[发明专利]具有移动载体容纳装置的移动装置的装配机有效

专利信息
申请号: 201711248059.2 申请日: 2017-12-01
公开(公告)号: CN108198776B 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 麦斯勒·克利斯汀 申请(专利权)人: 先进装配系统有限责任两合公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/68;H01L21/60
代理公司: 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 代理人: 艾晶
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具有 移动 载体 容纳 装置 装配
【权利要求书】:

1.一种给载体(190)装配无壳体芯片(382)的装配机,其用来制造电子元件,这些电子元件分别具有至少一个位于壳体中的芯片(382),该壳体具有硬化的铸造材料,所述装配机(100、400)具有:

机架(112);

供应装置(140),其用来提供晶片(180),所述晶片具有许多芯片(382),其中所述供应装置(140)设置在所述机架(112)上;

移动装置(170),其设置在所述机架(112)上;

平面-定位系统,其具有设置在机架(122)上的静止部件和可活动部件;

以及设置在可活动部件上的装配头(120),其用来从提供的晶片(180)上提取芯片(382)并且在装配区域(126)之内将提取的芯片(382)定位在该容纳的载体(190)的预定义的装配位置上;以及

载体-容纳装置(130),其用来容纳待装配的载体(190),其中

载体-容纳装置(130)机械地耦合到移动装置(170)上,

并且载体-容纳装置(130)能够借助移动装置(170)平行于预定的XY-平面移动,该XY-平面通过X-方向和Y-方向撑开,其中X-方向垂直于Y-方向,

载体-容纳装置(130)具有一体的支承元件(132),其是载体-容纳装置(130)的至少一个上方部件,其中待装配的载体(190)能够平放在该一体的支承元件(132)上,

与装配区域(126)相比,该一体的支承元件(132)在X-方向上具有更大的伸展性,

所述载体-容纳装置(130)能够借助移动装置(170)至少沿着X-方向移动使得所述一体的支承元件(132)相对于所述装配区域(126)移动,以及

所述静止部件是静止的承载轨道(114),装配头(120)能够借助该承载轨道沿着Y-方向移动,并且可活动部件是可移动的承载板(118),装配头(120)设置在此承载板上,其中表面定位系统还具有可在承载轨道(114)上移动的承载臂(116),可移动的承载板(118)能够沿着该承载臂在X-方向上移动,以及

其中所述装配机还具有输送装置(260),该输送装置用于沿着X-方向将所述载体(190)输送到一体的支承元件(132)的上侧上。

2.根据权利要求1所述的装配机,其特征在于:该装置还具有抬升装置(284),其耦合到机架(112)上并且这样配置,即一体的支承元件(132)相对于机架(112)沿着z-方向移动,其中z-方向垂直于XY-平面。

3.根据权利要求1所述的装配机,其特征在于:所述一体的支承元件(132)具有气动接口(433),负压能够借助所述接口施加到载体(190)的下表面上。

4.根据权利要求1所述的装配机,其特征在于:该装置还具有调温装置(438),其在热量方面与一体的支承元件(132)耦合,并且使一体的支承元件(132)保持在恒定的温度上。

5.根据权利要求1所述的装配机,其特征在于:所述一体的支承元件(132)的纵向-热膨胀系数在20°C时小于10*10-6/K,或小于5*10-6/K,或小于2*10-6/K。

6.根据权利要求1所述的装配机,其特征在于:所述一体的支承元件(132)具有至少两个第一标记(434a),其在光学上可识别。

7.根据权利要求6所述的装配机,其特征在于:所述至少两个第一标记(434a)设置在一体的支承元件(132)的上侧上的空间区域之外,该空间区域设置得用来容纳所述载体(190),其中这两个第一标记(434a)沿X-方向设置。

8.根据权利要求1所述的装配机,其特征在于:所述一体的支承元件(132)具有至少两个第二标记(434b),其在光学上可识别。

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