[发明专利]一种金属膜剥离清洗方法

权利要求书

1.一种金属膜剥离清洗方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）将装有晶圆片的上片盒放到上片位置；

（2）对晶圆片位置、数量进行扫描记忆；

（3）依次从上片盒中吸附取上晶圆片，传输到化学液浸泡槽；

（4）从浸泡槽附取上晶圆片，经CCD中心定位后，传输到剥离腔体吸盘上，进行金属膜剥离；

（5）完成剥离工艺后传输到清洗腔的卡盘上，进行自动DI水清洗、吹氮气和甩干等工艺；

（6）将晶圆片取出放到收片片盒中，完成清洗过程。

2.如权利要求1一种金属膜剥离清洗方法，其特征在于：所述的金属剥离步骤为：基层清洗、镀金属膜、涂光阻胶、去胶、刻蚀以及曝光、显影。

3.如权利要求1一种金属膜剥离清洗方法，其特征在于：所述的DI水清洗水兆声喷头震荡频率为1MHz。

4.如权利要求1一种金属膜剥离清洗方法，其特征在于：所述的干燥的热氮气温度范围为80℃±5℃。