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[发明专利]曝光装置、器件制造方法、及曝光装置的控制方法-CN200810173386.0有效
发明人：马込伸贵;小林直行;榊原康之;高岩宏明 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2004-07-26 - 公布日： 2009-05-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供曝光装置、器件制造方法、及曝光装置的控制方法。曝光装置(EX)通过投影光学系(PL)和液体(1)将图形像投影到基板(P)上，从而对基板(P)进行曝光。曝光装置(EX)具有将液体(1)供给到投影光学系统(PL)与基板(P)间的液体供给机构(10)。液体供给机构(10)在检测到异常时停止液体(1)的供给。可抑制由于形成液浸区域的液体的泄漏使基板周边装置·构件受到的影响，良好地进行曝光处理。
曝光装置器件制造方法控制

[发明专利]曝光装置、器件制造方法、及曝光装置的控制方法-CN200810173388.X有效
发明人：马込伸贵;小林直行;榊原康之;高岩宏明 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2004-07-26 - 公布日： 2009-05-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供曝光装置、器件制造方法、及曝光装置的控制方法。曝光装置(EX)通过投影光学系(PL)和液体(1)将图形像投影到基板(P)上，从而对基板(P)进行曝光。曝光装置(EX)具有将液体(1)供给到投影光学系统(PL)与基板(P)间的液体供给机构(10)。液体供给机构(10)在检测到异常时停止液体(1)的供给。可抑制由于形成液浸区域的液体的泄漏使基板周边装置·构件受到的影响，良好地进行曝光处理。
曝光装置器件制造方法控制

[发明专利]曝光装置、器件制造方法-CN200810173387.5有效
发明人：马込伸贵;小林直行;榊原康之;高岩宏明 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2004-07-26 - 公布日： 2009-05-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供曝光装置、器件制造方法、及曝光装置的控制方法。曝光装置(EX)通过投影光学系(PL)和液体(1)将图形像投影到基板(P)上，从而对基板(P)进行曝光。曝光装置(EX)具有将液体(1)供给到投影光学系统(PL)与基板(P)间的液体供给机构(10)。液体供给机构(10)在检测到异常时停止液体(1)的供给。可抑制由于形成液浸区域的液体的泄漏使基板周边装置·构件受到的影响，良好地进行曝光处理。
曝光装置器件制造方法

[发明专利]曝光装置、器件制造方法、及曝光装置的控制方法-CN200480021856.1有效
发明人：马込伸贵;小林直行;榊原康之;高岩宏明 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2004-07-26 - 公布日： 2006-09-06 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供曝光装置、器件制造方法、及曝光装置的控制方法。曝光装置(EX)通过投影光学系(PL)和液体(1)将图形像投影到基板(P)上，从而对基板(P)进行曝光。曝光装置(EX)具有将液体(1)供给到投影光学系统(PL)与基板(P)间的液体供给机构(10)。液体供给机构(10)在检测到异常时停止液体(1)的供给。可抑制由于形成液浸区域的液体的泄漏使基板周边装置·构件受到的影响，良好地进行曝光处理。
曝光装置器件制造方法控制

[实用新型]一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置-CN201922399790.6有效
发明人：刘栋;张雷 -专利权人：苏州源卓光电科技有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置，其包括底座，其还包括置于所述底座上的放卷装置、第一曝光系统、第二曝光系统、夹持机构和收卷装置，所述夹持机构分别邻近所述放卷装置和所述收卷装置，所述夹持机构之间为柔性印刷电路板待曝光区域，所述第一曝光系统和所述第二曝光系统位于所述柔性因数电路板的两侧。所述光刻装置不需要复杂的折返结构即完成了柔性印刷电路板的双面曝光。
一种应用于柔性印刷电路板光刻装置

[实用新型]平行光单面曝光装置-CN201420717992.5有效
发明人：范金刚;蓝学军 -专利权人：深圳市博宇佳瑞光电科技有限公司
申请日： 2014-11-26 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平行光单面曝光装置，该装置包括机台、玻璃曝光台面、直线传动机构、气路组件和橡皮框；直线传动机构上活动安设有沿该直线传动机构做直线匀速运动的灯箱，灯箱内置有曝光灯，且该灯箱上设有冷却组件；橡皮框的一端铰接在玻璃曝光台面的末端上，且该橡皮框与玻璃曝光台面接触贴合围合成容纳该被曝光物的腔体；气路组件包括置于机台内的真空泵及与真空泵电连接的电磁阀和置于橡皮框上的抽气嘴和气管接头。本实用新型增设气路组件和橡皮框，橡皮框与玻璃曝光台面的接触能确保四周不漏气，且气路组件可确保原稿与被曝光物贴合，解决现有的曝光装置对大小不一样的被曝光物的曝光时间相同而消耗同样多的电能，避免了能耗的损失
平行单面曝光装置

[发明专利]成像装置和检测曝光头的曝光影像偏差的方法-CN200810068099.3有效
发明人：高云峰;孙海翔;刘坚 -专利权人：深圳市大族激光科技股份有限公司
申请日： 2008-06-30 - 公布日： 2010-01-06 - 主分类号： G03G15/043 文献下载
摘要：本发明公开成像装置和检测曝光头的曝光影像偏差的方法。所述成像装置包括承载成像面的运动机构和通过与待成像图像的图像信息对应的调制光束对所述成像面进行曝光的曝光头，其中，在所述运动机构上还安装有影像传感器，用于将所述曝光头在对应于所述影像传感器的安装位置处发出的检测光束转换为相应的电信号，以确定所述曝光头的曝光影像偏差信息。
成像装置检测曝光影像偏差方法

[发明专利]一种曝光装置-CN201910092052.9在审
发明人：梁添贵;陈建明;王丹丹;倪沁心 -专利权人：广东华恒智能科技有限公司
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及曝光技术领域，尤其是指一种曝光装置，其包括机架，所述机架上设置有曝光室，所述曝光室包括工作台，所述工作台的上方和下方均设置有曝光机构；所述工作台的一侧设置有用于对物料进行粗定位的粗定位机构，工作台上还设置有用于对物料进行精定位的精定位机构；所述工作台的中部设置有显露口，所述工作台上设置有第一调整平台以及第一调整机构；所述第一调整平台上设置有第二调整平台以及第二调整机构。本发明结构简单、设计合理，提高物料曝光的精确度，提高品质的通过率，而且工作效率高，第一调整平台和第二调整平台可以实现单独调节和联动调节，方便对曝光机构与物料进行精确菲林对位，提高精确度，使用灵活、方便。
调整平台工作台调整机构曝光机构曝光装置曝光室粗定位机构工作效率高精定位机构单独调节菲林对位联动调节曝光技术粗定位精定位通过率显露曝光灵活

[实用新型]一种曝光装置-CN201920169132.5有效
发明人：梁添贵;陈建明;王丹丹;倪沁心 -专利权人：广东华恒智能科技有限公司
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及曝光技术领域，尤其是指一种曝光装置，其包括机架，所述机架上设置有曝光室，所述曝光室包括工作台，所述工作台的上方和下方均设置有曝光机构；所述工作台的一侧设置有用于对物料进行粗定位的粗定位机构，工作台上还设置有用于对物料进行精定位的精定位机构；所述工作台的中部设置有显露口，所述工作台上设置有第一调整平台以及第一调整机构；所述第一调整平台上设置有第二调整平台以及第二调整机构。本实用新型结构简单、设计合理，提高物料曝光的精确度，提高品质的通过率，而且工作效率高，第一调整平台和第二调整平台可以实现单独调节和联动调节，方便对曝光机构与物料进行精确菲林对位，提高精确度，使用灵活、方便
调整平台工作台本实用新型调整机构曝光机构曝光装置曝光室粗定位机构工作效率高精定位机构单独调节菲林对位联动调节曝光技术粗定位精定位通过率显露曝光灵活

[实用新型]一种FPC新型二维码曝光设备-CN202121414220.0有效
发明人：张丽秋;张保丽;罗维;吴令一;李迎彩 -专利权人：珠海紫翔电子科技有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种FPC新型二维码曝光设备，包括：放料机构；安装在放料机构后侧的曝光机构，曝光机构包括真空吸附台，真空吸附台顶部安装有台架，台架上安装有光源驱动装置，光源安装在光源驱动装置的前侧且竖直向下设置，光源的下方安装有曝光架，曝光架的前侧安装有第一吸附压紧架，第一吸附压紧架上安装有真空吸头，第一限位架安装在台架的后方，第二吸附压紧架安装在第一限位架的后方，第二吸附压紧架上也安装有真空吸头，第二限位架安装在第二吸附压紧架的后方；安装在曝光机构后方的收料机构。本FPC新型二维码曝光设备，结构简单，设计合理，可以实现FPC用感光膜上二维码的自动放卷、生成和收卷，自动化程度高，效果好。
一种 fpc 新型二维码曝光设备

[实用新型]一种液体版UVA‑LED曝光机-CN201620403900.5有效
发明人：陈水波 -专利权人：广州市白云区科茂印务设备厂
申请日： 2016-05-06 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种液体版UVA‑LED曝光机，包括机架体和机盖体，在机架体上设有下玻璃板和垂直升降机构，在下玻璃板的下方设有第一移动装置和主曝光装置，主曝光装置设在第一移动装置上，所述主曝光装置包括UVA‑LED光源，所述机盖体与垂直升降机构连接且机盖体处于下玻璃板的上方，在机盖体上设有背曝光部，所述背曝光部包括第二移动装置、背曝光装置和上玻璃板，第二移动装置和背曝光装置处于上玻璃板的上方，背曝光装置设在第二移动装置上主曝光装置和背曝光装置分别对液体版的正面和背面进行曝光工作，不需要进行翻版操作，同时第一移动装置和第二移动装置可以改变主曝光装置和背曝光装置相对于液体版的相对位置，这样可以根据不同的使用需求来进行往返曝光
一种液体 uva led 曝光

[发明专利]一种用于数码立体照片激光冲印操作的移动镜头机构-CN201310470682.8有效
发明人：杨浩 -专利权人：深圳市中印印刷制品有限公司
申请日： 2013-09-30 - 公布日： 2017-06-23 - 主分类号： G03B27/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于数码立体照片激光冲印操作的移动镜头机构。该机构包括安装移动镜头机构的激光片夹平台；置于激光片夹平台下用于引导镜头平台横向移动的导轨；平行于横向移动导轨的丝杆和步进马达机构；安装在横向导轨和丝杆上的移动镜头平台；置于镜头移动平台和镜头卡口之间用于遮光的伸缩皮囊；垂直安装在镜头移动平台上用于引导镜头卡口升降移动的垂直导轨柱；平行于垂直导轨柱的丝杆和步进马达机构；本发明的移动镜头机构适用于激光曝光的数码立体照片冲印设备。该移动镜头机构可以最大限度的微调激光曝光精度，并保证曝光时激光束相对于柱镜光栅的曝光角度精确。解决了数码立体照片激光冲印时精确调整曝光精度和曝光角度的问题。
一种用于数码立体照片激光冲印操作移动镜头机构

[实用新型]一种玻璃商标曝光设备-CN201520905800.8有效
发明人：董清世;李圣根;于洪广;崔建设 -专利权人：信义汽车部件（天津）有限公司
申请日： 2015-11-13 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型适用于汽车玻璃的深加工技术领域，提供了一种玻璃商标曝光设备，包括密封的箱体和设置在所述箱体内的曝光机构，所述箱体包括主体框架、设置在所述主体框架周围的侧板、设置在所述主体框架上方的平板玻璃，以及设置在所述侧板上的配电箱；所述曝光机构包括安装在所述主体框架内的曝光灯内架、设置在所述曝光灯内架上且与所述平板玻璃相对设置的曝光灯组件、环绕所述曝光灯组件设置在所述曝光灯内架上的曝光灯架，以及紧贴所述曝光灯架设置的反光板。本实用新型的曝光设备结构紧凑，体积比一般的曝光机小，可以满足生产现场的要求，实现玻璃商标的曝光需求，并起到提升产品质量的作用，可加快产品的现场流转以满足订单交付。
一种玻璃商标曝光设备

[实用新型]移动式曝光平台-CN201820876423.3有效
发明人：杨明杰 -专利权人：深圳市盛德鑫智能科技有限公司
申请日： 2018-06-07 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种移动式曝光平台，包括曝光灯和菲林平台，对应于同一个曝光灯配有至少两个菲林平台；驱动机构，用于驱动曝光灯相对于菲林平台移动；或者驱动菲林平台相对于曝光灯移动。本实用新型可以大大地节省曝光灯等待被曝光物的时间，从而提高曝光机的工作效率。
曝光灯菲林曝光平台移动式本实用新型驱动被曝光物工作效率平台移动驱动机构曝光机移动

[实用新型]曝光机光源照射强度调整机构-CN201420586851.4有效
发明人：周坤麟;何立克 -专利权人：叙丰企业股份有限公司
申请日： 2014-10-11 - 公布日： 2015-02-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种曝光机光源照射强度调整机构，其包含光传感器，感测曝光机的多个光源的照射强度；移动机构，该光传感器设置于该移动机构以相对于这些光源移动；以及照射强度调整单元，其具有处理单元及存储单元，该光传感器、该移动机构及该存储单元电连接该处理单元，该处理单元电连接这些光源，该存储单元储存这些光源的位置及照射强度值，该处理单元借由这些照射强度值调整这些光源的照射强度至均匀。借此，本实用新型的曝光机光源照射强度调整机构可随时检测并调整曝光机的多个光源的照射强度至均匀，以提升曝光机曝光成品的合格率。
曝光光源照射强度调整机构