[发明专利]半导体装置的制造方法有效
申请号: | 201110321830.0 | 申请日: | 2008-03-25 |
公开(公告)号: | CN102496607A | 公开(公告)日: | 2012-06-13 |
发明(设计)人: | 道前芳隆;杉山荣二;大谷久;鹤目卓也 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L23/29 | 分类号: | H01L23/29;H01L23/31;D21H21/44;G06K19/07 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 冯雅 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 制造 方法 | ||
1.一种半导体装置,包括:
元件层;
包括纤维体和有机树脂的第一密封层;以及
夹在所述元件层以及所述第一密封层之间的绝缘层。
2.如权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,还包括:
天线,所述天线夹在所述绝缘层以及所述第一密封层之间,以使所述天线通过配线电连接到所述元件层。
3.如权利要求2所述的半导体装置,其特征在于,还包括:
包含纤维体和有机树脂的第二密封层,该第二密封层在所述元件层上。
4.如权利要求2所述的半导体装置,其特征在于,还包括:
第一保护膜,所述第一保护膜在所述第一密封层上。
5.如权利要求3所述的半导体装置,其特征在于,还包括:
第二保护膜,所述第二保护膜在所述第二密封层上。
6.如权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,还包括:
天线,所述天线在所述第一密封层上;以及
基板,所述基板在所述第一密封层上。
7.如权利要求6所述的半导体装置,其特征在于,还包括:
包含纤维体和有机树脂的第二密封层,该第二密封层在所述元件层上。
8.如权利要求7所述的半导体装置,其特征在于,还包括:
保护膜,所述保护膜在第二密封层上,
其中所述第二密封层、所述元件层、所述绝缘层、所述天线以及所述第一密封层由所述基板和所述保护膜来密封。
9.如权利要求1所述的半导体装置,其特征在于:
所述元件层包括选自硅、锗、硅锗化合物和金属氧化物的半导体。
10.如权利要求1所述的半导体装置,其特征在于:
所述元件层包括包含金属氧化物的导电体,且所述金属氧化物选自氧化锌和锌镓铟的氧化物。
11.如权利要求1所述的半导体装置,其特征在于:
所述第一纤维体是选自聚乙烯醇纤维、聚酯纤维、聚酰胺纤维、聚乙烯纤维、芳族聚酰胺纤维、聚对苯撑苯并二恶唑纤维、玻璃纤维和碳纤维的纤维。
12.如权利要求3或7所述的半导体装置,其特征在于:
所述第二纤维体是选自聚乙烯醇纤维、聚酯纤维、聚酰胺纤维、聚乙烯纤维、芳族聚酰胺纤维、聚对苯撑苯并二恶唑纤维、玻璃纤维和碳纤维的纤维。
13.如权利要求6所述的半导体装置,其特征在于:
所述基板为塑料基板。
14.如权利要求5所述的半导体装置,其特征在于:
所述保护膜为塑料基板。
15.一种包括半导体装置的纸张,所述半导体装置包括:
元件层;
包括纤维体和有机树脂的第一密封层;
夹在所述元件层以及所述第一密封层之间的绝缘层。
16.如权利要求15所述的纸张,其特征在于,还包括:
天线,所述天线夹在所述绝缘层以及所述第一密封层之间,以使所述天线通过配线电连接到所述元件层。
17.如权利要求16所述的纸张,其特征在于,还包括:
包含纤维体和有机树脂的第二密封层,该第二密封层在所述元件层上。
18.如权利要求16所述的纸张,其特征在于,还包括:
第一保护膜,所述第一保护膜在所述第一密封层上。
19.如权利要求17所述的纸张,其特征在于,还包括:
第二保护膜,所述第二保护膜在所述第二密封层上。
20.如权利要求15所述的纸张,其特征在于,还包括:
天线,所述天线在所述第一密封层上;以及
基板,所述基板在所述第一密封层上。
21.如权利要求20所述的纸张,其特征在于,还包括:
包含纤维体和有机树脂的第二密封层,该第二密封层在所述元件层上。
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