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[实用新型]一种曝光机LED灯源的投射装置-CN201821160343.4有效
发明人：陈振才;李诚 -专利权人：东莞市多普光电设备有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种曝光机LED灯源的投射装置，包括灯源机箱、LED灯源、平面镜、快速开关机构、互眼组件及大曲镜，当光源投射出来射到平面镜时，由平面镜转射到互眼组件进行集束光射到大曲镜上，最终再转射到PCB A面上进行曝光，待A面曝光完成此时快速开关机构打开，经互眼组件集束光发出的光由快速开关机构上的平面反射镜将光反射到下方的大曲镜，最终由大曲镜将光转射到PCB B面进行曝光，B面曝光完成同时快速开关机构同样回到原点，从而周而复始循环曝光；故本实用新型具有设计新颖、结构简单、调节简便，充分利用了光学原理进行创新，以实现单一灯源进行双面曝光，以减少曝光不良品质之优点。
大曲快速开关曝光平面镜本实用新型投射装置集束光曝光机平面反射镜原点不良品质单一灯源光学原理光源投射双面曝光光反射灯源机箱

[实用新型]一种UV曝光机的掩膜夹具-CN202022330690.0有效
发明人：赵宁;隋晓平 -专利权人：烟台德合蓝新材料有限公司
申请日： 2020-10-16 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种UV曝光机的掩膜夹具，包括UV曝光机本体，所述UV曝光机本体内设有开口，所述开口的内顶部固定连接有曝光装置，所述开口的左右内侧壁上均设有电动滑轨，两条所述电动滑轨之间设有放置板，所述放置板上设有放置槽，所述放置槽内放置有电路板，所述放置板内设有储气腔，所述储气腔内设有用于夹紧电路板的夹紧机构，所述UV曝光机本体的左侧壁上设有用于提供夹紧机构所需动力的动力机构，所述储气腔内底部固定连接有多个安装筒，多个所述安装筒内均设有用于顶起电路板的顶起机构本实用新型结构合理，其能够进行待曝光板的柔性夹持，避免其发声损坏，同时还可以在曝光完成后进行待曝光板的顶起。
一种 uv 曝光夹具

[实用新型]一种带有ECL试剂处理的印迹膜X光曝光盒-CN202121043208.3有效
发明人：黄翔宇;宋慧慧;陈哲 -专利权人：合肥飒英斯生物科技有限公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01N33/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有ECL试剂处理的印迹膜X光曝光盒，包括曝光盒：所述曝光盒的内腔设置有压制机构，所述压制机构包括设置在曝光盒内腔且可滑动的存放板，所述存放板顶部的四周均固定连接有护边，所述曝光盒内腔的两侧均开设有供存放板滑动的矩形滑槽，所述曝光盒顶部的后侧设置有可转动的顶盖，所述存放板顶部的前侧开设与顶盖相卡合的矩形凹槽，所述曝光盒的正表面设置有限位机构。在本实用新型中，通过将印迹膜放置在曝光盒的内腔进行一定时间进行反应，在此同时通过压制机构和压边框的设置，对印迹膜进行限位固定，避免其自行移位，即可达到实验稳定、便捷和实验结果准确的目的。
一种带有 ecl 试剂处理印迹曝光

[实用新型]一种具有补光装置的照片冲印机-CN202022411170.2有效
发明人：宋鸿昌;商劲松;刘宁;刘山佳;张实;陈峰;胡楠;刘歆;李湛;苗育;陆洪宁;程阳;刘曼 -专利权人：沈阳大鱼海橖影楼后期制作有限公司
申请日： 2020-10-27 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： G03G15/04 文献下载
摘要：本实用新型照片冲印技术领域，具体为一种具有补光装置的照片冲印机，包括机壳、曝光灯、辅助机构、啮合机构、联动机构和感光鼓，曝光灯端部与机壳的固接，曝光灯的下端设有感光鼓，感光鼓的一端与机壳的内壁转动相连，曝光灯的两侧设有辅助机构，两个辅助机构的端部之间通过啮合机构连接，啮合机构的中部通过联动机构与感光鼓的另一端连接，在实用新型解决解决了传统照片冲印曝光时，容易产生图像成象不清晰且模糊的现象，从而影响照片冲印效果
一种具有装置照片冲印

[发明专利]照相印相装置-CN95108328.7无效
发明人：梅本长司 -专利权人：诺日士钢机株式会社
申请日： 1995-06-14 - 公布日： 2002-10-02 - 主分类号： G03B27/46 文献下载
摘要：一种能印制具有底片的多幅图像之合成图像作为索引单图片的照相印相装置，包括曝光装置，根据自底片读得的图象信息求出的曝光条件以控制该曝光装置的曝光控制部分，索引单打印机构，用于输入修正曝光条件的修正指示输入机构，图象信息变换部分，包括第1图象合成机构和第2图象合成机构，它将根据修正的曝光条件所产生的修正图象信息与上述输入机构输入的附加信息合成产生索引单印制用的图象信息，并将该图象信息送到所述索引单打印机构，和为了对所述图象信息变换部分生成的图象进行检测
照相装置

[发明专利]图案形成方法-CN200680024481.3无效
发明人：高岛正伸;小森一树;石川弘美;冈崎洋二;大森利彦 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2006-06-16 - 公布日： 2008-07-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成方法，其在使用了具备将描绘单位二维地分布的曝光头的数字曝光装置的曝光中，可以在压缩成本的同时，通过将各描绘单位的光量均匀化，而高精度地形成微细的图案。为此，至少包括如下操作：对该感光层经由具有光分布修正机构的聚光光学系统照射从光照射机构中射出的光束而进行曝光，该光束被上述光调制机构调制，该曝光如下进行，即，使从上述光照射机构向上述光调制机构照射的光束的照射区域内的光量中具有分布，由上述光调制机构调制了的光束的光量分布被修正为在上述感光层的被曝光面上达到均匀化。
图案形成方法

[发明专利]曝光设备、曝光方法和器件制造方法-CN200480023577.9有效
发明人：长坂博之;石井勇树;牧野内进 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2004-08-20 - 公布日： 2006-09-20 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：一种通过把曝光光经由投影光学系统和液体照射到被放置在所述投影光学系统的图像面一侧的基片而曝光基片的曝光设备，该曝光设备包括：液体供应机构，用来把液体供应到基片上；液体回收机构，用来回收被供应到基片上的液体；以及其中当曝光光照射到投影光学系统的图像面一侧时，液体回收机构不执行液体的回收。
曝光设备方法器件制造

[发明专利]曝光装置-CN201910149815.9在审
发明人：绿川悟;山贺胜 -专利权人：株式会社ORC制作所
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种曝光装置。利用抑制了设置空间的RtoR输送系统的曝光装置进行长基板的双面曝光。在RtoR输送系统的曝光装置(10)中，在曝光载台(15)的单侧配置供给卷轴(22)、收卷卷轴(32)，在相反侧配置基板折回机构(50)。然后，基板折回机构(50)使从供给卷轴(22)送出的长基板(W)朝向相反方向折回，并且使正面背面翻转。曝光部(40)在曝光载台(15)与包含供给卷轴(22)、收卷卷轴(32)的基板供给/收卷装置(20)一体地进行相对移动的期间内，对长基板(W)的正面侧曝光对象部分(W1)和背面侧曝光对象部分(W2)这双方同时进行曝光
曝光装置

[发明专利]卷对卷曝光机和用于卷对卷曝光机的控制方法-CN202210808510.6在审
发明人：项宗齐;李香滨;刘国藩;汪涛 -专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种卷对卷曝光机和用于卷对卷曝光机的控制方法，卷对卷曝光机包括：用于提供料带的放料装置和用于卷收料带的收料装置；曝光装置，曝光装置位于放料装置与收料装置之间，曝光装置沿第一方向依次设置有对位组件、曝光机构和多个精密运动平台；曝光机构包括两个曝光组件，两个曝光组件沿与第一方向垂直的第二方向相对设置，用于在料带悬空于两个曝光组件之间时，对料带同步进行双面曝光；多个精密运动平台交替夹持料带，以沿第一方向匀速拉动料带采用该卷对卷曝光机可以实现连续不断地对料带的双面同时进行曝光，提高曝光效率，解决曝光产品双面对位精度的问题。
曝光用于控制方法

[发明专利]一种双台面直写式曝光机及其曝光方法-CN201811312705.1在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：苏州源卓光电科技有限公司
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种双台面直写式曝光机，提升了设备利用率,减少了设备各系统的工作的空闲时间,从而有效提升了曝光机的产能，包括底座和通过龙门机构顺序设置在底座上的对位机构、曝光机构，在底座上设置有两个相互平行设置的步进轴运动组件，步进轴运动组件上分别安装有Z轴运动组件，步进轴运动组件能够带动Z轴运动组件前后移动经过对位机构、曝光机构，Z轴运动组件分别与基板承载台面固定连接，基板承载台面上设有吸盘，基板承载台面一上一下设置成两层，Z轴运动组件能够带动基板承载台面上下移动使得曝光焦面对准，此外，本发明还提供了一种双台面直写式曝光机的曝光方法。
台面曝光机基板承载轴运动步进直写底座对位机构曝光机构曝光设备利用率吸盘基板承载台机构顺序平行设置前后移动上下移动一上一下产能焦面两层龙门空闲对准

[发明专利]工件台结构及包含该结构的光刻系统及其曝光方法-CN202110174678.1在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：上海度宁科技有限公司
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及工件台结构及包含该结构的光刻系统及其曝光方法，其中所述工件台结构包括第一承载平台以及与所述第一承载平台连接的运动组件，通过运动组件实现所述第一承载平台沿预设轨迹运动，以实现承载于第一承载平台的待曝光样品在运动中被曝光本发明还涉及一种光刻系统，包括上述工件台结构以及三轴运动机构及与三轴运动机构连接的曝光机构，工件台结构控制所述第一承载平台沿预设扫描运动方向旋转运动，三轴运动机构控制所述曝光机构根据工件台结构的预设扫描运动方向对所述待曝光样品进行曝光
工件结构包含光刻系统及其曝光方法

[发明专利]一种垂直曝光及检测装置-CN202110050549.1有效
发明人：倪沁心;陈建明;陈铁玉;梁添贵;杨大昆 -专利权人：广东华恒智能科技有限公司
申请日： 2021-01-14 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及曝光装置技术领域，尤其是指一种垂直曝光及检测装置，其包括机架以及均装设在机架上的曝光装置、菲林检测装置和用于将物料的传输方向垂直于所述机架进行输送的垂直输送料机构，所述垂直输送料机构输送的物料经过所述曝光装置进行曝光；所述菲林检测装置包括拉菲林机构以及菲林检测机构；所述曝光装置垂直设置于所述机架上；所述机架上装设有挡板，所述曝光装置和所述垂直输送料机构均位于所述挡板的一侧，所述菲林检测装置位于所述挡板的另一侧。
一种垂直曝光检测装置

[实用新型]简易光固化面曝光成像装置-CN201420028040.2有效
发明人：邱荣华;汪成龙 -专利权人：西安工程大学
申请日： 2014-01-17 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开的简易光固化面曝光成像装置，包括有平行光照射系统，平行光照射系统包括有支撑悬臂，支撑悬臂的下部设置有光照设备，支撑悬臂的一端与竖直设置的支架的上端连接，胶片送进机构平行设置于平行光照射系统的下方，胶片送进机构的一侧与支架连接，光学缩小系统的上部设置于胶片送进机构内的中央，光学缩小系统的下部伸出胶片送进机构，胶片送进机构内靠近光学缩小系统顶端处设置有图案胶片。本实用新型的简易光固化面曝光成像装置能在固化面上生成边界清晰、尺寸准确的曝光图案，用激光打印图案胶片取代了曝光掩膜，用照相技术实现了曝光图案的缩小和曝光量的控制，是一款结构简单、使用方便且适应性强的光固化面曝光成像产品
简易光固化曝光成像装置

[实用新型]全自动影像检查双面自动曝光机-CN202022729398.6有效
发明人：童青苗 -专利权人：深圳市三字自动化设备有限公司
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： A61B6/03 文献下载
摘要：本实用新型涉及曝光机技术领域，具体的说是全自动影像检查双面自动曝光机，包括曝光机主体和检查仓，所述曝光机主体内部设有检查仓，所述曝光机主体后端固定安装有设备后挡板，所述检查仓内壁下端分别设有两个移动滑槽，两个所述移动滑槽内部分别滑动安装有移动滑块，两个所述移动滑块上端固定安装有安装底座，所述检查仓通过机构支撑柱固定安装有双面曝光机构，所述检查仓内壁上下两端分别固定安装有机构支撑柱。本实用新型通过双面曝光机构可以利用调节握把，进行对机构调节板角度的调节，防止因角度无法调节，导致需要人员进行位置上的大幅度的调整，从而可以减少在位置上调整的速度，并对其进行快速调整加快整体的检查效率。
全自动影像检查双面自动曝光

[实用新型]一种垂直曝光及检测装置-CN202120103320.5有效
发明人：倪沁心;陈建明;陈铁玉;梁添贵;杨大昆 -专利权人：广东华恒智能科技有限公司
申请日： 2021-01-14 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及曝光装置技术领域，尤其是指一种垂直曝光及检测装置，其包括机架以及均装设在机架上的曝光装置、菲林检测装置和用于将物料的传输方向垂直于所述机架进行输送的垂直输送料机构，所述垂直输送料机构输送的物料经过所述曝光装置进行曝光；所述菲林检测装置包括拉菲林机构以及菲林检测机构；所述曝光装置垂直设置于所述机架上；所述机架上装设有挡板，所述曝光装置和所述垂直输送料机构均位于所述挡板的一侧，所述菲林检测装置位于所述挡板的另一侧。
一种垂直曝光检测装置