[发明专利]内建测试电路的半导体芯片有效
| 申请号: | 200810134036.3 | 申请日: | 2005-08-05 |
| 公开(公告)号: | CN101320730A | 公开(公告)日: | 2008-12-10 |
| 发明(设计)人: | 饶瑞孟;郭建利 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L23/544 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 彭久云 |
| 地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 测试 电路 半导体 芯片 | ||
1.一种内建测试电路的半导体芯片,包括:
一有源电路区域;
一包围该有源电路区域的封环结构;
一第一电路结构,其制作在该半导体芯片位于该封环结构外侧的一角落,并且该第一电路结构不与该封环结构构成电连接组态,其中该第一电路结构具有一第一连接垫;以及
一第二电路结构,其制作在该半导体芯片位于该封环结构外侧的该角落,并靠近该第一电路结构,其中该第二电路结构与该第一电路结构通过形成在硅基底中的扩散导电区域或一第一层金属成电连接组态,且该第二电路结构具有一第二连接垫。
2.如权利要求1所述的内建测试电路的半导体芯片,其中该封环结构是由多层的金属以及介层插塞相互堆叠而成。
3.如权利要求1所述的内建测试电路的半导体芯片,其中该第一电路结构以及该第二电路结构都是直立蛇形状的内连线电路。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





