[实用新型]一种射频芯片及其无源器件的封装结构有效

专利信息
申请号: 201520792914.6 申请日: 2015-10-10
公开(公告)号: CN204966479U 公开(公告)日: 2016-01-13
发明(设计)人: 王波;马强;杨静;段宗明;唐亮 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L21/50;H01L21/60;H01L23/492;H01L23/528
代理公司: 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 代理人: 丁瑞瑞
地址: 230000 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 射频 芯片 及其 无源 器件 封装 结构
【权利要求书】:

1.一种射频芯片及其无源器件的封装结构,其特征在于:包括塑封体(4)以及RDL再布线层(5),所述RDL再布线层(5)设置在塑封体(4)的表面,射频芯片(1)及无源器件(2)塑封在塑封体(4)内。

2.如权利要求1所述的一种射频芯片及其无源器件的封装结构,其特征在于:所述RDL再布线层(5)由高分子聚合物(52)和金属化层(54)所构成,高分子聚合物(52)覆盖在整个塑封体(4)的表面,金属化层(54)被包裹在高分子聚合物(52)内,金属化层(54)连接射频芯片(1)及无源器件(2)的端口和外部电路。

3.如权利要求2所述的一种射频芯片及其无源器件的封装结构,其特征在于:金属化层(54)包含金属化图层(542)、金属化通孔(544),以及BGA焊盘(546),金属化图层(542)之间采用金属化通孔(544)进行连接,距离射频芯片(1)最近的金属化图层(542)通过金属化通孔(544)连接射频芯片(1)的端口,该距离射频芯片(1)最近的金属化图层(542)同时通过金属化通孔(544)连接到其他无源器件(2)的端口,距离高分子聚合物(52)外表面最近的金属化图层(542)通过金属化通孔(544)连接BGA焊盘(546),BGA焊盘(546)分布在RDL再布线层(5)的表层,所述BGA焊盘(546)与外围电路通过BGA焊球互连。

4.如权利要求3所述的一种射频芯片及其无源器件的封装结构,其特征在于:所述金属化图层(542)为2~3层。

5.如权利要求3所述的一种射频芯片及其无源器件的封装结构,其特征在于:每层金属化图层(542)厚度为5~8μm。

6.如权利要求3所述的一种射频芯片及其无源器件的封装结构,其特征在于:所述金属化通孔(544)高度为10~15μm。

7.如权利要求2所述的一种射频芯片及其无源器件的封装结构,其特征在于:射频芯片(1)的中间连接射频信号线(8),射频芯片(1)的两端连接接地面(9)。

8.如权利要求7所述的一种射频芯片及其无源器件的封装结构,其特征在于:射频信号线(8)的外端连接射频焊盘(80),接地面(9)的外端连接接地焊盘(90),射频信号线(8)和射频焊盘(80)构成一组金属化层,接地面(9)和接地焊盘(90)构成一组金属化层。

9.如权利要求8所述的一种射频芯片及其无源器件的封装结构,其特征在于:射频焊盘(80)外有射频焊球(82),接地面(9)外有接地焊球(92)。

10.如权利要求7所述的一种射频芯片及其无源器件的封装结构,其特征在于:射频芯片(1)之间或射频芯片(1)与无源器件(1’)之间通过射频信号线(8)与接地面(9)进行互连。

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