|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 695个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种用于碳化硅晶锭的分离方法-CN202310839189.2在审
-
于大全;姜峰
-
厦门云天半导体科技有限公司
-
2023-07-10
-
2023-10-27
-
C30B33/10
- 本发明提供了一种碳化硅晶锭分离的方法，夹持碳化硅晶锭以使得碳化硅晶锭的长度方向水平延伸；在碳化硅晶锭的圆柱表面上形成多个环绕圆柱表面的刻蚀阻挡图案，多个刻蚀阻挡图案之间分别具有间隔；用刻蚀气体同步进行刻蚀以使得形成多个单独的晶圆片。本发明通过在碳化硅晶锭表面形成刻蚀阻抗图案，对碳化硅晶锭进行干法刻蚀。在刻蚀过程中通过上下刻蚀气体同时进行双面，旋转晶锭使其刻蚀更加均匀，根据刻蚀深度不同，不断改变刻蚀的速率和旋转的速度，以达到碳化硅晶锭的利用率大幅提升，同时刻蚀后的表面均匀性更好，可以省去减薄步骤，同时降低CMP的工艺时间，成本更低。因为干法刻蚀的微损伤更少，所以产品的良率更佳。
- 一种用于碳化硅分离方法
- [实用新型]一种适用于湿法制绒的槽体-CN202320043998.8有效
-
张力;朱伟;夏光林;崔洋
-
一道新能源科技股份有限公司
-
2023-01-05
-
2023-10-20
-
C30B33/10
- 本实用新型实施例提供了一种适用于湿法制绒的槽体，包括：主槽、副槽以及匀流管；所述副槽环绕设置于所述主槽的侧部；所述主槽的侧部开设有与所述副槽连通的连通口；所述主槽以及所述副槽分别设置有至少一个匀流管，所述主槽的匀流管以及所述副槽的匀流管通过一循环管路连通，所述循环管路上设置有循环泵；所述主槽的槽底为下凹的曲面结构。主槽槽底为下凹的曲面结构，制绒反应产生的副产物以及碎片流入到排液管中后，将直接排放至制绒槽的外部，既减少了槽内的副产物，又减少了槽底的碎片量，进一步地，主槽与副槽之间设置有过滤网，避免碎片进入到副槽中堆积，延长了介质使用寿命，节约了成本，同时使硅片制绒的良率及效率得到显著提升。
- 一种适用于湿法
- [实用新型]盖体及具有该盖体的制绒清洗设备-CN202223189345.5有效
-
王毅;龚庆;陈贤刚
-
江苏启威星装备科技有限公司
-
2022-11-30
-
2023-09-29
-
C30B33/10
- 本申请公开了一种盖体及具有该盖体的制绒清洗设备，涉及制绒清洗设备技术领域。一种盖体，用于制绒清洗设备，所述盖体包括：盖本体，及设置于盖本体的喷液机构和废液收集结构；其中，喷液机构包括泵体、管道和喷头，至少部分管道设置于所述盖本体上，位于盖本体上的管道连接有多个喷头，所述喷头的进口通过管道与所述泵体相连通，且喷头的出口朝向盖本体，用于向盖本体上喷冲洗液；所述废液收集结构设置于盖本体的侧端边缘，所述废液收集结构朝向盖本体的一侧设有供冲洗后的废液流入的开口。本申请可以实现对盖体上的碱结晶或其它污染物的自动清理，避免碱结晶或脏污腐蚀盖体或影响电池片的质量，有助于降低成本、提高产品的良率。
- 具有清洗设备
|
