[发明专利]具有移动载体容纳装置的移动装置的装配机有效
申请号: | 201711248059.2 | 申请日: | 2017-12-01 |
公开(公告)号: | CN108198776B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 麦斯勒·克利斯汀 | 申请(专利权)人: | 先进装配系统有限责任两合公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/60 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人: | 艾晶 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 移动 载体 容纳 装置 装配 | ||
1.一种给载体(190)装配无壳体芯片(382)的装配机,其用来制造电子元件,这些电子元件分别具有至少一个位于壳体中的芯片(382),该壳体具有硬化的铸造材料,所述装配机(100、400)具有:
机架(112);
供应装置(140),其用来提供晶片(180),所述晶片具有许多芯片(382),其中所述供应装置(140)设置在所述机架(112)上;
移动装置(170),其设置在所述机架(112)上;
平面-定位系统,其具有设置在机架(122)上的静止部件和可活动部件;
以及设置在可活动部件上的装配头(120),其用来从提供的晶片(180)上提取芯片(382)并且在装配区域(126)之内将提取的芯片(382)定位在该容纳的载体(190)的预定义的装配位置上;以及
载体-容纳装置(130),其用来容纳待装配的载体(190),其中
载体-容纳装置(130)机械地耦合到移动装置(170)上,
并且载体-容纳装置(130)能够借助移动装置(170)平行于预定的XY-平面移动,该XY-平面通过X-方向和Y-方向撑开,其中X-方向垂直于Y-方向,
载体-容纳装置(130)具有一体的支承元件(132),其是载体-容纳装置(130)的至少一个上方部件,其中待装配的载体(190)能够平放在该一体的支承元件(132)上,
与装配区域(126)相比,该一体的支承元件(132)在X-方向上具有更大的伸展性,
所述载体-容纳装置(130)能够借助移动装置(170)至少沿着X-方向移动使得所述一体的支承元件(132)相对于所述装配区域(126)移动,以及
所述静止部件是静止的承载轨道(114),装配头(120)能够借助该承载轨道沿着Y-方向移动,并且可活动部件是可移动的承载板(118),装配头(120)设置在此承载板上,其中表面定位系统还具有可在承载轨道(114)上移动的承载臂(116),可移动的承载板(118)能够沿着该承载臂在X-方向上移动,以及
其中所述装配机还具有输送装置(260),该输送装置用于沿着X-方向将所述载体(190)输送到一体的支承元件(132)的上侧上。
2.根据权利要求1所述的装配机,其特征在于:该装置还具有抬升装置(284),其耦合到机架(112)上并且这样配置,即一体的支承元件(132)相对于机架(112)沿着z-方向移动,其中z-方向垂直于XY-平面。
3.根据权利要求1所述的装配机,其特征在于:所述一体的支承元件(132)具有气动接口(433),负压能够借助所述接口施加到载体(190)的下表面上。
4.根据权利要求1所述的装配机,其特征在于:该装置还具有调温装置(438),其在热量方面与一体的支承元件(132)耦合,并且使一体的支承元件(132)保持在恒定的温度上。
5.根据权利要求1所述的装配机,其特征在于:所述一体的支承元件(132)的纵向-热膨胀系数在20°C时小于10*10-6/K,或小于5*10-6/K,或小于2*10-6/K。
6.根据权利要求1所述的装配机,其特征在于:所述一体的支承元件(132)具有至少两个第一标记(434a),其在光学上可识别。
7.根据权利要求6所述的装配机,其特征在于:所述至少两个第一标记(434a)设置在一体的支承元件(132)的上侧上的空间区域之外,该空间区域设置得用来容纳所述载体(190),其中这两个第一标记(434a)沿X-方向设置。
8.根据权利要求1所述的装配机,其特征在于:所述一体的支承元件(132)具有至少两个第二标记(434b),其在光学上可识别。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造