[发明专利]一种基于转台的动态微悬臂梁阵列循环扫描系统有效
| 申请号： | 201810122021.9 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN108303034B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 薛长国;张飞;牛晓燕;张涛;杨帆;宋晓;闵凡飞 | 申请（专利权）人： | 安徽理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 232001 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于转台的动态微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是包括激光器、转台、微悬臂梁阵列、压电陶瓷驱动器、函数信号发生器、光电位置敏感探测器、数据采集卡、计算机；所述激光器垂直于转台上表面安装，所述转台下方安装微悬臂梁阵列且微悬臂梁阵列固定在压电陶瓷驱动器表面，所述压电陶瓷驱动器与函数信号发生器连接，所述函数信号发生器与计算机连接，所述微悬臂梁阵列的斜上方安装有光电位置敏感探测器，所述光电位置敏感探测器与数据采集卡连接，所述数据采集卡与计算机连接；本发明利用转台按照一个方向循环转动对微悬臂梁阵列进行循环扫描，实现了光路自动切换且不会出现卡顿现象，而且光纤安装在转台内部节省了空间。 | ||
| 搜索关键词： | 微悬臂梁 转台 函数信号发生器 压电陶瓷驱动器 敏感探测器 数据采集卡 光电位置 循环扫描 计算机连接 激光器 表面安装 光纤安装 循环转动 自动切换 斜上方 光路 垂直 计算机 | ||
【主权项】：
1.一种基于转台的动态微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征在于：包括激光器、转台、微悬臂梁阵列、压电陶瓷驱动器、函数信号发生器、光电位置敏感探测器、数据采集卡、计算机；/n所述激光器垂直于转台上表面安装，所述转台下方安装微悬臂梁阵列且微悬臂梁阵列固定在压电陶瓷驱动器表面，所述压电陶瓷驱动器与函数信号发生器连接，所述函数信号发生器与计算机连接，所述微悬臂梁阵列的斜上方安装有光电位置敏感探测器，所述光电位置敏感探测器与数据采集卡连接，所述数据采集卡与计算机连接；/n以固定设置的同一激光器作为N个扫描单元的共用激光光源，所述激光器呈垂直状态发射出激光光束；针对N根微悬臂梁在转台内部一一对应设置N个光纤，针对N个光纤一一对应设置N个光纤激光入射口和N个光纤激光出射口，所述N个光纤激光出射口和N个光纤激光入射口共同固定安装在同一转台上，N个光纤激光入射口设置在转台上表面同一圆周上且平分圆周，N个光纤激光出射口一一对应N个微悬臂梁设置在转台下表面不同位置，驱动转台转动，使N个光纤激光入射口随着转台的转动逐一地处在所述激光器发射的激光束的光路中，使激光光束分别入射到N个光纤激光入射口并一一对应经过N条光纤到达N个光纤激光出射口，再经N个光纤激光出射口一一对应地投照在微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的自由端，构成动态微悬臂梁阵列扫描系统，驱动转台循环转动，激光经转台上光纤激光人射口和光纤激光出射口一一对应投射到各微悬臂梁尖端，实现对动态微悬臂梁阵列的循环扫描。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽理工大学，未经安徽理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810122021.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
