[发明专利]一种复合金属薄膜制备方法有效
| 申请号： | 202110196142.X | 申请日： | 2021-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN113005409B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 吴宝嘉;冯慧东;顾广瑞;张宇巍;王帅 | 申请（专利权）人： | 延边大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人： | 段宇 |
| 地址： | 133002 吉林省延*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合金属薄膜制备方法，属于金属薄膜制备技术领域，一种复合金属薄膜制备方法，包括以下步骤：S1、初镀，S2、混镀：形成金属膜材料‑牺牲材料混合层，S3、刻蚀：使初始金属膜表面形成粗糙层，S4、复镀，S5、出料，它可以在一层金属膜沉积成形后，通过金属膜材料和牺牲材料混合沉积形成金属膜材料‑牺牲材料混合层，然后通过牺牲材料刻蚀气体去除牺牲材料、保留初始金属膜材料，使上一层金属膜表面形成粗糙层后，再进行下一层金属膜的沉积成形，通过金属膜表面的粗糙层增加各层金属膜之间的连接强度，有效避免复合金属膜的外层膜容易剥落的问题，从而有效保障复合金属膜的多重有效功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 金属 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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