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- [实用新型]一种旋转靶材搬运箱-CN202121552725.3有效
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张瑾;叶翔;周建波
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宁波锦越新材料有限公司
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2021-07-09
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2022-01-18
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B65D25/10
- 本实用新型公开了一种旋转靶材搬运箱，包括箱体，所述箱体内设有若干用于放置旋转靶材的弧形槽组件，所述箱体内设有与弧形槽组件数量相等的电机，所述电机连接有丝杠，所述丝杠的两端均设有螺纹朝向相反的螺纹段，所述螺纹段上螺纹连接有用于限制旋转靶材轴向移动的挡板可通过将该旋转靶材搬运箱放置在搬运小车上进行搬运，本旋转靶材搬运箱采用挡板可限制旋转靶材的轴向运动，使得搬运过程中旋转靶材不与箱体侧壁发生碰撞且多个弧形槽组件将多个旋转靶材进行固定，多个旋转靶材之间无法发生相互产生碰撞
- 一种旋转搬运
- [实用新型]一种铝木靶材箱-CN201720760269.9有效
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周亮
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周亮
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2017-06-27
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2018-01-05
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B65D25/10
- 本实用新型涉及一种铝木靶材箱，包括底框和盖在底框上的上盖以及安装在底框内用于支撑靶材的支撑组件，底框包括底板和横向固定连接在底板下表面上的至少两列脚托组件，底板的四周外侧壁与上盖的四周外侧壁之间连接有至少四个锁紧扣环本实用新型的一种铝木靶材箱，采用此种设计的靶材箱，将靶材放置到靶材箱内，利用设计的支撑组件，配合相应的靶材使用，实现了在靶材运输过程中，避免出现靶材相互之间的碰撞，造成靶材的损坏现象，将上盖和底板之间采用锁紧扣环，在需要取出靶材时，只需将上盖的左盖板和右盖板打开，方便取出使用。
- 一种铝木靶材箱
- [实用新型]一种靶材抛光机构-CN202222614447.0有效
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秦启栋;王青松
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东莞市塔基特靶材科技有限公司
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2022-09-30
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2023-01-17
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B24B29/02
- 本实用新型涉及一种靶材抛光机构，包括工作箱、靶材、传动组件、打磨组件和翻转组件，传动组件设置在工作箱的内部，打磨组件设置在传动组件的底部，翻转组件设置在工作箱的内部且位于打磨组件的上方；传动组件用于带动打磨组件进行移动本实用新型的有益效果在于，在靶材抛光技术领域中，通过驱动传动组件带动打磨组件进行移动，同时驱动打磨组件，便于对靶材的多个位置进行打磨，再手动转动翻转组件，对靶材的另一面进行夹持打磨，避免工作人员手持靶材对其翻面把手烫伤，同时也避免了手工手持钳子进行操作，避免靶材在翻转的同时发生滑落，进一步的提高了对靶材打磨的效率，增加了实用性，有利于实际的应用与操作。
- 一种抛光机构
- [发明专利]高纯度旋转靶材杂质控制方法-CN201610227524.3在审
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肖世文;黄显锋
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广州市尤特新材料有限公司
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2016-04-13
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2016-09-07
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G05D11/02
- 本发明涉及旋转靶材的制备领域，具体涉及一种高纯度旋转靶材杂质控制方法；高纯度旋转靶材杂质控制方法包括以下步骤：S1、采用粉体原料，且每批体原料需取样经ICP检测纯度并符合要求后再入库；S2、生产控制：在喷涂房内采用密封式混粉机混粉，混粉机使用前用惰性气体喷洗混粉机的混粉腔及周边区域；S3、清洗控制：靶材表面抛光精磨加工后，对靶材进行清洗；S4、包装控制和运输控制：靶材清洗过后，进行真空包装，靶材密封好后装入运输箱中，同时在运输箱中采用缓冲块加以固定；采用本发明技术方案的高纯度旋转靶材杂质控制方法，旋转靶材的纯度可达99.9％以上。
- 纯度旋转杂质控制方法
- [发明专利]一种陶瓷靶材生产用粉碎装置-CN202211568100.5在审
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孔伟华
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江苏迪丞光电材料有限公司
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2022-12-08
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2023-03-03
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B02C23/18
- 本发明公开了一种陶瓷靶材生产用粉碎装置，涉及靶材加工技术领域；通过设置夹持机构，夹持机构配合清洗机构，使得靶材在传输的过程中可以进行全方位的清洗，提高了靶材的清洗质量，避免杂质残留在靶材背面导致靶材无法清洗完全，通过对靶材进行清洗和烘干，用于去除靶材表面粘附的杂质与污物，便于后续的粉碎处理，避免靶材表面的杂质与粉碎后的靶材进行混合，影响靶材的回收；通过设置筛选箱，筛选箱内的过滤网用于过滤粉碎后的靶材，不符合的靶材经过回料框、出料管以及在上料管内绞龙叶片的作用下，重新输送至入料管内进行再次的粉碎，避免粉碎不完全的靶材经过滤后舍弃造成资源上的浪费。
- 一种陶瓷生产粉碎装置
- [实用新型]磁控溅射靶冷却系统-CN202320014430.3有效
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乔梦文;田利丰;崔云涛;刘静
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中国科学院理化技术研究所
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2023-01-04
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2023-06-27
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C23C14/35
- 本实用新型提供一种磁控溅射靶冷却系统，磁控溅射靶包括靶材和磁体，磁控溅射靶冷却系统包括冷头和储液箱，冷头包括均温板，均温板设于靶材和磁体之间，均温板设有顶部具有开口的腔体，腔体具有进口和出口，储液箱用于盛放金属流体，进口和出口分别与储液箱连通，金属流体能够在腔体内流动与均温板接触进行热交换。本实用新型将均温板设置在靶材和磁体之间，在磁体设置顶部具有开口的腔体，腔体与盛放有金属流体的储液箱连通，金属流体与均温板接触换热；根据液体金属热导率高，利用对流或冲击换热的方式与均温板进行热交换，降低靶材的温度，提高靶材温度均匀性，保护靶材，延长靶材的寿命，避免磁控溅射靶受热能侵害，保证磁控溅射的顺利进行。
- 磁控溅射冷却系统
- [实用新型]一种用于靶材箱的缠膜工具-CN202022283751.2有效
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姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;杨欢
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合肥江丰电子材料有限公司
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2020-10-14
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2021-06-25
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B65B11/00
- 本实用新型提供了一种用于靶材箱的缠膜工具，所述用于靶材箱的缠膜工具包括手握杆，在所述手握杆的一端垂直连接缠膜杆，在所述缠膜杆远离所述手握杆的端部连接有缠膜固定件，所述缠膜固定件呈“T”型。在实际使用过程中，操作人员先将带有卷筒的缠膜套进所述缠膜杆上，并通过缠膜固定件将带有卷筒的缠膜固定在了所述用于靶材箱的缠膜工具形成的“工”型结构中，随后操作人员用手握住所述手握杆远离所述缠膜杆的一端，站在被垂直吊起的靶材箱的外周，远距离地对靶材箱底部的支脚逐个进行缠膜处理，不仅能提高缠膜效率、节约时间和成本，实现大批量靶材箱的缠膜处理，还能够避免操作人员站在被垂直吊起的靶材箱下面，提高缠膜处理的安全性。
- 一种用于靶材箱工具
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