[实用新型]一种半导体晶圆封装结构有效

专利信息
申请号: 201721238104.1 申请日: 2017-09-26
公开(公告)号: CN207503959U 公开(公告)日: 2018-06-15
发明(设计)人: 林文浩;何根余;方琼慧 申请(专利权)人: 合肥新汇成微电子有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L23/528;H01L23/29
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 晶圆芯片 封料层 布线层 半导体晶圆 本实用新型 保护膜层 封装结构 基板 基板上表面 安装密封 电性连接 连接部位 填充橡胶 灌注管 灌注孔 晶圆片 可调节 橡胶 贯通
【说明书】:

实用新型公开了一种半导体晶圆封装结构,包括基板和晶圆芯片,所述基板上方设有凹槽,所述凹槽内设有晶圆芯片,所述基板上表面设有封料层,所述封料层上方设有布线层,所述晶圆芯片位于凹槽与封料层之间,所述布线层上方设有保护膜层,所述晶圆芯片连接部位电性连接导线,所述凹槽一侧贯通封料层、布线层和保护膜层设有灌注管。本实用新型设计新颖,结构巧妙,利用贴连晶圆芯片的凹槽内填充橡胶,且通过灌注孔可调节凹槽内橡胶数量,便于不同形状的晶圆片安装密封,操作简单,具有很好的推广价值。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体晶圆,特别涉及一种半导体晶圆封装结构。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅,而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化,并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅,其纯度高达99.999999999%,硅是由石英砂所精练出来的,晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成硅晶棒,成为制造集成电路的石英半导体的材料,经过照相制版,研磨,抛光,切片等程序,将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆,随着集成电路技术的不断发展,电子产品越来越向小型化、智能化以及高可靠性方向发展,而集成电路封装直接影响着集成电路、电子模块乃至整机性能,在集成电路晶片尺寸逐步缩小、集成度不断提高的情况下,电子工业对集成电路封装结束提出了越来越高的要求。传统的晶圆封装,只能根据各种尺寸晶圆去制造封装装置,较为麻烦,为此,我们提出一种半导体晶圆封装结构。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种半导体晶圆封装结构,可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:

一种半导体晶圆封装结构,包括基板和晶圆芯片,所述基板上方设有凹槽,所述凹槽内设有晶圆芯片,所述基板上表面设有封料层,所述封料层上方设有布线层,所述晶圆芯片位于凹槽与封料层之间,所述布线层上方设有保护膜层,所述晶圆芯片连接部位电性连接导线,所述凹槽一侧贯通封料层、布线层和保护膜层设有灌注管。

进一步地,所述晶圆芯片与凹槽内设有填充物,所述填充物为橡胶。

进一步地,所述封料层的材料为环氧树脂,所述灌注管上方设有密封盖。

进一步地,所述基板为硅晶片,所述保护膜层表面涂有防火涂料。

与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:该种用于光学实验的五角分光棱镜通过设置的基板和凹槽,便于安放晶圆芯片,通过设置的封料层,便于对晶圆芯片密封,通过设置的布线层,便于内部形成闭合电路,通过设置的保护膜层,便于对内部布线层进行保护,通过设置的灌注管及填充物,便于对凹槽内填充,可根据安放的晶圆芯片大小进行填充,且安全性好,本实用新型设计新颖,结构巧妙,利用贴连晶圆芯片的凹槽内填充橡胶,且通过灌注孔可调节凹槽内橡胶数量,便于不同形状的晶圆片安装密封,操作简单,具有很好的推广价值。

附图说明

图1为本实用新型一种半导体晶圆封装结构的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种半导体晶圆封装结构的基板凹槽俯视结构示意图。

图中:1、基板;2、凹槽;3、填充物;4、晶圆芯片;5、封料层;6、布线层;7、保护膜层;8、导线;9、灌注管;10、密封盖。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。

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