[发明专利]一种数据自动保存的芯片测试电路、测试系统及测试方法

说明书

本发明属于半导体芯片自动测试系统之测试、结果数据的自动保存技术领域，具体涉及一种数据自动保存的芯片测试电路、测试系统及测试方法。本专利的有益效果是：采用单片机ATmega32、光耦合器、电阻、发光二极管等少许元器件构成，以提取测试探针的信号灯逻辑信号，从光耦隔离后送入计算机，根据逻辑信号的时序，用C语言编写软件，当信号灯GREEN(绿)灯亮时，进行正常测试，当测试系统完成一片所有的管芯测试时，绿灯熄灭，RED(红)灯亮，电路装置发出中断信号，计算机自动保存整晶圆片管芯的测试数据。既消除了人工操作的失误几率，也大大提高了生产效率。

技术领域

本发明属于半导体芯片自动测试系统之测试、结果数据的自动保存技术领域，具体涉及一种数据自动保存的芯片测试电路、测试系统及其测试方法。

背景技术

本厂生产的芯片都是4寸或5寸芯片，每片上的管芯量都很大，在测试每个芯片时必须先把被测芯片放置在自动测试系统的探针台上，用调节好适合芯片上对应点比如B以及E电极的两个探针以及C衬底用自动测试系统连接，并调节好自动测试仪控制的每个管芯的测试步距，如此一来，每个芯片的测试就可从启动第一个管芯开始，被测参数值逐一被自动测试系统检测。

我们公司采用探针台与DTS2000软件对芯片进行测试。如图1所示，每一片被测芯片1的测试数据通过探针台4的测试探针2测试后必须进行手动按下存储按钮60操作才能进行保存，而没有进行保存测试数据的芯片就等于没有测试，必须重新测试。因此，必须对所测芯片的数据进行保存。而现有技术中，对于被测芯片的测试数据均采用手动保存操作，而进行手动操作的保存不利于无人干预的全自动测试，也增加了工作量而且容易出错。为了提高生产效率，提高芯片测试结果的质量，减少失误，必须实现测试数据的全自动保存。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种数据自动保存的芯片测试电路、测试系统及测试方法，每一片芯片测试结束时，测试完成(waferend)信号电路能自动识别探针台的信号灯变化，并以此作为一个测试结束信号发给自动存储装置，自动存储装置进行数据的自动保存，实现了测试数据的自动保存。

本专利解决上述技术问题的技术方案如下：一种数据自动保存的芯片测试电路，包括红存储指示灯端子Port_RED、绿存储指示灯端子Port_GREEN、测试完成端子waferend以及单片机U1，红存储指示灯端子Port_RED与绿存储指示灯端子Port_GREEN分别经过电阻R2、R4连接光耦合器U2、U3的输入端，光耦合器U2、U3的输出端分别串联电阻R1、R3后连接红发光二极管D1、绿发光二极管D2的负极，红发光二极管D1、绿发光二极管D2的正极分别接入24V电源VCC，光耦合器U2、U3分别连接单片机U1的PB2、PD3引脚，单片机U1的PD7引脚连接绿发光二极管D3的负极，绿发光二极管D3的正极串接电阻R5后接到正电源VCC，单片机U1的PD4引脚连接光耦合器U4的输入端，光耦合器U4的输入端还通过电阻R7连接正电源VCC，光耦合器U4的输出端接入红发光二极管D4的负极，红发光二极管D4的正极通过电阻R6连接正电源VCC2，光耦合器U4的输出端还连接测试完成端子waferend。

进一步地，所述单片机为ATmega32单片机，所述电阻R2、R4的阻值为2kΩ，所述电阻R1、R3、R5、R6、R7的阻值为330Ω。

一种数据自动保存的芯片测试系统，包括被测芯片、探针台、自动存储装置和存储终端；

所述探针台，通过导线连接有若干测试探针，所述测试探针用于测试所述被测芯片；

所述自动存储装置，用于实时监测所述探针台的测试信号，当监测到测试停止的信号时接收所述测试探针的测试数据并发送给所述存储终端；

所述存储终端，用于接收所述自动存储装置的存储数据并进行自动保存。

进一步地，还包括用于将被测芯片上下、左右以及前后移动的自动驱动装置。