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[发明专利]一种多灵敏度探测器以及获取光斑位置的方法-CN202111237375.6在审
发明人：王皓民;刘爽;郭志强;韩隆;郑毅;于雷;金梦轩;白一波 -专利权人：中国电子科技集团公司第十一研究所
申请日： 2021-10-21 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G01S5/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种多灵敏度探测器以及获取光斑位置的方法，多灵敏度探测器包括：以预设方式排布的多个子探测器，各个子探测器用于接收激光器发出的光斑，并获取所述光斑的光斑功率发送给控制器，不同位置的探测器接收到的所述光斑的光斑功率不同；所述控制器用于接收各个子探测器探测到的光斑功率，并根据接收到的各个光斑功率确定所述光斑的位置，通过多个子探测器来接收光斑的光斑功率，并通过光斑功率确定了光斑的位置，避免了无法准确获取到光斑位置的问题，
一种灵敏度探测器以及获取光斑位置方法

[发明专利]一种激光离焦加工时的光斑功率密度场测量建模方法-CN201911190948.7在审
发明人：徐琅;彭赫力;刘海建;陈旭;韩兴;罗志强;陈一 -专利权人：上海航天精密机械研究所
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光离焦加工时的光斑功率密度场测量建模方法，其包括如下步骤：(1)利用激光光斑分析测量平台对某个具体激光光斑的功率和光强密度(也称“光亮度”)分布进行测量；(2)通过对测量得到的光亮度数据进行拟合，建立所测光斑的光亮度场数学模型；(3)利用激光光亮度与功率密度之比为常数的性质，基于光斑的光强和功率实测结果，求解出常数值，并建立所测光斑的功率密度场数学模型；(4)根据激光束的传输特性和能量守恒定律，利用所测光斑的功率密度场模型变换得到与该光斑功率相同半径不同的任意光斑的功率密度场模型；(5)利用激光功率变化时的基本性质，建立任意功率任意半径光斑的功率密度场模型。
一种激光离焦加工时光斑功率密度测量建模方法

[发明专利]一种批量测试DOE衍射效率和均匀性的方法及装置-CN201910137417.5有效
发明人：何海祥;陈驰;蒋建华 -专利权人：深圳市安思疆科技有限公司
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开一种批量测试DOE衍射效率和均匀性的方法及装置，包括：拍摄测量光经DOE产生的衍射光斑图；计算所述衍射光斑图内每个光斑的灰度值G；测试所述衍射光斑图内各光斑的衍射功率P和入射测量光的总功率P0；更换不同的DOE，根据各DOE中某一光斑对应的灰度值G和衍射功率P，计算确定该该光斑的最佳功率校正系数α；后续其他DOE的批量测试，则直接根据机器视觉拍摄得到衍射光斑图来计算得到每个光斑的灰度值G，再乘以各自的最佳功率校正系数α，得到每个衍射光斑的功率值，根据这些功率值可以直接计算得出所测试DOE的衍射效率和均匀性。
一种批量测试 doe 衍射效率均匀方法装置

[发明专利]单点散斑光功率测试方法及装置-CN202111092853.9在审
发明人：李志彬;朱力;吕方璐;汪博 -专利权人：深圳市光鉴科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明提供了一种单点散斑光功率测试方法及装置，包括：通过积分球测试单点激光器的光功率生成多个第一功率值；通过激光光斑分析仪测试单点激光器的光功率生成多个第二功率值；对第一功率值和第二功率值进行线性回归确定积分球和激光光斑分析仪之间的补偿系数；激光光斑分析仪采集深度相机投射的至少一光斑点，根据补偿系数确定该光斑点的目标光功率值。本发明中通过积分球和激光光斑分析仪对单点激光器的光功率进行测试确定积分球和激光光斑分析仪之间的补偿系数，进而通过激光光斑分析仪采集深度相机投射的至少一光斑点，根据补偿系数确定该光斑点的目标光功率值，从而能够检测激光器经过
单点散斑光功率测试方法装置

[发明专利]调焦调平装置、光刻机系统及离焦量的测量方法-CN202011565072.2在审
发明人：程于水;徐荣伟;庄亚政;孙建超 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种调焦调平装置、光刻机系统以及离焦量的测量方法，其中，所述光照单元提供的检测光斑经所述投影单元投影至一待测面上，并经待测面反射形成反射光斑并投射至所述探测单元。反射光斑经透光区形成第一光斑，所述第一探测器获取第一光斑的功率；反射光斑经反射区形成第二光斑，所述第二探测器获取第二光斑的功率。所述数据处理单元根据所述第一光斑的功率和所述第二光斑的功率计算出所述待测面的离焦量。因此，本发明通过设置透光区和反射区，以分别获取第一光斑和第二光斑的功率，进而计算出离焦量，避免摆动扫描反射镜，减少噪声干扰，提高探测信号的信噪比以及离焦量的测量精度。
调焦平装光刻系统离焦量测量方法

[发明专利]激光的光斑直径测量方法与系统-CN202111314621.3在审
发明人：向南;陈国栋;梁宗森;陈桂顺;吕洪杰;杨朝辉 -专利权人：深圳市大族数控科技股份有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01B11/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光的光斑直径测量方法与系统，方法包括利用准直装置对激光光源的入射光进行反射，使反射光穿过光阑装置的通孔，利用光斑分析仪检查反射光经过通孔的衍射效果，调节准直装置，进行激光的光路准直；拆除光斑分析仪，在光斑分析仪的位置上安装功率计，利用功率计测量激光光源的反射光经过通孔的功率，记为第一功率；利用功率计测量拆除光阑装置后激光光源的反射光的功率，记为第二功率；将光阑装置的通孔半径、第一功率与第二功率代入高斯光束的功率透过率与通孔半径之间的关系式，计算得到激光光源的光斑半径，进而求出光斑直径。本发明的激光光斑直径测量的准确性，比通常弱光下的激光光斑直径测量的准确性更高，误差较小。
激光光斑直径测量方法系统

[发明专利]一种双光斑激光切割装置-CN202211467486.0有效
发明人：潘世烈;李林军;段小明;申英杰;杨玉强 -专利权人：中国科学院新疆理化技术研究所
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明涉及激光切割技术领域，为了解决硬质塑料切割的技术问题，提供一种双光斑激光切割装置，包括：2.1µm激光光源、控制单元和双光斑调节装置，所述控制单元通过控制所述激光光源和双光斑调节装置以调节待加工物处的激光功率密度；所述控制单元包括激光光源控制单元、功率分配控制单元和光斑控制单元；所述双光斑调节装置包括第一光斑调节装置和第二光斑调节装置，基于所述第一光斑调节装置和第二光斑调节装置的并行或串行走向，经所述功率分配控制单元的分配后，所述第一光斑调节装置和第二光斑调节装置按分配比例获得对应功率的激光后对待加工物进行切割。
一种光斑激光切割装置

[发明专利]基于激光拼接的远程目视导航方法-CN201410224490.3在审
发明人：王文杰;周洪;王红;陈纪朋;贾宏志;林旺;周伟;刘佰滢;尤贝;王辽 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七0四研究所;上海理工大学
申请日： 2014-05-27 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： G01C21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于激光拼接的远程目视导航方法，首先将单个小功率激光器的输出光斑通过透镜或透镜组整形成所需要距离的矩形光斑，然后根据所需功率配置数只带有整形透镜或透镜组的小功率激光器，数只小功率激光器成直线固定到光学平台上，最后调节光学平台，使得每个激光器的输出光斑重合到同一范围内。采用小功率激光器替代现在大功率激光器，一解决了远程目视导航系统对激光器功率要求过高无法找到满足功率要求的激光器问题，二解决了大功率激光器的输出光斑质量很差，很难将其输出光斑整形成满足要求的矩形光斑，三是通过直接控制小功率激光器可以控制总的激光功率
基于激光拼接远程目视导航方法

[发明专利]一种光斑尺寸和形状的测量方法及装置-CN202011034301.8有效
发明人：尹志军;崔国新;叶志霖;许志城 -专利权人：南京南智先进光电集成技术研究院有限公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请提供一种光斑尺寸和形状的测量方法及装置。所述方法包括：利用狭缝组装置中多个相互之间宽度不存在整数倍关系的透光狭缝对待测量光斑沿目标扫描方向进行扫描，根据目标扫描位置下的目标扫描光功率的傅里叶变换结果以及光功率透过率的傅里叶变换结果，确定目标扫描位置下待测量光斑的光强，根据待测量光斑在目标扫描方向以及另一扫描方向上的光强分布，最终确定待测量光斑的尺寸和形状。如此，本申请实施例采用宽度不存在整数倍关系的多个透光狭缝对待测量光斑进行扫描，并根据扫描光功率的傅里叶变换以及光功率透过率的傅里叶变换确定待测量光斑的光强，测量不受光斑自身尺寸和透光狭缝宽度的影响，可以较准确地测量尺寸较小的光斑
一种光斑尺寸形状测量方法装置

[发明专利]基于光阑的电控光斑整形和功率调节装置、系统及方法-CN202210442468.0有效
发明人：齐跃峰;王玉琳;刘长鑫;刘雪强;高玉金;郭星辰 -专利权人：燕山大学
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明公开基于光阑的电控光斑整形和功率调节装置、系统及方法，属于可变光阑和光斑整形及功率调节领域，包括驱动单元；光功率测量组件用于将光信号转换成电信号；微控器单元，用于计算光功率测量组件的数据，与上位机进行通信，向驱动组件发送信号控制可变光阑组件；上位机用于接收、存储并显示细条状光斑的光功率设定值，显示传动轮匹配的细圆柱体对应的条状光斑功率实际测量值，显示传动轮和细圆柱体的匹配状态，接收、显示对电机1D、电机2D和电机3D设置的步进位移量并下发给微控制单元；可变光阑组件用于对光斑进行整形和功率调节；其结构简单，易于实现，并对调整的光斑进行实时测量，做到精确便捷。
基于光阑光斑整形功率调节装置系统方法

[实用新型]一种形成复合激光的激光加工系统-CN202122606892.8有效
发明人：蒋峰;雷剑;朱之伟 -专利权人：苏州创鑫激光科技有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种形成复合激光的激光加工系统，包括：至少两个激光模块、一光斑整形器件和一功率控制模块，所述至少两个激光模块通过多根输入光纤与所述光斑整形器件连接并输出一个具有中心光斑和至少一个外围光斑的复合光斑，所述功率控制模块与所述至少两个激光模块电性连接，并被配置为控制所述至少两个激光模块在预设范围内的功率可调，以使所述中心光斑和所述外围光斑形成不同能量比例轮廓。
一种形成复合激光加工系统

[发明专利]一种激光熔接装置-CN202211399811.4有效
发明人：李林军;潘世烈;段小明;申英杰;杨玉强 -专利权人：中国科学院新疆理化技术研究所
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本发明涉及激光焊接技术领域，为了解决特种塑料熔接的技术问题，提供一种激光熔接装置，包括：1.9µm激光光源、控制单元和光斑调节装置，所述控制单元通过控制所述激光光源和光斑调节装置以调节待熔接物处的激光功率密度；所述1.9µm激光光源输出功率为100‑500W；所述控制单元包括时间控制单元、功率控制单元和光斑控制单元，所述时间控制单元用于控制激光光源的开启时间，所述功率控制单元用于控制激光光源的输出功率，所述光斑控制单元控制所述光斑调节装置以调节待熔接物处的光斑大小
一种激光熔接装置

[发明专利]扫描式杀菌LED阵列光源以及便携式灭菌消毒装置-CN202210158419.4在审
发明人：黄生荣;蔡端俊 -专利权人：厦门瑶光半导体科技有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： A61L2/10 文献下载
摘要：本发明提供一种扫描式杀菌LED阵列光源，其包括聚光基板和多个发光元件，多个发光元件间隔地设置在聚光基板上，其中，各发光元件可在聚光基板上移动，通过移动多个发光元件的方式，使得多个发光元件发光形成照射光斑，照射光斑具有第一光斑和第二光斑，第一光斑的光功率密度高于第二光斑的光功率密度。借此设置，可提高扫描式杀菌LED阵列光源的光功率密度，无需借助二次光学元件，便可以提升第一光斑的光功率密度，快速完成对指定区域的灭菌消毒工作，并且较现有杀菌装置可减少发光元件的使用数量、减少散热器重量和大小
扫描杀菌 led 阵列光源以及便携式灭菌消毒装置

[实用新型]扫描式杀菌LED阵列光源以及便携式灭菌消毒装置-CN202220351257.1有效
发明人：黄生荣;蔡端俊 -专利权人：厦门瑶光半导体科技有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： A61L2/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种扫描式杀菌LED阵列光源，其包括聚光基板和多个发光元件，多个发光元件间隔地设置在聚光基板上，其中，各发光元件可在聚光基板上移动，通过移动多个发光元件的方式，使得多个发光元件发光形成照射光斑，照射光斑具有第一光斑和第二光斑，第一光斑的光功率密度高于第二光斑的光功率密度。借此设置，可提高扫描式杀菌LED阵列光源的光功率密度，无需借助二次光学元件，便可以提升第一光斑的光功率密度，快速完成对指定区域的灭菌消毒工作，并且较现有杀菌装置可减少发光元件的使用数量、减少散热器重量和大小
扫描杀菌 led 阵列光源以及便携式灭菌消毒装置

[发明专利]一种激光远场桶中功率分布曲线的绝对测量方法-CN201911215439.5有效
发明人：陈绍武;杨鹏翎;栾坤鹏;赵海川;王平;谢贤忱;王振宝;冯国斌 -专利权人：西北核技术研究院
申请日： 2019-12-02 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种激光远场桶中功率分布曲线的绝对测量方法，以解决现有测量方案没有给出具体的光斑图像复原方法和桶中功率分布曲线获取方案的技术问题。本发明通过高速旋转扫描圆盘带动呈渐开线分布的取样孔阵列对入射激光束进行了整体光斑扫描，并采用一个大面积的光电探测单元获取光强信号，进而得到转动一周的最大功率值即桶中功率值；同时对时序信号进行光斑复原，得到该帧光斑的功率密度分布参数，在光斑图像上按照逐渐改变环围半径的方法获得桶中功率分布相对值，再根据实测得到的桶中最大功率值进行标定，进而得到桶中绝对功率分布曲线。
一种激光远场桶中功率分布曲线绝对测量方法

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