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[发明专利]一种新型结构的双面光掩膜版及其制作方法-CN202310062535.0在审
发明人：刘玉闯;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G03F1/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型结构的双面光掩膜版及其制作方法，包括以下步骤：清洗玻璃基板；在玻璃基板的两侧均镀上铬金属层；在正面旋涂上光刻胶；进行正面曝光；在玻璃基板背面贴上保护膜；对玻璃基板正面进行显影；对玻璃基板正面进行冲洗并蚀刻；去除玻璃基板正面残余的光刻胶；去除玻璃基板背面的保护膜；对玻璃基板进行双面清洗；在玻璃基板背面旋涂光刻胶；然后进行曝光；重复步骤S5～S10，最终制作完成双面光掩膜版。采用本方案，通过制作出带双面图案的光掩膜版，使双面都有图案，并建立在同一基板上，在受温度波动影响时，双面图形在同一条件下变化，不影响两面图形叠加时的套刻精度；并且两种图形使用一张基板，可以降低光掩膜版基板成本。
一种新型结构双面光掩膜版及其制作方法

[实用新型]一种掩膜版夹具-CN202223304507.5有效
发明人：陈德浇;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜版夹具，包括外框，还包括内框，连接于所述外框并位于所述外框内部；卡槽，固定于所述内框的框边上，用于卡持掩膜版；固定块，固定连接于真空镀膜设备；连接组件，与所述固定块对应设置，所述连接组件连接于所述外框与固定块之间。本实用新型通过在内框上设置卡槽，可将掩膜版置于内框中用卡槽卡持即可，不需要将掩膜版挂在夹具上，也不需要将掩膜版贴附在夹具上，既可满足新产品中掩膜版的固定需要，也可以满足产品本身的高清洁度要求。
一种掩膜版夹具

[实用新型]一种铬版光罩周转箱-CN202222255261.0有效
发明人：刘玉闯;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铬版光罩周转箱，以解决铬版光罩在周转时容易被静电击伤的问题，该铬版光罩周转箱包括：箱体，所述箱体具有用于装取铬版光罩的装取槽；导电体，所述导电体设置在所述装取槽内以在装取铬版光罩时持续与铬版光罩接触，所述导电体具有位于所述箱体外的接地端。本实用新型通过导电体的设置，能够将产生的静电释放到地端，从而可以避免静电将铬版光罩击伤，继而能够保证铬版光罩的产品品质，提高铬版光罩的产品良率。
一种铬版光罩周转

[发明专利]色甘酸钠的精制工艺-CN202011156230.9有效
发明人：朱厚亮;司继伟;许鹏;李孟炜 -专利权人：山东博山制药有限公司
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C07D311/24 文献下载
摘要：本发明属于色甘酸钠粗品精制技术领域，具体涉及一种色甘酸钠的精制工艺。将色甘酸钠粗品投入混合溶液，升温使色甘酸钠粗品溶解；加入一半采用酒精湿润后的活性炭，保温回流0.5‑0.6h，然后加入剩余的采用酒精浸润后的活性炭继续保温回流0.5‑0.6h；氮气气氛下，将料液压入结晶釜；开启变频搅拌，将结晶釜内的料液升温至溶解，将定量酒精滴加到结晶釜中，滴加完毕，停止加热开启低速搅拌；将结晶釜内温度降温，静置析晶，然后将滤液甩滤，收集湿精品，经干燥处理，制备得到精制色甘酸钠。本发明所述的色甘酸钠精制工艺，工艺参数易于控制，精制后色甘酸钠HPLC纯度≥99.8％，收率＞90％，未知单一杂质≤0.10％。
色甘酸钠精制工艺

[实用新型]掩膜版及曝光机-CN202220580987.9有效
发明人： 司继伟;刘玉闯;陈德浇 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G03F1/48 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜版及曝光机。本实用新型的掩膜版包括：基板、防护层和刻蚀层。基板，所述基板能够透光；防护层，设置于所述基板至少一侧的表面上，能够透光；刻蚀层，连接于一侧所述防护层背离所述基板的表面，且所述刻蚀层形成有贯通的透光槽；其中，所述防护层与所述基板之间的接触面积，大于所述刻蚀层与相邻所述防护层之间的接触面积。这种掩膜版能够改善刻蚀层的附着效果，提高掩膜版的使用寿命。
掩膜版曝光

[实用新型]光罩清洗治具及光罩清洗装置-CN202120919284.X有效
发明人：黄国勇;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光罩清洗治具及光罩清洗装置。本实用新型的光罩清洗治具包括框体和固定部。固定部设于所述框体的内侧的边端，用于固定光罩，且所述固定部避开所述框体的内侧的角端，与所述框体的内侧的角端形成第一排水区，第一排水区用于使所述框体的内侧的角端与光罩形成间隔。所述固定部设于框体的内侧的边端，第一排水区形成于框体的内侧的角端，使光罩与框体的内侧的角端留有间隔，在该光罩清洗治具旋转甩干光罩上的水时，光罩与框体的内侧的角端之间不产生积水，提高光罩清洗效果。
清洗装置

[实用新型]转移治具-CN202120289346.3有效
发明人：刘猛;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B65G47/74 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种转移治具，包括第一主体和至少两个夹持部。其中，夹持部连接于第一主体，且分布在第一主体的相对的两侧，夹持部上设置有夹持槽，夹持槽用于夹持第一光罩。通过夹持部上的夹持槽来夹持第一光罩，然后再通过搬运第一主体来实现对第一光罩的搬运目的，在第一光罩的搬运过程中无需人为接触，从而减少了许多痕迹，同时有效降低了废品率。
转移

[实用新型]板件夹具及真空镀膜设备-CN202120106958.4有效
发明人：陈德浇;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2021-01-15 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种板件夹具，用于夹持板件，包括立杆、夹持杆和调整组件。立杆设置有两个，两个立杆相互平行设置；夹持杆设置有多个，相邻的夹持杆的相对侧面能够夹持板件的两个相对的侧边；调整组件包括滑块和锁紧件，滑块滑动连接于立杆，夹持杆的两端通过滑块分别连接于两个立杆，锁紧件用于将滑块固定于立杆上。调整组件能够沿立杆长度方向调整夹持杆的位置，从而能够调整相邻的夹持杆间的距离，以夹持多种不同尺寸的板件。
夹具真空镀膜设备

[实用新型]曝光设备-CN202120627977.1有效
发明人：黄国勇;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种曝光设备，属于掩膜版制造技术领域。曝光设备，包括：机体；工件放置板，所述工件放置板可从所述机体外部滑动至所述机体内部，所述工件放置板用于放置掩膜版；紫外线灯板，所述紫外线灯板位于所述机体内部，所述紫外线灯板用于照射所述工件放置板上的掩膜版。本申请的曝光设备能够对掩膜版进行紫外线光照射，并且结构简单，易于实施，操作方便，能够快速取放掩膜版，生产效率高。
曝光设备

[实用新型]支撑治具及清洗设备-CN202120177596.8有效
发明人：刘猛;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种支撑治具及清洗设备。支撑治具用于光罩清洗时承载光罩，支撑治具包括载具本体，载具本体具有相对的上表面和下表面，载具本体的中部设有：第一通槽，第一通槽用于容纳光罩，且收容于第一通槽内的光罩的上表面高于载具本体的上表面；多个第二通槽，环绕设于第一通槽的外侧，至少部分第二通槽的截面积从上表面往下表面的方向逐渐增大；支撑部，用于支撑光罩，设于第一通槽的槽壁上并延伸至第一通槽内。本实用新型的支撑治具能够提升光罩的清洗效果。
支撑清洗设备

[发明专利]光罩内部清洁方法及清洁装置-CN202110494398.9在审
发明人：刘猛;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2021-05-07 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本发明公开了一种光罩清洁方式及清洁装置。本发明的光罩清洁方式能够通过激光透过光学膜照射灰尘，将所述灰尘击碎至不影响所述光罩正常使用的尺寸，或者将所述灰尘移动至不影响所述光罩正常使用的位置。光罩内部清洁方法，至少具有如下有益效果：可在不撬除光学膜的情况下，通过激光透过光学膜照射灰尘，将所述灰尘击碎至不影响所述光罩正常使用的尺寸，或者将所述灰尘移动至不影响所述光罩正常使用的位置，能够减少光罩的生产成本以及提高生产效率。
内部清洁方法装置

[实用新型]一种测试铬版铬膜牢固性的装置-CN202022562459.4有效
发明人：黄国勇;司继伟;杜武兵;雷蒙 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： G01N19/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种测试铬版铬膜牢固性的装置，包括安装架、移动部、调节部以及驱动机构，所述移动部能够沿第一方向移动地设置于所述安装架上，所述调节部能够沿垂直于所述第一方向调节地设置于所述移动部上，所述调节部于自身调节方向的一端设置有擦拭部，所述驱动机构用于控制所述移动部移动。根据本实用新型实施例的测试铬版铬膜牢固性的装置，能够快速地对修补后铬版的膜层的牢固性进行擦拭检测，操作简单，省时省力，工作人员工作强度低，同时擦拭的过程中一致性高。
一种测试铬版铬膜牢固装置

[实用新型]定位贴合装置-CN202022683664.6有效
发明人：刘猛;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： F16B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种定位贴合装置，涉及光罩配件装配领域；所述定位贴合装置包括工件承载组件，所述工件承载组件用于固定第一工件；第二工件调节组件，所述第二工件调节组件包括第一微调件、第二微调件以及工件治具，所述工件治具位于所述工件承载组件一侧，且所述工件治具位于所述工件承载组件上的第一工件的下方；所述第一微调件用于驱动所述工件治具沿第一方向水平移动；所述第二微调件用于驱动所述第一微调件沿第二方向水平移动；拍摄组件，所述拍摄组件用于获取所述工件治具在所述第一方向的移动距离和在所述第二方向的移动距离；通过上述方式，提升工件背面贴合的精度。
定位贴合装置

[发明专利]掩膜版脱膜去胶方法、制作方法及掩膜版-CN202110326898.1在审
发明人：黄国勇;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜版脱膜去胶方法、制作方法及掩膜版，属于掩膜版制作技术领域。掩膜版脱膜去胶方法，包括：对掩膜版半成品进行曝光，使掩膜版半成品上的残留光阻层进行光耦合反应；将进行光耦合反应后的掩膜版半成品与显影液进行反应，去除掩膜版半成品上的残留光阻层。本申请的掩膜版脱膜去胶方法，对掩膜版半成品进行曝光，使掩膜版半成品易于与显影液反应，摒弃了用H2SO4与H2O2混合进行脱膜的方法，不会对掩膜版造成损伤，延长了掩膜版的使用寿命，并且人员操作安全；不需使用自动清洗机进行费时费力的清洗，工序耗时短，生产效率高，操作方便。
掩膜版脱膜去胶方法制作方法掩膜版

[实用新型]一种带小版测量夹具的测量机-CN202022591477.5有效
发明人：刘猛;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带小版测量夹具的测量机，主要包括支架以及承载板和承载结构，主要通过承载板设置的宽度能够调节的滑道来适应不同尺寸的承载结构的安装需求，进而满足不同尺寸的光罩的测量需求，最终达到提高检测效率的目的；显然，在这种能够调节的组合式结构下，技术人员能够通过较少的检测设备(即测量机)进行大批量、不同尺寸的光罩的检测，故而还有降低测量成本的优势。
一种带小版测量夹具

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