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- [发明专利]一种复合金属薄膜制备方法-CN202110196142.X有效
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吴宝嘉;冯慧东;顾广瑞;张宇巍;王帅
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延边大学
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2021-02-22
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2022-09-13
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C23C14/24
- 本发明公开了一种复合金属薄膜制备方法,属于金属薄膜制备技术领域,一种复合金属薄膜制备方法,包括以下步骤:S1、初镀,S2、混镀:形成金属膜材料‑牺牲材料混合层,S3、刻蚀:使初始金属膜表面形成粗糙层,S4、复镀,S5、出料,它可以在一层金属膜沉积成形后,通过金属膜材料和牺牲材料混合沉积形成金属膜材料‑牺牲材料混合层,然后通过牺牲材料刻蚀气体去除牺牲材料、保留初始金属膜材料,使上一层金属膜表面形成粗糙层后,再进行下一层金属膜的沉积成形,通过金属膜表面的粗糙层增加各层金属膜之间的连接强度,有效避免复合金属膜的外层膜容易剥落的问题,从而有效保障复合金属膜的多重有效功能。
- 一种复合金属薄膜制备方法
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