“微悬臂梁”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果806804个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种基于转台的动态微悬臂梁阵列循环扫描系统-CN201810122021.9有效
发明人：薛长国;张飞;牛晓燕;张涛;杨帆;宋晓;闵凡飞 -专利权人：安徽理工大学
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于转台的动态微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是包括激光器、转台、微悬臂梁阵列、压电陶瓷驱动器、函数信号发生器、光电位置敏感探测器、数据采集卡、计算机；所述激光器垂直于转台上表面安装，所述转台下方安装微悬臂梁阵列且微悬臂梁阵列固定在压电陶瓷驱动器表面，所述压电陶瓷驱动器与函数信号发生器连接，所述函数信号发生器与计算机连接，所述微悬臂梁阵列的斜上方安装有光电位置敏感探测器，所述光电位置敏感探测器与数据采集卡连接，所述数据采集卡与计算机连接；本发明利用转台按照一个方向循环转动对微悬臂梁阵列进行循环扫描
微悬臂梁转台函数信号发生器压电陶瓷驱动器敏感探测器数据采集卡光电位置循环扫描计算机连接激光器表面安装光纤安装循环转动自动切换斜上方光路垂直计算机

[发明专利]悬臂梁结构及制备方法、多组分微纳谐振气体传感器-CN202110828946.7有效
发明人：孙建海;陈婷婷;马天军;薛宁;蔡浩原;赵佩月 -专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
申请日： 2021-07-22 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01N29/036 文献下载
摘要：本发明提供了一种悬臂梁结构及制备方法、多组分微纳谐振气体传感器，其中，该悬臂梁结构，包括：衬底和多个悬臂梁阵列组，每个悬臂梁阵列组包括至少四个悬臂梁，每个悬臂梁包括：支撑层，支撑层一端与衬底接触，支撑层另一端悬空设置在衬底上
悬臂梁结构制备方法组分谐振气体传感器

[发明专利]微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器及其制备工艺-CN201510223934.6有效
发明人：傅刚;高升谦;刘志宇 -专利权人：广州大学
申请日： 2015-05-05 - 公布日： 2015-08-05 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，包括硅基座、绝缘膜、加热单元以及均热板；硅基座中部设有通孔，绝缘膜覆盖在基座及其通孔上，其中绝缘膜覆盖形成有悬臂梁；加热单元包括加热丝和电极，加热丝设于悬臂梁上，电极设于绝缘膜上；均热板位于通孔中，并连接于悬臂梁的下方。本发明采用悬臂梁，减少微加热器的热传导散热；采用复合绝缘膜，实现了应力的补偿，增大了悬臂梁的结构稳定性；采用了微弹簧，释放了复合膜的本征应力和微加热器工作时产生的热胀应力；采用均热板，大大提高了反映区域的均温性
弹簧悬臂梁均热加热器及其制备工艺

[实用新型]微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器-CN201520283932.1有效
发明人：傅刚;高升谦;刘志宇 -专利权人：广州大学
申请日： 2015-05-05 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，包括硅基座、绝缘膜、加热单元以及均热板；硅基座中部设有通孔，绝缘膜覆盖在基座及其通孔上，其中绝缘膜覆盖形成有悬臂梁；加热单元包括加热丝和电极，加热丝设于悬臂梁上，电极设于绝缘膜上；均热板位于通孔中，并连接于悬臂梁的下方。本实用新型采用悬臂梁，减少微加热器的热传导散热；采用复合绝缘膜，实现了应力的补偿，增大了悬臂梁的结构稳定性；采用了微弹簧，释放了复合膜的本征应力和微加热器工作时产生的热胀应力；采用均热板，大大提高了反映区域的均温性
弹簧悬臂梁均热加热器

[发明专利]微悬臂梁弹性常数的溯源标定装置及溯源方法-CN201310557061.3有效
发明人：李艳宁;文莉;吴森;陈治;多伦雷丹特;胡小唐 -专利权人：天津大学
申请日： 2013-11-11 - 公布日： 2014-03-05 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微悬臂梁弹性常数溯源标定装置，所述溯源标定装置的结构包括有大理石框架、纳米天平、微悬臂梁、三维微纳位移台、力加载杆、偏振差分干涉仪、仪器控制器、计算机与测控软件。同时提供一种微悬臂梁弹性常数的溯源标定装置的溯源方法。本发明的效果是使用该装置上实现了弹性常数值直接溯源到国际单位制SI。该装置将偏振差分干涉仪的测量光束在微悬臂梁自由端的上表面形成的微光斑与纳米天平上的力加载杆对微悬臂梁自由端的下表面加载时的力加载点完全重合并与重力方向一致，使得阿贝臂为零，遵守了位移测量的阿贝原则，避免了阿贝误差的产生可以保证不同实验室利用微悬臂梁进行微力测量的统一性、可靠性和可比性。
悬臂梁弹性常数溯源标定装置方法

[发明专利]一种具有闭环功能的微力加载机构及其制作工艺与应用-CN201710292103.3有效
发明人：赵晓锋;李森;刘媛媛;艾春鹏 -专利权人：黑龙江大学
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有闭环功能的微力加载机构及其制作工艺与应用，其中，所述机构包括U型支撑架(1)，在所述U型支撑架(1)的内侧面上水平设置有悬臂梁(21)，其中，在所述悬臂梁(21)的上表面、靠近自由端处设置有压电驱动结构(211)，在所述悬臂梁(21)的根部设置有压敏检测结构(212)；其中，在电场作用下，所述压电驱动结构(211)驱使悬臂梁(21)的自由端发生位移，对样品施加微力，同时，悬臂梁(21)的根部发生变形，压敏检测结构(212)因其根部的形变产生输出电压，能够测量对样品施加的微力。本发明所述微力加载机构可以对样品施加微力，并且其实现了闭环功能，可以对产生的微力及时地进行反馈，且其制作工艺简单，易于实现。
一种具有闭环功能加载机构及其制作工艺应用

[实用新型]一种具有闭环功能的微力加载机构-CN201720462150.3有效
发明人：赵晓锋;李森;刘媛媛;艾春鹏 -专利权人：黑龙江大学
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有闭环功能的微力加载机构，其中，所述机构包括U型支撑架(1)，在所述U型支撑架(1)的内侧面上水平设置有悬臂梁(21)，其中，在所述悬臂梁(21)的上表面、靠近自由端处设置有压电驱动结构(211)，在所述悬臂梁(21)的根部设置有压敏检测结构(212)；其中，在电场作用下，所述压电驱动结构(211)驱使悬臂梁(21)的自由端发生位移，对样品施加微力，同时，悬臂梁(21)的根部发生变形，压敏检测结构(212)因其根部的形变产生输出电压，能够测量对样品施加的微力。本实用新型所述微力加载机构可以对样品施加微力，并且其实现了闭环功能，可以对产生的微力及时地进行反馈，且其制作工艺简单，易于实现。
一种具有闭环功能加载机构

[实用新型]一种光学读出红外传感器-CN201920721391.4有效
发明人：赵旸;张鹏;郭建;侯虎旺;陈烈 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-05-20 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本实用新型提供的光学读出红外传感器包括：硅基底；固定在硅基底上的微悬臂梁单元阵列；微悬臂梁单元阵列由若干个微悬臂梁单元组成，每个所述微悬臂梁单元均包括支撑腿、隔热梁、双材料变形梁和吸热反光板；所述双材料变形梁和吸热反光板均由复合到一起的碳纳米管膜层和金膜层组成
微悬臂梁本实用新型碳纳米管双材料变形梁吸热红外传感器单元阵列反光板硅基读出红外光吸收率黑体碳纳米管膜层传感器领域热膨胀系数探测灵敏度悬臂梁结构比热结合应用转换效率变形量辐射热隔热梁金膜层双材料支撑腿波段轴向复合响应

[发明专利]一种高品质因子压电悬臂梁密度传感器芯片及其工作方法和制备方法-CN202010333818.0有效
发明人：赵立波;黄琳雅;徐廷中;谭仁杰;李支康;杨萍;卢德江;王永录;王久洪;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： G01N9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高品质因子压电悬臂梁密度传感器芯片及其工作方法和制备方法，包括硅基底和硅微悬臂梁谐振器，其中硅微悬臂梁谐振器包括微悬臂梁悬空结构、固支梁结构、压阻梁结构以及压阻衔接梁结构。通过MEMS工艺使硅微谐振悬臂梁结构覆盖有低应力氮化铝压电薄膜，双压电电极用于通入一定频率的交变电压并基于逆压电效应产生压电驱动力，四根压阻梁上的四个敏感电阻条通过压阻衔接梁上的金属引线连接构成惠斯通全桥，用于检测谐振应力并通过布置惠斯通电桥将其转化为电压信号输出，通过压电激励方式可以得到悬臂梁面外振动模态，该密度传感器芯片在流体中具备高灵敏度、高品质因子，能够显著提升流体密度测量的使用范围，测量精度与灵敏度高
一种品质因子压电悬臂梁密度传感器芯片及其工作方法制备

[发明专利]一种基于核酸适配体的有机磷农药的微悬臂梁阵列检测方法-CN201711118581.9在审
发明人：张青川;李潮;吴尚犬;张广平;伍小平 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2017-11-14 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明提供一种用于检测样品溶液中的有机磷农药的方法，所述方法包括以下步骤：将能够特异性结合有机磷农药的核酸适配体固定在微悬臂梁阵列上；使固定有所述核酸适配体的微悬臂梁阵列与样品溶液接触；检测固定有所述核酸适配体的微悬臂梁阵列在与所述样品溶液接触后产生的弯曲变形本发明还提供用于检测样品溶液中的有机磷农药的微悬臂梁阵列和系统。所述有机磷农药优选包括丙溴磷和甲拌磷。
有机磷农药微悬臂梁核酸适配体检测样品样品溶液特异性结合弯曲变形阵列检测丙溴磷甲拌磷优选检测

[发明专利]一种基于微波干涉的微振动传感器和感测方法-CN201910070432.2有效
发明人：王兵;张铁犁;葛萌;刘晓旭;张修建;张鹏程;高翌春 -专利权人：北京航天计量测试技术研究所;中国运载火箭技术研究院
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微波干涉的微振动传感器和感测方法，所述微振动传感器包括微悬臂梁、敏感质量块、微波谐振腔和读出电路，其中所述微悬臂梁安装在所述微波谐振腔的上方，所述敏感质量块固定连接在所述微悬臂梁顶部，所述微悬臂梁和敏感质量块感测所述被测物体的微振动并根据所述微振动发生微位移；所述微波谐振腔发射第一微波信号，并接收所述微悬臂梁和敏感质量块的微位移所反射的第二微波信号；所述读出电路提取所述第二微波信号并进行数据处理，根据所述微位移与所述被测物体的微振动加速度的比例关系进行计算并实现对所述被测物体的微振动加速度的测量。本发明公开的实施例能够有效提高微振动的测量灵敏度和准确度。
一种基于微波干涉振动传感器方法

[发明专利]光－机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列-CN200510012264.X无效
发明人：李超波;焦斌斌;陈大鹏;叶甜春 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2005-07-28 - 公布日： 2007-01-31 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：一种用于获取并转换红外信号的光－机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列，包括按阵列分布的微悬臂梁单元，微悬臂梁单元中包含热变形结构和红外吸收板，热变形结构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧。整个微悬臂梁单元为侧向支撑的无衬底双层结构，热变形结构由热隔离梁和变形梁构成上下层回折式分布，红外吸收板与热变形结构连接，热变形结构与支撑梁连接，每组热变形结构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成，所述的微悬臂梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列
机械式双层结构制冷红外成像平面阵列

[发明专利]一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体-CN201110371868.9有效
发明人：胡放荣;汪力;吴忠安 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2011-11-21 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，包含低阻硅基底、位于低阻硅基底之上的金属层、位于金属层之上的绝缘层、位于绝缘层之上的微开口环和电源引线、位于电源引线之上的锚点和位于锚点之上的微悬臂梁，其特征在于：微悬臂梁一端固定于锚点，且其中心线与微开口环的开口中心线重合；电源引线与微开口环开口边的对边重合。本发明的静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体不仅能够在太赫兹频段产生窄带超吸收，而且可以通过静电驱动微悬臂梁上、下运动来调节开口环开口处的介电常数，进而调节吸收峰的位置。本发明的静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体在太赫兹波段的超高灵敏度探测器和太赫兹波隐形领域具有十分重要的应用价值。
一种静电驱动悬臂梁结构赫兹频段可调吸收体

[实用新型]一种基于微悬臂梁结构的F-P型光纤湿度传感器-CN202022647591.5有效
发明人：郭允;陈敏;徐贲 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于微悬臂梁结构的F‑P型光纤湿度传感器。其特征在于：该传感器由单模光纤、毛细管、金膜和琼脂糖凝胶薄膜组成。使用飞秒激光将毛细管端面涂覆的金膜穿透，形成一个开口腔的刚性矩形的微悬臂梁结构，其悬臂梁的长度为95um～110μm，宽度为25μm～35μm，厚度为0.1μm～0.15μm。在微悬臂梁结构上涂覆一层厚度为0.5μm～1.5μm的琼脂糖凝胶薄膜。应用时，将传感器置于待测湿度环境内，环境湿度发生变化，琼脂糖凝胶薄膜的质量和厚度发生变化，进而使得微悬臂梁结构的本征频率发生变化，通过实时检测微悬臂梁本征频率的变化即可解调出环境湿度的大小。
一种基于悬臂梁结构光纤湿度传感器

[发明专利]监测大分子构象转变和靶与探针分子生化反应方法和装置-CN200810022379.0无效
发明人：张青川;黄渊;刘红;李凯;陈大鹏;伍小平 -专利权人：张青川
申请日： 2008-06-28 - 公布日： 2009-02-25 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种监测大分子构象转变和靶分子与探针分子生化反应的方法及装置，将大分子、不同或相同的探针分子中的任一种或多种修饰在微悬臂梁阵列中不同微悬臂梁的单侧表面，光源发出的平行光入射到微悬臂梁上，反射光被光学接收装置接收形成反射光斑阵列并与微悬臂梁一一对应，当大分子发生构象转变或探针分子与待测溶液中的靶分子发生结合时，该微悬臂梁发生弯曲变形，反射光会随之发生偏转，相应的反射光斑的位置也会随之发生位移，根据各微悬臂梁所对应的反射光斑的位置变化与位移大小，来判断大分子的构象转变情况或待测溶液中与探针分子对应的靶分子的有无或者浓度的大小该发明能实现多根微悬臂梁位移信号的同时监测，同时消除了折射率改变和光源光强变化产生的噪声信号；通过对测量光束偏振态的控制大大降低了杂散光的影响，提高了测量精度。
监测大分子构象转变探针分子生化反应方法装置

首页
«上一页
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
下一页»
尾页
共 100000 条