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[发明专利]一种用于烹调工具的加热面板及其应用的煎盘-CN201310144061.0无效
发明人：梁永健;黄伟聪 -专利权人：佛山市顺德区盛熙电器制造有限公司
申请日： 2013-04-23 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： A47J36/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于烹调工具的加热面板及其应用的煎盘，该加热面板的面板底面覆盖有第一绝缘层，且面板底面与第一绝缘层之间设有厚膜加热电路，该厚膜加热电路连接有控制电路，所述加热面板还设有厚膜测温电路，该厚膜测温电路沿厚膜加热电路的设置路径布置；由于本发明的厚膜测温电路沿厚膜加热电路的设置路径布置，所以厚膜测温电路能够检测厚膜加热电路各处的温度，避免了温度检测的局限性和滞后性，使得控制电路能够时刻获得准确的温度信息，从而提高了煎盘温度控制的精确性和及时性
一种用于烹调工具加热面板及其应用

[实用新型]一种拼接式柔性厚膜发热布料-CN201520347153.3有效
发明人：黄伟聪 -专利权人：黄伟聪
申请日： 2015-05-26 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： A41D31/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种拼接式柔性厚膜发热布料,包括控制模块和两块以上的厚膜发热布料单元，厚膜发热布料单元包括至少一层柔性基材层，在柔性基材层上附着有以回折或平铺方式布置的厚膜发热电路，厚膜发热电路设有电源连接端子，各厚膜发热布料单元通过附接装置可拆卸式拼接成一体，电源连接端子与控制模块连接，控制模块设有供电接口。与现有技术相比，本实用新型提供的拼接式柔性厚膜发热布料，可以根据实际需要选择厚膜发热布料单元的数量，满足取暖的要求；本实用新型提供的拼接式柔性厚膜发热布料可应用于不同面积大小的物品上，解决了现有产品通用率低
一种拼接柔性发热布料

[实用新型]一种抗干扰的厚膜集成电路-CN202021197194.6有效
发明人：黄伟聪;陈保青;冯嘉俊 -专利权人：广东天泓新材料科技有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： H01L23/552 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抗干扰的厚膜集成电路，包括陶瓷基壳，所述陶瓷基壳是由陶瓷下基体和陶瓷基帽构成，所述陶瓷下基体的内侧壁设置有抗干扰金属内层一，所述抗干扰金属内层一的顶端设置有厚膜陶瓷基片，所述厚膜陶瓷基片的顶端设置有厚膜集成电路，所述厚膜集成电路的两端分别均设置有金属引脚，所述厚膜集成电路的顶端设置有若干散热片一，所述散热片一的顶端设置有卡套，所述卡套的内部设置有导热硅胶，所述卡套的顶端设置有散热片二，所述陶瓷基帽的内侧壁设置有抗干扰金属内层二有益效果：使得厚膜集成电路具有较好的抗干扰抗腐蚀性能，同时使得厚膜集成电路具有较好的散热型，有效提高厚膜集成电路的使用寿命。
一种抗干扰集成电路

[发明专利]一种镀膜方法及镀膜设备-CN202110254976.1在审
发明人：盛兆亚;宋文庆;王凯;张建飞 -专利权人：立讯电子科技（昆山）有限公司
申请日： 2021-03-05 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种镀膜方法及镀膜设备，其属于镀膜技术领域，镀膜方法包括初始化步骤，对镀膜设备的治具架上多个位置进行编码标定分配相应编号；进行多次循环步骤；该循环步骤包括：依次检测每个编号位置处的产品的编号位置膜厚，得到多个编号位置膜厚，并得到多个编号位置膜厚的平均膜厚；根据平均膜厚及每个编号位置对应的编号位置膜厚，得到每个编号位置的膜厚差值；根据每个编号位置的膜厚差值及预设算法，得到每个编号位置对应的旋转速度；本发明能使每个编号位置的产品的膜层厚度达到一致，以提高镀膜厚度的均匀性。
一种镀膜方法设备

[发明专利]膜厚测定装置和膜厚测定方法-CN201610132907.2在审
发明人：八寻俊一;尾上幸太朗;田中茂喜 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-03-09 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供一种能够在短时间内测定形成于基板的有机膜的膜厚分布的膜厚测定装置和膜厚测定方法。实施方式的膜厚测定装置包括照射部、拍摄部和控制部。照射部将紫外光照射到形成有有机膜的基板上的照射区域。控制部基于由拍摄部拍摄的拍摄图像的亮度分布求取有机膜的膜厚分布。
测定装置方法

[发明专利]波长选择方法、膜厚计测方法、膜厚计测装置及薄膜硅系设备的制造系统-CN200780047754.0无效
发明人：坂井智嗣;饭田政巳;川添浩平 -专利权人：三菱重工业株式会社
申请日： 2007-10-31 - 公布日： 2009-10-28 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明以降低膜厚的计测误差为目的。对将膜质状态及膜厚不同的薄膜形成于基板上的多个样本照射不同波长的照明光，分别计测与照射各波长的照明光时的透射光的光量相关的评价值，基于该计测结果，对每个波长作成表示各膜质状态中膜厚和评价值的相关关系的膜厚特性，在各膜厚特性中选择由膜质状态引起的评价值的计测差在规定范围内的波长。
波长选择方法膜厚计测装置薄膜设备制造系统

[发明专利]成膜控制装置、成膜装置以及成膜方法-CN202280005853.7在审
发明人：大泷芳幸;松平学幸;山口刚;宫内充祐 -专利权人：株式会社新柯隆
申请日： 2022-02-04 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：成膜控制装置具有：光源(42)，其对配置于旋转体(25)的基板(S)照射光；受光部(46)，对于从所述光源照射的光，该受光部接收透过形成在所述基板上的薄膜的层的透过光或者被形成在所述基板上的薄膜的层反射的反射光；位置信息取得部(48)，其取得与所述旋转体的圆周方向的位置对应的位置信息；以及控制部(4)，其对成膜条件进行控制，所述控制部包含：时机控制部，其根据由所述位置信息取得部取得的所述旋转体的圆周方向的位置信息来确定作为目标的基板的位置，对接收从所述光源向该确定的位置的基板照射的光的透过光或者反射光的时机进行控制；膜厚判定部，其根据由所述受光部接收到的透过光或者反射光，计算由多个层构成的薄膜的各层的膜厚，判定所述各层的膜厚与构成具有期望的分光特性的薄膜的各层的目标膜厚的膜厚差；以及成膜条件设定部，其在所述各层的膜厚相对于所述目标膜厚存在规定值以上的膜厚差的情况下，对针对该层的成膜条件进行校正以使得存在该膜厚差的层的膜厚成为该层的目标膜厚，然后设定所述成膜条件。
控制装置以及方法

[实用新型]一种千点膜厚测量用膜-CN201821883301.3有效
发明人：肖鑫;孙宁一;吴宝通;李阳 -专利权人：广州汽车集团乘用车（杭州）有限公司
申请日： 2018-11-15 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本实用新型提供能够在调试单层膜厚过程中可以涉及到车身表面所有位置，使整体膜厚均一性更好，提高调试车利用率的一种千点膜厚测量用膜。它包括膜主体和测量孔，所述膜主体配合车身部件形状，所述测量孔阵列规则设置于膜主体，所述测量孔为穿透膜主体的通孔。本实用新型具有如下有益效果：(1)在调试单层膜厚过程中可以涉及到车身表面所有位置，使整体膜厚均一性更好；(2)能够提高调试车利用率；(3)能够与膜厚仪及喷涂机器人的折距相匹配，使测量更便捷。
膜主体调试测量孔本实用新型车身表面膜厚测量单层膜均一性整体膜喷涂机器人车身部件阵列规则膜厚仪通孔匹配穿透测量配合

[发明专利]电子元件安装机-CN201380081771.1有效
发明人：永田吉识 -专利权人：株式会社富士
申请日： 2013-12-23 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：本发明提供能够适当地管理转印装置利用粘性流体形成的流体膜的膜厚并且能够实现装置的小型化及装置结构的简化、进而实现制造成本的降低的电子元件安装机。电子元件安装机具备能够与安装头的吸嘴互换的膜厚测量计(131)。膜厚测量计(131)设有以与贮存部(64)的助焊剂膜(F)的膜厚(T)的测定值相对应的轴向长度形成的测定部(136A～136D)。安装头移动至贮存部(64)的上方的位置，使膜厚测量计(131)下降而使其与助焊剂膜(F)接触。膜厚测量计(131)的测定部(136A～136D)在助焊剂膜(F)上形成与膜厚(T)相对应的测定痕迹(200A～200D)。电子元件安装机通过标记相机(37)拍摄测定痕迹(200A～200D)，基于拍摄数据判定实际形成的助焊剂膜(F)的膜厚(T)。
电子元件装机

[发明专利]太阳能电池背钝化膜层结构和制备方法-CN201610865158.4有效
发明人：乔琦;鲁科;钱洪强;陆红艳;黄海涛;陈如龙 -专利权人：无锡尚德太阳能电力有限公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2017-09-01 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明提供一种太阳能电池背钝化膜层结构，其主要改进之处在于，在太阳能电池衬底背表面依次形成有氧化铝膜、第一氮化硅膜和第二氮化硅膜，形成多层背钝化膜叠层结构；其中，氧化铝膜膜厚范围10‑40nm；折射率1.55‑1.70；第一氮化硅膜膜厚范围40‑100nm；折射率1.90‑2.20；第二氮化硅膜膜厚范围40‑100nm；折射率1.90‑2.20。最佳地，氧化铝膜膜厚20nm；折射率1.62；第一氮化硅膜膜厚范围75nm；折射率2.10；第二氮化硅膜膜厚范围75nm；折射率2.00。本发明提高了太阳能电池的转换效率。
太阳能电池钝化结构制备方法

[发明专利]一种滑动轴承全域润滑膜厚分布的检测方法-CN201310260854.9有效
发明人：孟庆丰;张凯;耿涛;袁小阳;王朋朋 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2013-06-26 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： G01B17/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种滑动轴承全域润滑膜厚分布的检测方法，实现对实际工况下滑动轴承全域润滑膜厚分布的实时检测。该方法首先通过有限差分法迭代求解滑动轴承的润滑基本方程获得滑动轴承润滑膜厚的理论分布并根据滑动轴承润滑膜厚理论分布确定滑动轴承分布式测点的位置；然后在选取的测点位置“嵌入式”安装圆薄片超声传感器并采用超声波膜厚测量技术获得各测点的实时膜厚值；最后，对各分布式测点实测的润滑膜厚值进行插值，获得实际工况中滑动轴承润滑膜厚度的分布情况。
一种滑动轴承全域润滑分布检测方法

[发明专利]避免沉积厚膜发生脱层的方法及其制造的太阳能电池-CN200610137928.X有效
发明人：张毓华;钟明达;翁睿均;林明毅 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2006-11-01 - 公布日： 2007-08-29 - 主分类号： H01L31/20 文献下载
摘要：本发明提供一种避免沉积厚膜发生脱层的方法及其制造的太阳能电池，在该方法中，在形成一厚膜后、在后续的热处理程序之前，将其分割成多个分离的区块。通过上述分割的步骤，可减少膜应力对上述厚膜与其下层材料之间的界面的作用，而避免在上述厚膜形成之后的后续热处理过程中发生脱层。已分割的厚膜的图形密度至少为80％，且上述分离的区块不会个别地作为元件结构。本发明所述的避免沉积厚膜发生脱层的方法及其制造的太阳能电池，避免了沉积厚膜发生脱层，提升了整个半导体装置的品质。
避免沉积发生方法及其制造太阳能电池

[实用新型]一种物镜光学镜片-CN202220590700.0有效
发明人：高原;李金美;帅江波;李春菊 -专利权人：昆明勋凯瑞光学仪器有限公司
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G02B1/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种物镜光学镜片，其特征在于：本体采用K9料作为基材进行加工，沿本体从左到右依次设置有第七膜层，第六膜层，第五膜层，第四膜层，第三膜层，第二膜层，第一膜层，第七膜层为厚800‑850KA的氟化镁，第六膜层为厚700‑7300KA的三氧化二铝，第五膜层为厚1050‑1100KA的二氧化锆，第四膜层为厚1100‑1200KA的氟化镁，第三膜层为厚380‑400KA的二氧化锆，第二膜层为厚880‑900KA的氟化镁，第一膜层为厚530‑550KA的二氧化硅，其中1nm为10KA，通过对抛光完成后的镜片进行镀膜加工，增加镜片的透过率。
一种物镜光学镜片

[发明专利]学习装置及方法、信息处理装置、衬底处理装置及系统、配方确定方法及计算机可读介质-CN202211114852.4在审
发明人：塙洋祐;佐佐木悠太;国枝省吾 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：学习装置具备：实验数据获取部，获取衬底上形成的固体的膜厚或液体的膜厚，所述固体的膜厚或液体的膜厚是在第1条件下驱动衬底处理装置而获得的，所述衬底处理装置在执行对衬底供给液体，在衬底上形成固体膜或液体膜的一系列处理之后，从衬底去除固体膜或液体膜而使衬底干燥；以及第1学习部，使学习模型学习第1教学数据，所述第1教学数据包含表示由实验数据获取部获取的固体的膜厚或液体的膜厚的特性的膜厚特性及第1条件。
学习装置方法信息处理衬底处理系统配方确定计算机可读介质

[发明专利]一种涡电流传感器的测厚校准方法、装置及研磨系统-CN202110623292.4有效
发明人：黄清波;周雪梅;翁杰;潘代强 -专利权人：上海芯物科技有限公司
申请日： 2021-06-04 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种涡电流传感器的测厚校准方法、装置及研磨系统，校准方法包括：触发测量校准后，获取涡电流传感器检测基准片表面上金属膜层的最大膜厚时对应的电信号；获取涡电流传感器检测基准片表面上金属膜层的零膜厚时对应的电信号；零膜厚时对应电信号为涡电流传感器检测基准片附近的稳态介质的信号强度；根据零膜厚时对应的电信号以及最大膜厚时对应的电信号拟合得到本次校准后的金属膜厚测量公式，金属膜厚测量公式用于界定测量得到的电信号与金属膜层厚度之间的理论计算关系本发明实施例提供的技术方案减少了研磨液和硅片等带来的信号误差，提高了金属膜厚测量公式的精确性，从而提高了研磨工艺中金属膜层厚度的控制精度。
一种电流传感器校准方法装置研磨系统