[发明专利]微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器及其制备工艺有效
| 申请号： | 201510223934.6 | 申请日： | 2015-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN104817054A | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 傅刚;高升谦;刘志宇 | 申请（专利权）人： | 广州大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 罗丹 |
| 地址： | 510000 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，包括硅基座、绝缘膜、加热单元以及均热板；硅基座中部设有通孔，绝缘膜覆盖在基座及其通孔上，其中绝缘膜覆盖形成有悬臂梁；加热单元包括加热丝和电极，加热丝设于悬臂梁上，电极设于绝缘膜上；均热板位于通孔中，并连接于悬臂梁的下方。并公开了本发明的制备工艺。本发明采用悬臂梁，减少微加热器的热传导散热；采用复合绝缘膜，实现了应力的补偿，增大了悬臂梁的结构稳定性；采用了微弹簧，释放了复合膜的本征应力和微加热器工作时产生的热胀应力；采用均热板，大大提高了反映区域的均温性，提高了反应精度；采用硅基MEMS工艺，可以和大规模集成电路工艺完美兼容，适于大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 弹簧 悬臂梁 均热 加热器 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，其特征在于：包括硅基座、绝缘膜、加热单元以及均热板；所述硅基座中部设有通孔，所述绝缘膜覆盖在所述基座及其通孔上，其中所述绝缘膜覆盖在所述通孔上的部分设有空气隙而形成悬臂梁；所述加热单元包括加热丝和电极，所述加热丝设于所述悬臂梁上，所述电极设于所述绝缘膜上；所述均热板位于所述通孔中，并连接于所述悬臂梁的下方。
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