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[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201780081004.9有效
发明人：滨田崇广;林航之介;长岛裕次;神山洋辉 -专利权人：芝浦机械电子株式会社;中兴化成工业株式会社
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置(10)，其是对半导体晶圆(W)的被洗涤面(Wa)进行洗涤的基板处理装置(10)，其具备：能够保持半导体晶圆(W)的旋转夹头(21)、与保持于旋转夹头(21)上的半导体晶圆(W)的被洗涤面(Wa)相对配置且使多孔质的氟树脂的纤维相对于半导体晶圆(W)的表面朝向垂直方向形成的洗涤刷(41a)、使旋转夹头(21)以上述基板的被洗涤面(Wa)的法线方向作为基板旋转轴进行旋转驱动的旋转发动机(44)、和对保持于旋转夹头(21)上的半导体晶圆(W)的被洗涤面(Wa)供给洗涤液(L)的喷嘴管(45)，为了使颗粒除去力增加，可以使用试剂作为洗涤液、或者将洗涤液加热，同时进行广范围的颗粒除去。
处理装置方法

[发明专利]粘胶带-CN201911190753.2有效
发明人：田中健太郎;末石将之 -专利权人： 中兴化成工业株式会社
申请日： 2013-08-28 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： C09J7/24 文献下载
摘要：本发明旨在提供一种在前挡风玻璃和前围上板之间使用的场合下提供优异外观的粘胶带。本发明的粘胶带包括膜和粘合剂层。膜由含有碳填充剂的聚四氟乙烯构成。粘合剂层设置于膜的一方表面上，且含有有机硅粘合剂。
粘胶

[发明专利]粘胶带-CN201380074486.7有效
发明人：田中健太郎;末石将之 -专利权人： 中兴化成工业株式会社
申请日： 2013-08-28 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： C09J7/24 文献下载
摘要：本发明旨在提供一种在前挡风玻璃和前围上板之间使用的场合下提供优异外观的粘胶带。本发明的粘胶带包括膜和粘合剂层。膜由含有碳填充剂的聚四氟乙烯构成。粘合剂层设置于膜的一方表面上，且含有有机硅粘合剂。
粘合剂层粘胶带有机硅粘合剂聚四氟乙烯前挡风玻璃碳填充前围上板

[发明专利]耐热性层叠传送带-CN201610819799.6有效
发明人：新田隆司;水岛一树;今里英雄;原口智己;二木圭吾;山川仁雄 -专利权人：三菱重工机械系统株式会社;中兴化成工业株式会社
申请日： 2010-07-07 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： B65G15/30 文献下载
摘要：本发明的耐热性层叠传送带包含芯体和加强层，所述芯体通过对芳族聚酰胺纤维织布浸渍氟树脂分散胶体，然后进行干燥、烧成，从而覆盖有氟树脂，所述加强层夹着粘接层形成于所述芯体上。所述加强层通过对赋予了伸缩性的芳族聚酰胺纤维织布浸渍氟树脂分散胶体，然而进行干燥、烧成而构成。所述芯体的芳族聚酰胺纤维织布由平纹无缝织机或圆筒织机织造而成，并且，是S捻的纬线和Z捻的纬线交替配置的织布。
耐热性层叠传送带

[发明专利]耐热性层叠传送带-CN201610820884.4有效
发明人：新田隆司;水岛一树;今里英雄;原口智己;二木圭吾;山川仁雄 -专利权人：三菱重工机械系统株式会社;中兴化成工业株式会社
申请日： 2010-07-07 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： B65G15/30 文献下载
摘要：本发明的耐热性层叠传送带包含芯体和加强层，所述芯体通过对芳族聚酰胺纤维织布浸渍氟树脂分散胶体，然后进行干燥、烧成，从而覆盖有氟树脂，所述加强层夹着粘接层形成于所述芯体上。所述加强层通过对赋予了伸缩性的芳族聚酰胺纤维织布浸渍氟树脂分散胶体，然而进行干燥、烧成而构成。所述芯体的芳族聚酰胺纤维织布由平纹无缝织机或圆筒织机织造而成，并且，是S捻的纬线和Z捻的纬线交替配置的织布。
芯体织布氟树脂加强层芳族聚酰胺纤维耐热性浸渍层叠传送带分散胶体烧成纬线对芳族聚酰胺纤维伸缩性平纹无缝织机交替配置圆筒织机粘接层织造覆盖赋予

[发明专利]荧光复合物-CN201380036688.2有效
发明人：田村成教 -专利权人： 中兴化成工业株式会社
申请日： 2013-07-08 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： B32B27/18 文献下载
摘要：根据一种实施方式，一种荧光复合物，其包括芯(1)和荧光材料层(2)，所述芯包括耐热织物(1a)和形成在耐热织物(1a)的两个表面上的氟树脂层(1b)，所述荧光材料层(2)包括荧光材料和四氟乙烯树脂。
荧光复合物

[发明专利]耐热性层叠传送带-CN201080030205.4有效
发明人：新田隆司;水岛一树;今里英雄;原口智己;二木圭吾;山川仁雄 -专利权人：三菱重工印刷纸工机械株式会社;中兴化成工业株式会社
申请日： 2010-07-07 - 公布日： 2016-10-19 - 主分类号： B65G15/30 文献下载
摘要：本发明的耐热性层叠传送带包含芯体和加强层，所述芯体通过对芳族聚酰胺纤维织布浸渍氟树脂分散胶体，然后进行干燥、烧成，从而覆盖有氟树脂，所述加强层夹着粘接层形成于所述芯体上。所述加强层通过对赋予了伸缩性的芳族聚酰胺纤维织布浸渍氟树脂分散胶体，然而进行干燥、烧成而构成。所述芯体的芳族聚酰胺纤维织布由平纹无缝织机或圆筒织机织造而成，并且，是S捻的纬线和Z捻的纬线交替配置的织布。
耐热性层叠传送带

[发明专利]复合片材-CN200910138833.3有效
发明人：浦和孝之;二木圭吾;横尾龙也;野崎英俊 -专利权人： 中兴化成工业株式会社
申请日： 2009-04-29 - 公布日： 2009-11-04 - 主分类号： B32B25/02 文献下载
摘要：在作为电子设备的制造工序之一的热压接工序中所使用的复合片材，其特征在于，包括耐热性树脂膜和形成于该耐热性树脂膜的两面的由硅橡胶类组合物形成的片，所述片的硅橡胶类组合物以重量份计相对于100份硅橡胶包含2～100份二氧化硅粉末、0～200份炭黑、10～1000份氧化镁、0～20份氧化铁、0.1～0.5份氧化铈。
复合

[发明专利]复合片及其制作装置-CN01117265.7有效
发明人：中山雅和;池田正昭 -专利权人： 中兴化成工业株式会社
申请日： 2001-04-30 - 公布日： 2001-11-14 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：用于电器制作过程中的压接步骤的复合片,该复合片的特征在于,具备由含氟树脂组成的耐热性片状物11,形成于该片状物11的一面的二氧化硅微粒层12,以及形成于该二氧化硅微粒层12上的耐热性硅橡胶层13。
复合及其制作装置