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- [发明专利]一种复合磁场传感器及其制作工艺-CN201710295965.1有效
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赵晓锋;邓祁;艾春鹏;温殿忠
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黑龙江大学
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2017-04-28
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2023-06-06
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G01R33/06
- 本发明公开了一种复合磁场传感器及其制作工艺，其中，所述复合磁场传感器包括磁敏三极管和复合在磁敏三极管上的遂穿磁敏电阻(TMR)；其中，所述磁敏三极管的集电区设置于发射区的上方，所述基区设置于发射区和集电区的一侧，且所述基区制作在硅腐蚀坑内，提高了基区载流子注入能力，进而提高磁敏三极管的磁敏特性；本发明所述制作工艺将微电子机械加工技术(MEMS)、双极型工艺和纳米薄膜制备技术相结合，得到所述复合磁场传感器。本发明所述复合磁场传感器将磁敏三极管与遂穿磁敏电阻进行有效结合，兼具磁敏三极管的较强磁场检测性能以及遂穿磁敏电阻的弱磁场检测性能，实现了对磁场的宽量程检测。
- 一种复合磁场传感器及其制作工艺
- [实用新型]一种脉搏传感器-CN202122717940.0有效
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赵晓锋;袁安怡;艾春鹏;赵小寒;温殿忠
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黑龙江大学
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2021-11-08
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2022-08-16
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A61B5/02
- 本实用新型提供了一种脉搏传感器，所述脉搏传感器包括力测量结构和抗过载结构，力测量结构安装在抗过载结构上方，力测量结构和抗过载结构均包括力敏感单元，力测量结构还包括柔性覆盖膜，力敏感单元包括弹性衬底、压电结构等组成。在脉搏力作用下，通过柔性覆盖膜将力传导至弹性衬底上，使其发生弹性形变，进而使压电结构产生相应输出电荷，实现脉搏力大小的测量。本实用新型采用双层力敏感单元堆叠的方式，在所测力过大时，抗过载结构对力测量结构进行支撑保护及过载报警。本实用新型所述的压电式脉搏传感器可实现人体腕部脉搏的多点独立测量，具有无源、动态响应性好、准确性高等特点，同时，其制作工艺简单，可批量生产。
- 一种脉搏传感器
- [发明专利]一种角度传感器及其制作工艺-CN202110502063.7在审
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赵晓锋;李航;艾春鹏;温殿忠
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黑龙江大学
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2021-05-08
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2022-08-05
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G01B7/30
- 本发明公开了一种角度传感器及其制作工艺，所述角度传感器包括嵌套设置的转子(1)和定子底座(2)，在所述转子(1)的上表面设置有传感器防护板(3)，在所述定子底座(2)的中心设置有磁敏感单元，所述转子(1)以磁敏感单元为中心绕定子底座，实现360°的转动。所述第一磁敏感单元以多层膜巨磁电阻作为主要磁敏感元件，第二磁敏感单元为霍尔元件。本发明公开的角度传感器制作工艺，通过微电子工艺和磁控溅射方法相结合，并结合3D打印技术实现了传感器的封装，操作简单，可实现传感器的小型化，易于批量生产，在汽车转向系统、风速测量、流速测量等方面皆有良好的应用前景。
- 一种角度传感器及其制作工艺
- [发明专利]一种脉搏传感器及其集成化工艺方法-CN202111314381.7在审
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赵晓锋;袁安怡;艾春鹏;赵小寒;温殿忠
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黑龙江大学
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2021-11-08
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2022-03-18
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A61B5/02
- 本发明提供了一种压电式脉搏传感器及其集成化工艺方法，所述压电式脉搏传感器包括力测量结构和抗过载结构，力测量结构安装在抗过载结构上方，力测量结构和抗过载结构均包括力敏感单元，力测量结构还包括柔性覆盖膜，力敏感单元包括弹性衬底、压电结构等组成。在脉搏力作用下，通过柔性覆盖膜将力传导至弹性衬底上，使其发生弹性形变，进而使压电结构产生相应输出电荷，实现脉搏力大小的测量。本发明采用双层力敏感单元堆叠的方式，在所测力过大时，抗过载结构对力测量结构进行支撑保护及过载报警。本发明所述的压电式脉搏传感器可实现人体腕部脉搏的多点独立测量，具有无源、动态响应性好、准确性高等特点，同时，其制作工艺简单，可批量生产。
- 一种脉搏传感器及其集成化工艺方法
- [实用新型]一种角度传感器-CN202120973816.8有效
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赵晓锋;李航;艾春鹏;温殿忠
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黑龙江大学
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2021-05-08
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2021-11-30
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G01B7/30
- 本实用新型公开了一种角度传感器，所述角度传感器包括嵌套设置的转子(1)和定子底座(2)，在所述转子(1)的上表面设置有传感器防护板(3)，在所述定子底座(2)的中心设置有磁敏感单元，所述转子(1)以磁敏感单元为中心绕定子底座，实现360°的转动。所述第一磁敏感单元以多层膜巨磁电阻作为主要磁敏感元件，第二磁敏感单元为霍尔元件。本实用新型公开的角度传感器通过两组由巨磁电阻和扩散电阻组成的惠斯通电桥结构，将传感器的角度测量范围从90°扩展到180°；通过霍尔元件对垂直方向磁场分量的测量，将传感器的角度测量范围从180°扩展到360°，且测量时磁敏感元件无需与外界直接接触，体积小、灵敏度高。
- 一种角度传感器
- [实用新型]一种具有闭环功能的微力加载机构-CN201720462150.3有效
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赵晓锋;李森;刘媛媛;艾春鹏
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黑龙江大学
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2017-04-28
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2018-02-23
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G01L1/18
- 本实用新型公开了一种具有闭环功能的微力加载机构，其中，所述机构包括U型支撑架(1)，在所述U型支撑架(1)的内侧面上水平设置有悬臂梁(21)，其中，在所述悬臂梁(21)的上表面、靠近自由端处设置有压电驱动结构(211)，在所述悬臂梁(21)的根部设置有压敏检测结构(212)；其中，在电场作用下，所述压电驱动结构(211)驱使悬臂梁(21)的自由端发生位移，对样品施加微力，同时，悬臂梁(21)的根部发生变形，压敏检测结构(212)因其根部的形变产生输出电压，能够测量对样品施加的微力。本实用新型所述微力加载机构可以对样品施加微力，并且其实现了闭环功能，可以对产生的微力及时地进行反馈，且其制作工艺简单，易于实现。
- 一种具有闭环功能加载机构
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