专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种高纯多晶硅硅腐蚀清洗的方法-CN201010300736.2无效
  • 吴学林;卢小丹 - 宜昌南玻硅材料有限公司
  • 2010-01-26 - 2010-07-14 - C30B33/10
  • 本发明公开了一种高纯多晶硅硅腐蚀清洗的方法,涉及多晶硅生产领域中的高纯多晶硅硅清洗的方法,在混酸腐蚀和纯水(EW-I)漂洗工序后设置氢氟酸溶液腐蚀工序;氢氟酸溶液为电子级氢氟酸和纯水(EW-I)按1∶2~5(重量份)的配比稀释而成,腐蚀浸泡时间根据硅表面的氧化层厚薄及氢氟酸的溶液浓度的决定;超声清洗之后再用热氮气切水、真空烘干从而得到满足直拉单晶要求的高纯免洗多晶硅硅。通过增加氢氟酸溶液腐蚀工序,去除硅经过混酸腐蚀的多晶硅硅再次接触空气后产生的表面氧化层,从而得到表面金属光泽度好、表面质量更优的免洗高纯多晶硅料。
  • 一种高纯多晶硅硅块腐蚀清洗方法

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