第一和第二载体部件(12、14)之间的半导体元件(16),和
-至少一个由导电材料构成的接触面(18),所述接触面布置在第一载体部件(12)或第二载体部件(14)上,
-布置在直接与接触面(18)对置的载体部件(12、14)上的、由导电材料构成的接触套筒(20),所述接触套筒与所述接触面(18)对置地定位,和
-由导电材料构成的接触销(22),所述接触销在轴向端部具有用于电接触所述接触面(18)的端侧(24),并且在背对所述轴向端部的区域中具有用于使接触销(22)与接触套筒(20)借助压配合相连接的连接区域(26),
-其中,第一载体部件(12)和/或第二载体部件(14)具有连接至接触面(18)和/或接触套筒(20)的导体电路(32),并且
-其中,第一载体部件(12)和第二载体部件(14)提供半导体元件(16)与半导体构件(10)的至少一个连接触点的电连接。
2.根据权利要求1所述的半导体构件,其特征在于,所述接触套筒(20)布置在载体部件(12)的开口中。
3.根据权利要求1所述的半导体构件,其特征在于,所述接触销(22)的端侧(24)具有导电的接触辅助材料(28)。
4.根据权利要求1所述的半导体构件,其特征在于,所述接触销(22)至少在端侧的端部区域中具有由电绝缘的材料构成的间隔元件(30)。
5.一种用于制造半导体构件(10)的方法,其中,
-至少一个半导体元件(16)布置在第一载体部件(12)与和第一载体部件(12)对置地布置的第二载体部件(14)之间,并且
-至少一个由导电材料构成的接触面(18)布置在第一载体部件(12)或第二载体部件(14)上,
-布置在直接与接触面(18)对置的载体部件(12)上的、由导电材料构成的接触套筒(20)与所述接触面(18)对置地定位,
-由导电材料构成的接触销(22)布置为,使所述接触销(22)的轴向端部的端侧(24)电接触所述接触面(18),并且
-所述接触销(22)在背对轴向端部的区域中的连接区域(26)布置在接触套筒(20)中,并且借助压配合与接触套筒(20)连接,
-其中,第一载体部件(12)和/或第二载体部件(14)具有连接至接触面(18)和/或接触套筒(20)的导体电路(32),并且
-其中,第一载体部件(12)和第二载体部件(14)提供半导体元件(16)与半导体构件(10)的至少一个连接触点的电连接。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,在拼接半导体元件(16)、第一载体部件(12)和第二载体部件(14)时进行接触面(18)通过接触销(22)的端侧的接触和/或连接区域(26)与接触套筒(20)的连接。
7.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述接触销(22)在端侧的端部区域中具有由电绝缘的材料构成的间隔元件(30),其中,所述间隔元件(30)在拼接半导体元件(16)、第一载体部件(12)和第二载体部件(14)时被固化。
8.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,在拼接半导体元件(16)、第一载体部件(12)和第二载体部件(14)之前,将接触辅助材料(28)施加到所述接触销(22)的端侧(24)上。
9.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,随着所述半导体元件(16)、所述第一载体部件(12)和所述第二载体部件(14)的拼接、建立所述连接区域(26)和所述接触套筒(20)的压配合。
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