[发明专利]半导体结构及其制造方法无效
申请号: | 201210201892.2 | 申请日: | 2012-06-15 |
公开(公告)号: | CN103178040A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 彭明灿;郑时龙;张翼;施境玮;郑泗东;张嘉华;陈宗麟;石亚文 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L25/07;H01L21/60 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 结构 及其 制造 方法 | ||
1.一种半导体结构,包括:
基材;
III-V族晶体管,位于该基材上,其中该III-V族晶体管具有源极、漏极与栅极;
第一元件,位于该基材上,其中该第一元件为转接板;
第二元件,位于该基材上,其中该第二元件为二极管,并具有阳极与阴极,该阳极电连接于该基材;
第一焊接线,电连接于该III-V族晶体管的该源极与该基材之间;
第二焊接线,电连接于该III-V族晶体管的该栅极与该第一元件之间;以及
第三焊接线,电连接于该III-V族晶体管的该漏极与该第二元件的该阴极之间。
2.如权利要求1所述的半导体结构,其中该第二元件为转接板或二极管。
3.如权利要求1所述的半导体结构,其中该第一焊接线的相对两末端之间的水平距离表示为D1,该III-V族晶体管与该第一元件之间的水平距离表示为D2,D1小于D2的三分之一。
4.如权利要求1所述的半导体结构,其中该第一焊接线的相对两末端之间的水平距离表示为D1,该第一焊接线的顶点朝该基材的方向的曲率半径表示为R1,D1大于2*R1。
5.如权利要求1所述的半导体结构,其中该III-V族晶体管与该第二元件之间的水平距离表示为D3,该第三焊接线的顶点朝该基材的方向的曲率半径表示为R2,R2大于D3的五倍。
6.如权利要求1所述的半导体结构,其中该基材为导线架,包括TO-220、TO-3P、TO-263、TO-247或TO-247AA,该III-V族晶体管为氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)。
7.如权利要求1所述的半导体结构,其中该III-V族晶体管具有一基板部分与一电路层部分,该电路层部分位在该基板部分上,该基板部分是非导体材质,该III-V族晶体管通过该基板部分接合至该基材。
8.一种半导体结构的制造方法,包括:
在一基材上配置一III-V族晶体管,其中该III-V族晶体管具有一源极、一漏极与一栅极;
配置一第一焊接线电连接于该III-V族晶体管的该源极与该基材之间;
在该基材上配置一第一元件,其中该第一元件为转接板;
在该基材上配置一第二元件,其中该第二元件为二极管,并具有一阳极与一阴极,该阳极电连接于该基材;
配置一第二焊接线电连接于该III-V族晶体管的该栅极与该第一元件之间;以及
配置一第三焊接线电连接于该III-V族晶体管的该漏极与该第二元件的该阴极之间。
9.如权利要求8所述的半导体结构的制造方法,其中该第一焊接线的相对两末端之间的水平距离表示为D1,该III-V族晶体管与该第一元件之间的水平距离表示为D2,D1小于D2的三分之一。
10.如权利要求8所述的半导体结构的制造方法,其中该第一焊接线的相对两末端之间的水平距离表示为D1,该第一焊接线的顶点朝该基材的方向的曲率半径表示为R1,D1大于2×R1。
11.如权利要求8所述的半导体结构的制造方法,其中该III-V族晶体管与该第二元件之间的水平距离表示为D3,该第三焊接线的顶点朝该基材的方向的曲率半径表示为R2,R2大于D3的五倍。
12.如权利要求8所述的半导体结构的制造方法,其中该基材为导线架,包括TO-220、TO-3P、TO-263、TO-247或TO-247AA,该III-V族晶体管为氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)。
13.如权利要求8所述的半导体结构的制造方法,其中该III-V族晶体管具有一基板部分与一电路层部分,该电路层部分位在该基板部分上,该基板部分是非导体材质,该III-V族晶体管通过该基板部分接合至该基材。
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