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- [发明专利]显影方法和显影装置-CN201510436986.1有效
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井关智弘;竹口博史;寺下裕一
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东京毅力科创株式会社
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2015-07-23
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2019-11-12
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G03F7/30
- 本发明提供一种显影方法,将配置于晶片(W)的表面(Wa)上且被曝光了的抗蚀剂膜(R)显影而形成抗蚀剂图案,该显影方法包括:使晶片(W)绕在与水平地保持的晶片(W)的表面(Wa)正交的方向上延伸的旋转轴旋转,并且从位于晶片(W)的上方的液体接触部件(N)的排出口(Na)将显影液(L)排出到抗蚀剂膜(R)上,使显影液(L)遍布于抗蚀剂膜(R)的表面上的步骤;和将具有与晶片(W)的表面(Wa)相对的下端面(Nb)的液体接触部件(N)配置于作为晶片(W)的表面(Wa)之中在先从液体接触部件(N)进行了显影液(L)的供给的区域的在先区域的上方的步骤。
- 显影方法装置
- [发明专利]九柱组合铁心变压器-CN201410237712.5有效
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乔宏伟
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山西宇欣磁业有限公司
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2014-05-31
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2017-08-04
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H02M7/06
- 调节器和三只三柱式铁心;三只三柱式铁心共有截面积相等的Ta1、Ta2、Ta3、Tb1、Tb2、Tb3、Tc1、Tc2、Tc3九个铁心心柱,采用垂直组合方式叠合成三层铁心结构,铁心心柱上依次套装一次绕组Wa1、Wa2、Wa3、Wb1、Wb2、Wb3、Wc1、Wc2、Wc3和二次绕组Wa10、Wa20、Wa30、Wb10、Wb20、Wb30、Wc10、Wc20、Wc30;一次绕组的结构、线圈匝数及绕向相同,二次绕组的绕组结构
- 组合铁心变压器
- [发明专利]一种曲折移相调压变压器-CN201310622608.3有效
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刘涛;刘建平
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刘建平
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2013-11-30
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2014-04-02
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G05F1/24
- 一种曲折移相调压变压器,目的是结构简单、可靠性高、损耗小;本发明包括装设在主铁心上的主一次绕组与主二次绕组、装设在调节铁心上的调节一次绕组与调节二次绕组、电容器、短开关和调节器,主一次绕组Wa1、Wb1、Wc1与调节一次绕组Wa2、Wb2、Wc2以相同的首端方向依次两两串联成三个支路,两组一次三相绕组整体联接成近似的三角形接线;主二次绕组Wa3、Wb3、Wc3的三个末端相联成中性点0,其三个绕组首端对应引出a1、b1、c1三个二次输出端,在a1端联接调节二次绕组的Wb4首端或Wc4末端或Wc4首端,在b1端联接调节二次绕组的Wc4末端或Wa4末端或Wa4首端,在c1端联接调节二次绕组Wa4首端或Wb4末端或
- 一种曲折调压变压器
- [发明专利]磨床-CN201610453162.X有效
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渡边明
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株式会社捷太格特
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2016-06-21
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2020-07-14
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B24B49/12
- 磨床(1)具备非接触式检测器(16),其设置于砂轮座(14),在从曲轴W向X轴方向离开的位置通过非接触对曲轴W被主轴装置(12)支承的状态下的曲柄销Wb或者曲轴轴颈Wa的位置状态进行检测;位置计算装置(19),其根据基于非接触式检测器(16)的检测信息对曲柄销Wb或者曲轴轴颈Wa的端面位置进行计算。控制装置(18)基于由位置计算装置(19)计算出的端面位置使砂轮座(14)沿Z轴方向相对定位而进行利用砂轮(15)对曲柄销Wb或者曲轴轴颈Wa的研磨。
- 磨床
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