[发明专利]一种镀膜方法及镀膜设备在审

专利信息
申请号: 202110254976.1 申请日: 2021-03-05
公开(公告)号: CN113046730A 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 盛兆亚;宋文庆;王凯;张建飞 申请(专利权)人: 立讯电子科技(昆山)有限公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/458
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 刘臣刚
地址: 215324 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种镀膜方法及镀膜设备,其属于镀膜技术领域,镀膜方法包括初始化步骤,对镀膜设备的治具架上多个位置进行编码标定分配相应编号;进行多次循环步骤;该循环步骤包括:依次检测每个编号位置处的产品的编号位置膜厚,得到多个编号位置膜厚,并得到多个编号位置膜厚的平均膜厚;根据平均膜厚及每个编号位置对应的编号位置膜厚,得到每个编号位置的膜厚差值;根据每个编号位置的膜厚差值及预设算法,得到每个编号位置对应的旋转速度;在预设编号位置经过镀膜设备的预设部分时,控制治具架以预设编号位置对应的旋转速度旋转,直至遍历所有编号位置。本发明能使每个编号位置的产品的膜层厚度达到一致,以提高镀膜厚度的均匀性。
搜索关键词: 一种 镀膜 方法 设备
【主权项】:
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