专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体结构及其制作方法、存储器系统-CN202211586621.3在审
  • 华文宇 - 芯盟科技有限公司
  • 2022-12-09 - 2023-06-23 - H10B12/00
  • 本公开实施例公开了一种半导体结构,包括:有源柱阵列,包括呈阵列排布的第一有源柱和第二有源柱,第一有源柱和第二有源柱均包括沟道以及分别位于沟道沿第一方向相对两端的第一有源和第二有源;第一有源在第一平面的投影面积大于沟道在第一平面的投影面积;和/或,第二有源在第一平面的投影面积大于沟道在第一平面的投影面积;第一存储结构,位于有源柱阵列的第一侧,与第一有源柱的第一有源电连接;第二存储结构,位于有源柱阵列的第二侧,与第二有源柱的第二有源电连接;第一位线,位于有源柱阵列的第二侧,与第一有源柱的第二有源连接;第二位线,位于有源柱阵列的第一侧,与第二有源柱的第一有源连接。
  • 半导体结构及其制作方法存储器系统
  • [发明专利]反熔丝阵列以及存储器-CN202210923922.4在审
  • 朱东波;黄铭辉;李宗翰 - 长鑫存储技术有限公司
  • 2022-08-02 - 2022-11-25 - H01L23/525
  • 本公开实施例涉及一种反熔丝阵列及存储器,反熔丝阵列包括:至少一列第一有源,第一有源包括:第一沟道、第一源漏与第二源漏、第一编程,相邻的两个第一有源端部之间的间距大于相邻的两个第一有源中心部之间的间距;至少一列第二有源,第二有源包括:第二沟道、第三源漏与第四源漏、第二编程,第二有源朝向第一有源的端部与相邻的两个第一有源朝向第二有源的端部之间的区域正对;第一栅线,覆盖一列第一有源中的每一第一沟道;第二栅线,覆盖一列第二有源中的每一第二沟道;编程栅线,覆盖一列第一有源中的每一第一编程以及一列第二有源中的每一第二编程
  • 反熔丝阵列以及存储器
  • [发明专利]半导体器件及其制造方法-CN202310678744.8有效
  • 陈兴;黄普嵩 - 合肥晶合集成电路股份有限公司
  • 2023-06-09 - 2023-08-25 - H01L21/8234
  • 本发明提供了一种半导体器件及其制造方法,通过对第一有源执行离子注入工艺以形成第一掺杂,所述第一掺杂的上表面与所述第一有源的上表面之间具有间隔;接着,执行氧化工艺,以使所述间隔转化成氧化层,从而改变所述第一有源有源圆角的圆滑程度,使得第一有源和第二有源具有不同圆滑程度的有源圆角;接着再刻蚀屏蔽层和氧化层,暴露出所述第一有源和所述第二有源,实现在同一半导体衬底上的不同有源能够具有不同圆滑程度的有源圆角。
  • 半导体器件及其制造方法
  • [发明专利]半导体结构的量测方法、系统、电子设备及存储介质-CN202210637071.7在审
  • 刘凌海 - 长鑫存储技术有限公司
  • 2022-06-07 - 2022-09-06 - H01L23/544
  • 包括:确定第一有源和第二有源在第四方向的偏移距离为第一距离;其中,第一有源的第一端与位线结构重叠,第二有源的第一端未与位线结构重叠;提取第一有源的初始图像和第二有源的初始图像,将第二有源的初始图像沿第四方向平移第一距离与第一有源的初始图像组合获得第一有源的量测图像;根据第一有源的量测图像的中心和与第一有源重叠的位线结构的中心确定第一有源在第四方向上相对位线结构的第一偏移矢量。本申请基于有源的周期性排列,利用未被遮挡的有源对被遮挡的有源进行补偿,准确地确定有源的两端的位置,以提高量测准确性。
  • 半导体结构方法系统电子设备存储介质
  • [发明专利]高压MOS晶体管的制作方法-CN200610119162.2有效
  • 蔡巧明;辛春艳;卢普生 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2006-12-05 - 2008-06-11 - H01L21/336
  • 一种高压MOS晶体管的制作方法,包括下列步骤:在待曝光有源图形和待曝光隔离图形相接处形成待曝光辅助有源图形;将待曝光有源图形、待曝光隔离图形和待曝光辅助有源图形转移至硅衬底上形成有源、隔离和辅助有源;在有源和辅助有源的硅衬底中进行第一次p型离子注入;在硅衬底上形成光阻层,经过曝光和显影后,在光阻层上形成开口;以光阻层为掩膜,经由开口向辅助有源的硅衬底中进行第二次p型离子注入;在有源和辅助有源的硅衬底上形成栅氧化层经过上述步骤,在辅助有源进行两次同类型离子注入,提高辅助有源的阈值电压,双峰现象不会出现,从而可以降低器件功耗,增加器件工作的稳定性。
  • 高压mos晶体管制作方法
  • [发明专利]一种MOSFET单元结构及其制备方法-CN202210615696.3在审
  • 张炜虎;仇峰;胡林辉 - 上海积塔半导体有限公司
  • 2022-05-31 - 2022-09-13 - H01L29/78
  • 本发明提供一种MOSFET单元结构及其制备方法,包括第一导电类型衬底、第二导电类型有源及栅极,有源包括呈圆形的第一有源及与第一有源同圆心的圆环状的第二有源,且第二有源的内径大于第一有源的半径,栅极位于衬底上并与第一有源为同圆心的圆环状,且栅极在衬底上的投影与第一有源及第二有源均相接触以在第一有源及第二有源之间构成沟道;本发明可便捷的改变器件的过流能力;可省去接触通孔所需占用的无效区域,在作为单个元件置于电路时设计尺寸和摆放位置更加灵活;整个栅极都位于有源上,可避免在沟道宽度方向上因栅极和有源边界的问题引起的窄沟道小尺寸边界效应。
  • 一种mosfet单元结构及其制备方法
  • [发明专利]一种半导体器件及其制造方法-CN202011213310.3有效
  • 陈兴 - 晶芯成(北京)科技有限公司
  • 2020-11-04 - 2021-02-09 - H01L21/8244
  • 本发明提出一种半导体器件及其制造方法,包括:提供一衬底,所述衬底中至少包括第一有源,第二有源和第三有源,所述第一有源的宽度等于所述第二有源的宽度;形成屏蔽氧化层于所述衬底上,所述屏蔽氧化层覆盖所述第一有源,所述第二有源和所述第三有源;形成图案化的光阻层于所述屏蔽氧化层上,所述图案化的光阻层暴露出位于所述第一有源和所述第二有源上的所述屏蔽氧化层;以暴露出的所述屏蔽氧化层为掩膜,对所述第一有源和所述第二有源进行离子掺杂,以在所述第一有源和所述第二有源中形成第一沟道,并移除所述图案化的光阻层。
  • 一种半导体器件及其制造方法
  • [发明专利]CMOS晶体管及其制作方法-CN200710094467.7无效
  • 刘乒;马擎天;张海洋 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2007-12-13 - 2009-06-17 - H01L21/8238
  • 一种CMOS晶体管,包括:半导体衬底,所述半导体衬底包括隔离结构、位于隔离结构之间的PMOS有源和NMOS有源,PMOS有源与NMOS有源相邻;栅极,位于PMOS有源与NMOS有源的半导体衬底上;NMOS有源栅极两侧的半导体衬底内形成有n型低掺杂漏极和n型源/漏极;PMOS有源栅极两侧的半导体衬底内形成有p型低掺杂漏极和p型源/漏极,PMOS有源的栅极两侧有偏移间隙壁及位于偏移间隙壁上的侧墙,NMOS有源的栅极两侧有侧墙。使PMOS有源与NMOS有源的栅漏间电容值差距减小。
  • cmos晶体管及其制作方法
  • [发明专利]带静电自保护的MOS管结构-CN202010359958.5在审
  • 苏庆 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2020-04-30 - 2020-07-24 - H01L27/02
  • 本发明公开了一种带静电自保护的MOS管结构,通过场氧隔离沟槽将源区有源或者漏区有源区划分为彼此错开互相咬合的特定形状,将从栅极到源接触孔或者从栅极到漏区有源接触孔的路径走向从传统的直线改为曲线走向,实现在较小的源区有源和漏区有源面积下增加从栅极到源区有源接触孔以及漏区有源接触孔之间的有效路径,或者是在相同的从栅极到源区有源接触孔以及从栅极到漏区有源之间的有效路径下减小漏区有源、源区有源的面积
  • 静电保护mos结构

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