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[发明专利]一种用于电致变色玻璃的金属靶材及其制备方法和应用方法-CN201910062099.0有效
发明人：杨懿;杨荣春 -专利权人：上海博译金属有限公司
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于电致变色玻璃的金属靶材及其制备方法和应用方法。用于电致变色玻璃的金属靶材包括第一金属靶材和第二金属靶材，其中第一金属靶材为金属钨、钼、铌或钛中的一种；第二金属靶材包括质量比为1:0.05‑0.3:0.2‑0.26的镍、铬和氧化锂；其制备方法包括：第一金属靶材的制备方法为：将金属钨、钼、铌或钛中的一种采用热压或包套热等静压方式制作成靶材；所述第二金属靶材的制备方法为：将镍、铬和氧化锂混合，充分搅拌22‑26h，利用热压或热等静压的方式制作成靶材。本发明的用于电致变色玻璃的金属靶材具有成膜时间短，生产效率高，靶材制作难度低，适用于大规模生产的优点。
一种用于变色玻璃金属及其制备方法应用

[发明专利]一种靶材组件的旋转摩擦焊接方法-CN202010665584.X有效
发明人：张晶 -专利权人：宁波晶成机械制造有限公司
申请日： 2020-07-11 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种靶材组件的旋转摩擦焊接方法，包括以下步骤：S1焊前处理：打磨A靶材、B靶材的待焊接端面，对A、B靶材的待焊接端面进行焊接前处理；S2靶材装配：将A、B靶材分别夹持在摩擦焊机的旋转端、滑移端，并设定焊接参数；S3靶材焊接：运行摩擦焊机进行A、B靶材的摩擦焊接，安装在旋转端靶材进行旋转，安装在滑移端靶材滑移与旋转端靶材接触，在接触界面焊接期间辅加伸缩触头对焊缝进行顶触处理，所述顶触处理具体为本发明可以改善旋转摩擦焊靶材的使用消耗量，减少焊缝外溢飞边，并提高旋转摩擦焊接接缝强度。
一种组件旋转摩擦焊接方法

[发明专利]靶材组件的制作方法-CN200910140418.1无效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;欧阳琳;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-05-08 - 公布日： 2010-02-17 - 主分类号： B23K1/08 文献下载
摘要：一种靶材组件的制作方法，包括：提供300毫米靶材坯料、背板和钎料，所述背板四周形成有侧壁；对300毫米靶材坯料进行预热，将钎料均匀分布在300毫米靶材坯料的结合面与坯料外周，去除300毫米靶材坯料结合面和与坯料外周上的钎料；对背板的结合面进行打磨处理，对背板进行预热，将钎料均匀分布在背板的结合面和背板侧壁内侧，超声波处理添加钎料的背板；将300毫米靶材坯料与背板接触，将接触的300毫米靶材坯料与背板放置于工作台保持稳定，将300毫米靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；冷却靶材组件。本发明能够有效避免钛靶材坯料和背板在焊接过程中氧化以及钎料氧化，并且焊接的靶材组件结合强度高。
组件制作方法

[发明专利]靶材组件的焊接方法-CN201210232834.6无效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;李超 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2012-07-05 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材组件的焊接方法，包括：提供铝靶材及铜背板；在所述铝靶材的待焊接面上镀银形成银中间层；将形成有所述银中间层的铝靶材、铜背板置于真空包套内并使所述银中间层位于所述铝靶材与铜背板之间，将所述真空包套置于焊接设备内；利用热等静压工艺将所述形成有银中间层的铝靶材、铜背板焊接在一起以形成靶材组件；焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述靶材组件。本发明的焊接方法效率高，形成的靶材组件的焊接结合率好、焊接强度高、变形量小而且靶材组件中的铝靶材的内部组织结构符合溅射要求，因此能够满足长期稳定生产和使用靶材的需要。
组件焊接方法

[实用新型]一种新型真空镀膜靶材永磁结构-CN201521114325.9有效
发明人：黄裕祥 -专利权人：广东耐信镀膜科技有限公司
申请日： 2015-12-29 - 公布日： 2016-06-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型真空镀膜靶材永磁结构，包括阴极组件和安装联接法兰，安装联接法兰上安装有真空贯穿件，真空贯穿件中心安装有靶材组件，靶材组件底端连接旋转式冷却水供应装置，靶材组件上安装有靶材，所述靶材组件下方的安装联接法兰上安装有永磁组件本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型在原真空镀膜靶材结构的基础上面，于靶材的下端增加了永磁组件，从而对工作过程中的电弧产生引向作用，控制其在靶材表面的发生范围，从而使靶材均匀损耗，提高了靶材的使用率，同时定向电弧也使靶材结构工作更稳定，安全，可靠。
一种新型真空镀膜永磁结构

[实用新型]垂直型溅射系统-CN201820112880.5有效
发明人：白雨成;全义九;李相文;张昌泳;丁钟国;边娜恩 -专利权人：株式会社SELCOS;胜显（上海）商贸有限公司
申请日： 2018-01-23 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种垂直型溅射系统，包括与地面垂直设置在第一溅射枪的第一垂直靶材组件；及设置在面对第一溅射枪的第二溅射枪，并设置为与第一垂直靶材组件相隔彼此面对的第二垂直靶材组件，第一及第二垂直靶材组件分别包括释放薄膜形成物质的靶材；将靶材固定在溅射枪的靶材夹具；覆盖靶材夹具，并与靶材连接相同电极的屏蔽部件。本实用新型优点如下：靶材夹具与屏蔽部件之间不会发生短路，可以对被溅镀物有效地进行溅射。本实用新型使被溅镀物可通过相互面对垂直设置的一对垂直靶材组件，具有可以减小安装面积的优点。而且，相互面对的2个垂直靶材组件分别向相互面对的2个被溅镀物进行溅镀，具有提高溅射生产率的优点。
靶材组件靶材溅射垂直溅镀夹具本实用新型溅射系统屏蔽部件垂直型薄膜形成物质彼此面对垂直设置地面垂直电极短路有效地减小相隔释放覆盖

[实用新型]靶材冷却装置-CN201822066979.9有效
发明人：何文;薛超;吴龙江;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：该实用新型涉及一种靶材冷却装置，包括：密封盖，安装至靶材基板，用于在所述靶材基板表面形成密闭空间；流体泵，连通至所述密闭空间，用于向所述密闭空间内泵入流体，或抽出所述密闭空间内的流体，以冷却所述靶材。本实用新型的靶材冷却装置在靶材基板表面形成了密闭空间，并使用一流体泵连通至所述密闭空间，往密闭空间内通入流体或泵出流体，使用流体对靶材进行冷却。进一步的，还设置有与所述靶材基板的表面相接触的水袋，通过水袋中盛装的水的较大比热容，也能对靶材起到一定的冷却作用。使用该靶材冷却装置，能够避免使用水冷方式对靶材进行冷却时对靶材、磁铁和管路的影响，能够优化物理气相沉积机台的生产效能。
密闭空间靶材靶材冷却流体对靶冷却基板表面基板水袋连通物理气相沉积机台本实用新型泵入流体冷却作用流体泵密封盖磁铁体泵抽出盛装优化生产

[实用新型]一种新型磁控溅射靶材-CN201420564210.9有效
发明人：张庆丰;范晓鹏;李贵成;汪涛;胡尚智;张加友;刘占伟 -专利权人：山东淄博汉能光伏有限公司
申请日： 2014-09-28 - 公布日： 2015-02-04 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型磁控溅射靶材，包括小块靶材和冷却背板，多块所述小块靶材并排拼接后贴合安装于所述冷却背板上，位于所述冷却背板中部的所述小块靶材的厚度小于位于所述冷却背板两端的所述小块靶材的厚度，且由中间至两端厚度递增本实用新型通过在靶材溅射强烈的两端位置放置较厚的小块靶材，而在溅射强度较弱的中间部分放置厚度较薄的小块靶材，避免溅射强烈区域的小块靶材过早消耗完毕，从而延长了整个靶材的使用寿命，提高了靶材利用率，能够从传统的20％提高到30％左右，增加了更换靶材的时间周期，减少了更换靶材次数，间接减少了劳动量，降低了材料成本和人力成本。
一种新型磁控溅射

[实用新型]一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置-CN202320370589.9有效
发明人：周树法 -专利权人：昆山立特纳米电子科技有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置，包括：靶材组件和靶座，所述靶材组件包括靶材、磁芯和驱动机构，所述靶材设于磁芯的外侧，且端部通过堵头堵住，所述驱动机构与磁芯连接；所述靶座呈倾斜状，且所述靶座上设有至少一个用于安装靶材组件的安装工位，位于安装工位设有安装穿孔，所述靶材组件与靶座通过螺钉固定。本实用新型所述的一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置，通过对靶座结构的优化，让其能够对靶材起到一定的导正作用，有效提高镀膜的均匀性，避免因靶材倾斜造成沉积不均的现象，同时还设置了多个安装工位，让其能够根据实际的需要对选择靶材的安装数量
一种提高薄膜均匀多工位金属装置

[实用新型]一种磁性靶材-CN201520855329.6有效
发明人：张瑞丽;任瑞 -专利权人：杭州立昂微电子股份有限公司
申请日： 2015-10-29 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种磁性靶材，所述磁性靶材能够与非磁性靶材共用磁控溅射系统，其中非磁性靶材为圆形平面靶材，包括溅射靶和背板。所述磁性靶材通过将非磁性靶材1）减薄溅射靶；2）将溅射面及其背面由平面改成球面，以及背板的焊接面也由平面改为内球面，且与溅射靶的背面完全贴合；或者进一步从背板主体部分的冷却面方向减薄背板等；得到形变后的磁性靶材，该磁性靶材使用与非磁性靶材可共用的溅射系统进行溅射，所得溅射薄膜的厚度均匀性达到2.0%以内。
一种磁性

[发明专利]一种大面积铁磁性靶材焊接方法及装置-CN201811525526.6有效
发明人：罗俊锋;郭凤歧;徐国进;陈淼琴;李勇军;庞欣;熊柏青;贺昕;刘晓;崔佳 -专利权人：有研亿金新材料有限公司
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明公开一种铁磁性溅射靶材焊接方法及装置，该方法通过永磁吸盘平台对铁磁性靶材的磁力作用，使靶材、焊料与背板之间均匀结合，提高大面积铁磁性靶材焊接质量，靶材焊合率高，靶材厚度均匀性好。该焊接技术，操作简单，可重复性强，利用磁性平台焊接装置可实现大面积铁磁性靶材的高质量焊接，靶材的溅射性能明显提高。
一种大面积铁磁性焊接方法装置

[发明专利]靶材的检测方法-CN200910148987.0有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;周友平;陈勇军;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-06-16 - 公布日： 2010-04-28 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：一种靶材的检测方法，包括：提供扩散焊后的靶材，所述靶材为钛或钛合金；对所述靶材进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为2～8MHz。所述靶材的检测方法无需破坏靶材，同时可以提高焊接质量检测的客观性和可靠性。
检测方法

[发明专利]靶材的检测方法-CN200910148983.2有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;周友平;陈勇军;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-06-16 - 公布日： 2010-02-03 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：一种靶材的检测方法，包括：提供扩散焊后的靶材，所述靶材为铜或铜合金；对所述靶材进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为2～8MHz。所述靶材的检测方法无需破坏靶材，同时可以提高焊接质量检测的客观性和可靠性。
检测方法

[发明专利]靶材的检测方法-CN200910148985.1有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;周友平;陈勇军;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-06-16 - 公布日： 2010-02-03 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：一种靶材的检测方法，包括：提供钎焊后的靶材，所述靶材为铝或铝合金；对所述靶材进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为5～15MHz。所述靶材的检测方法无需破坏靶材，同时可以提高焊接质量检测的客观性和可靠性。
检测方法

[发明专利]靶材热处理方法-CN201110359251.5有效
发明人：潘杰;姚力军;王学泽;陈勇军 -专利权人：余姚康富特电子材料有限公司
申请日： 2011-11-14 - 公布日： 2012-04-11 - 主分类号： C21D1/68 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材热处理方法，包括：提供靶材，所述靶材为铜磷合金；预热砂子；将已预热的砂子包覆所述靶材，对所述靶材进行热处理。与现有技术相比，本发明透过预热砂浴的加热方式，确保靶材均匀受热，实现其组织结构的均匀性，满足电镀要求。
热处理方法