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[实用新型]一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶-CN202020783003.8有效
发明人：朱建明 -专利权人：肇庆市科润真空设备有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶，包括引弧装置、阳极装置和旋转式电弧靶材装置；旋转式电弧靶材装置包括环形弧靶材和靶材旋转驱动机构，环形弧靶材设于靶材旋转驱动机构的输出端，引弧装置和阳极装置分别设于环形弧靶材相对的两面外侧本适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶由于采用了旋转式的电弧靶材装置可有效延长靶材的连续使用寿命，可较好地应用于连续镀膜、长时间工作的生产线上，同时，由于环形弧靶材在镀膜过程中是处于不断旋转的状态，因此溅射弧光不会固守在同一靶材的同一固定范围内，在旋转过程中对环形弧靶材进行不断冷却，可达到较好的冷却效果，较大程度减少多弧液粒的产生，从而改善镀膜效果。
一种适用于连续镀膜生产寿命多弧靶

[发明专利]再生溅镀靶材及其制作方法-CN200910008926.4无效
发明人：王子文;詹智尧;廖浩嘉 -专利权人：光洋应用材料科技股份有限公司
申请日： 2009-02-12 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明是一种再生溅镀靶材及其制作方法。该方法包括提供一回靶材，其含有一背面、一溅镀蚀面及一周缘，该溅镀蚀面包含至少一溅镀蚀面沟槽；在该回靶材的背面进行机械加工前处理；在该回靶材的溅镀蚀面上及其溅镀蚀面沟槽内以及回靶材的周缘覆盖与该回靶材的组成成分相同的原料粉末，并进行预压及烧结的处理，以获得该再生溅镀靶材。本发明能控制该再生溅镀靶材内的回靶材比重，使得第一次回靶成分的比重逐渐下降，达到汰旧换新，并保持该再生靶材溅镀的质量。
再生溅镀靶材及其制作方法

[实用新型]钨钼平面靶材放置架-CN201320056354.9有效
发明人：王正革;赵士刚 -专利权人：洛阳高新四丰电子材料有限公司
申请日： 2013-02-01 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种钨钼平面靶材放置架，包括支撑架、卡座及卡槽，沿靶材的长度方向，靶材的左端、右端及中部各设置一个支撑架，支撑架上设置有卡座，卡座上设置有卡槽，卡槽宽度比靶材的厚度大2-3mm。本实用新型是沿靶材的长度方向设置三个支撑架，在支撑架上设置立式的卡槽，沿靶材的宽度方向，将靶材侧立起来，然后放进支撑架上的立式卡槽内，从而实现将钨钼平面靶材立式放置，且沿靶材的长度方向，左中右三点支撑，可有效的防止靶材的弯曲变形，保证靶材能够正常的使用。
平面放置

[发明专利]一种利用率高的离子源溅射靶材装置及其使用方法-CN201710176088.6在审
发明人：刘伟基;冀鸣;陈蓓丽 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2017-03-22 - 公布日： 2017-06-23 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及离子源溅射技术领域，更具体地，涉及一种利用率高的离子源溅射靶材装置及其使用方法，该装置包括背板及可拆卸地设于所述背板上的第一靶材、第二靶材、第三靶材及第四靶材；所述四个靶材均为矩形结构，且四个靶材呈田字形结构拼接在一起本发明一种利用率高的离子源溅射靶材装置，通过设置四个靶材，并将四个靶材可拆卸地呈田字形结构拼接于背板上，使得离子源第一次溅射后能重新调整四个靶材拼接时的相对位置，使用离子源再次进行溅射，重复靶材位置调整及离子源溅射的工作直至每个靶材的四个角均被使用为止，该装置不但能大幅度提高靶材的利用率，降低生产成本，而且能保证靶材材料沉积速率的稳定性，保证制造的薄膜不受污染。
一种利用率离子源溅射装置及其使用方法

[实用新型]一种利用率高的离子源溅射靶材装置-CN201720287616.0有效
发明人：刘伟基;冀鸣;陈蓓丽 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2017-03-22 - 公布日： 2017-10-10 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及离子源溅射技术领域，更具体地，涉及一种利用率高的离子源溅射靶材装置，包括背板及可拆卸地设于所述背板上的第一靶材、第二靶材、第三靶材及第四靶材；所述四个靶材均为矩形结构，且四个靶材呈田字形结构拼接在一起本实用新型一种利用率高的离子源溅射靶材装置，通过设置四个靶材，并将四个靶材可拆卸地呈田字形结构拼接于背板上，使得离子源第一次溅射后能重新调整四个靶材拼接时的相对位置，使用离子源再次进行溅射，重复靶材位置调整及离子源溅射的工作直至每个靶材的四个角均被使用为止，该装置不但能大幅度提高靶材的利用率，降低生产成本，而且能保证靶材材料沉积速率的稳定性，保证制造的薄膜不受污染。
一种利用率离子源溅射装置

[发明专利]溅射装置-CN201610859100.9在审
发明人：李楚 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2016-09-28 - 公布日： 2017-02-01 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种溅射装置，其包括镀膜腔体，包括平行面对的顶壁和底壁；第一靶材安装座，设置于镀膜腔体内的上半部分且其靶材安装面朝向顶壁；第一基板安装座，设置于第一靶材安装座与顶壁之间且其基板放置面朝向第一靶材安装座的靶材安装面；第二靶材安装座，设置于镀膜腔体内的下半部分且其靶材安装面朝向底壁；第二基板安装座，设置于第二靶材安装座与底壁之间且其基板放置面朝向第二靶材安装座的靶材安装面。本发明的溅射装置具有背向排列设置的孪生靶材安装座，每个靶材安装座上安装的靶材单独控制和形成一块被镀膜基板的等离子体(Plasma)区域，极大提高成膜均匀性及可控性，此外两块被镀膜同时成膜，大大提高溅射装置的镀膜效率
溅射装置

[发明专利]靶材喷砂设备-CN202110865613.1在审
发明人：林东东;黎品英;韦晗 -专利权人：柳州呈奥科技有限公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B24C3/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种靶材喷砂设备，包括：一对靶材支撑轴，一对靶材支撑轴同轴设置于靶材的两端，用于支撑靶材；机座，一对靶材支撑轴可旋转地设置于机座上；旋转驱动机构，旋转驱动机构连接至其中一个靶材支撑轴，以驱动其中一个靶材支撑轴相对于其中一个靶材支撑轴的轴线旋转，进而带动靶材自转；喷砂机构，其包括喷砂枪，喷砂枪设置于机座上，喷砂枪具有内侧端面，内侧端面均匀布置有多个喷砂孔，内侧端面为圆弧形面，且圆弧形面的圆心位于其中一个靶材支撑轴的轴线上，一对喷砂枪分别位于其中一个靶材支撑轴的轴线的两侧本发明可以提高对于靶材的喷砂处理的效率，避免出现漏喷的情况，可以降低喷砂面的粗糙度偏差，改善喷砂质量。
喷砂设备

[发明专利]靶材加工装置以及加工方法-CN201410369827.X有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;周建军 -专利权人：合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2014-07-30 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材加工装置以及加工方法，靶材加工装置包括靶材，靶材包括加工面、背面、定位孔，靶材加工装置包括夹具、压板，压板包括与靶材的背面相配合的第一面，以及与第一面相对的第二面，第二面开设有贯穿压板的固定孔，固定孔与至少一部分定位孔的位置相对应；压板的第二面用于安置固定件，以与靶材相固定。靶材加工方法包括提供装配于夹具中的压板，压板与靶材相配合的面为第一面，与第一面相对的一面为第二面；在压板的第二面开设固定孔，使固定孔的位置与靶材的至少一部分孔的位置相对应；通过固定件将靶材固定装配于压板上；对固定于压板上的靶材进行加工。本发明的有益效果在于，提升的对靶材的加工精度。
加工装置以及方法

[实用新型]一种可自动翻面的金属靶材表面抛光装置-CN202121208483.6有效
发明人：孔伟华;吴雪松;高延红 -专利权人：江苏迪纳科精细材料股份有限公司
申请日： 2021-06-01 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可自动翻面的金属靶材表面抛光装置，涉及到靶材抛光装置领域，包括机体和靶材固定板座，机体的顶部为工作台面，工作台面的上表面中部开设有翻面槽口，翻面槽口的两侧均设有轴承座，呈板状体的靶材固定板座的两侧设有转轴与两个轴承座相转接本实用新型通过启动翻面驱动电机对靶材固定板座进行传动，达到对靶材固定板座上所固定的金属靶材进行翻面，控制第二电磁液压缸的伸缩杆伸长，直至顶压头与靶材固定板座的下表面相抵触，对靶材固定板座的支撑，保证靶材固定板座上所固定金属靶材的打磨精度，控制第一电磁液压缸的伸缩杆伸长，使辅助支撑盘与金属靶材底部抵触支撑，对金属靶材底部辅助支撑。
一种自动金属表面抛光装置

[发明专利]平面靶材烧穿报警系统-CN202010146391.3在审
发明人：杜彦廷;李玉平;曾明;黄月勤;余光辉;艾发智 -专利权人：东莞南玻工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明公开一种平面靶材烧穿报警系统，包括磁控溅射平面靶、导线、报警器及控制系统，所述磁控溅射平面靶上设有平面靶材，所述导线设置于所述平面靶材的底部且所述导线外部包裹有绝缘层，所述导线与所述控制系统电连接本发明平面靶材烧穿报警系统具有能最大限度的使用靶材，减少靶材浪费，且避免出现靶材烧穿而损坏平面靶的优点。
平面靶材烧穿报警系统

[实用新型]平面靶材烧穿报警系统-CN202020257340.3有效
发明人：杜彦廷;李玉平;曾明;黄月勤;余光辉;艾发智 -专利权人：东莞南玻工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型公开一种平面靶材烧穿报警系统，包括磁控溅射平面靶、导线、报警器及控制系统，所述磁控溅射平面靶上设有平面靶材，所述导线设置于所述平面靶材的底部且所述导线外部包裹有绝缘层，所述导线与所述控制系统电连接本实用新型平面靶材烧穿报警系统具有能最大限度的使用靶材，减少靶材浪费，且避免出现靶材烧穿而损坏平面靶的优点。
平面靶材烧穿报警系统

[发明专利]靶材组件的车削方法-CN201710192792.0在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;李力平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材组件的车削方法，包括：提供特种塑料靶材的坯料和不锈钢背板；将所述特种塑料靶材的坯料和不锈钢背板焊接在一起，形成特种塑料靶材组件；采用第一刀具对所述特种塑料靶材组件进行粗车削；采用第二刀具对所述特种塑料靶材组件进行精车削；对所述特种塑料靶材组件进行研磨处理。本发明车削方法形成的靶材组件质量得到提高。
靶材组件特种塑料车削不锈钢背板靶材坯料刀具研磨处理粗车削精车削焊接

[发明专利]长寿命LCD靶材组件及其形成方法-CN201810026120.7在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;赵子毅 -专利权人：合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2018-01-11 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种长寿命LCD靶材组件及其形成方法，其中LCD靶材组件包括：背板，所述背板包括第一面；位于背板第一面的靶材，所述靶材具有预设厚度，所述靶材包括第二面；基板，所述基板包括第三面，且所述基板第三面与靶材第二面相对所述靶材的厚度较厚，使得靶材组件的使用寿命较长。
靶材靶材组件背板基板长寿命预设距离决定使用寿命第二面面具

[发明专利]一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材-CN202110758654.0在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;周敏 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材，所述方法包括以下步骤：(1)在400‑500℃下对钛靶材进行预热；(2)将步骤(1)所得钛靶材进行三向锻造；(3)冷却步骤(2)所得钛靶材，得到晶粒尺寸为10‑20μm的钛靶材。本发明提供的方法专用于钛靶材的晶粒细化，改善了钛靶材溅射性能和溅射环境，提升了镀膜质量的同时简化了工艺流程，降低了加工成本。
一种钛靶材晶粒细化方法

[发明专利]一种高密度氧化锡钽靶材的制备方法-CN202310624865.4在审
发明人：王志强;王涛;曾墩风;曾探;陈光园 -专利权人：芜湖映日科技股份有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种高密度氧化锡钽靶材的制备方法，所述制备方法包括粉末制备、靶材烧结和靶材成型三个步骤，通过钽的引入和各个步骤中参数的严格调控实现了靶材相对密度的提高，制备的高密度氧化锡坦靶材的相对密度可以达到98.55％，极高的相对密度有助于靶材承受溅射过程中的热应力，提高靶材的寿命和应用范围。
一种高密度氧化锡钽靶材制备方法