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[发明专利]光学邻近修正、光掩膜版制作及图形化方法-CN201910838032.1在审
发明人：王健 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：光掩膜版制作及图形化方法，其中，光学邻近修正方法包括：分别对第一初始图形中的第一子图形和第二子图形设置第一容忍度和第二容忍度，且第一容忍度小于第二容忍度；对第一初始图形进行光学邻近修正，修正过程中，若第一边缘放置误差小于等于第一容忍度，且第二边缘放置误差小于等于第二容忍度，则光学邻近修正完成，获得第一修正图形。
光学邻近修正光掩膜版制作图形方法

[发明专利]用于光刻边缘放置误差提前矫正的对齐节距四等分图案化-CN201680084257.7在审
发明人： C.H.华莱士;M.钱德霍克;P.A.尼休斯;E.汉;S.A.博雅尔斯基;F.格斯特赖因;G.辛格 -专利权人：英特尔公司
申请日： 2016-03-28 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：描述了用于光刻边缘放置误差提前矫正的对齐节距四等分图案化方式。例如，一种制作半导体结构的方法包括在半导体衬底上形成第一图案化硬掩模。第二硬掩模层在半导体衬底上形成。
移除图案化硬掩模半导体鳍片硬掩模层衬底鳍片半导体边缘放置误差二嵌段共聚物聚合物嵌段对齐光刻节距矫正半导体结构图案化方式图案化掩模制作

[发明专利]基于人工期望的目标图案掩膜优化方法-CN202110103267.3在审
发明人：彭飞;宋毅;桂成群 -专利权人：武汉大学
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明在不改变电路主要特征的前提下把目标图案的高频信号拉低，使其低到一个可以补偿的范围，然后再对新的目标图案进行补偿，使图案的高频信号得以恢复，提高图像保真度，使得晶圆图案的图案误差和边缘放置误差均得到进一步减小；同时，极大地提高了工艺可制造性，使得晶圆图案的图案误差和边缘放置误差均得到进一步减小。
基于人工期望目标图案优化方法

[发明专利]一种晶片圆心校正方法-CN202211243781.8在审
发明人：郑传凤 -专利权人：南通迪博西电子有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶片圆心校正方法，属于图像数据识别技术领域，该方法步骤包括：获取待测晶片图像中多段圆弧边缘；根据每段圆弧边缘中每个边缘像素点的邻域链码，选取出部分误差像素点；利用每个部分误差像素点所在圆弧边缘的误差程度、所在圆弧边缘的前进角度值以及每个部分误差像素点出现误差位置概率，计算出每个部分误差像素点的误差程度，选取出误差程度小于误差程度阈值的部分误差像素点组成目标像素点集合，对目标像素点集合进行霍夫圆检测得到晶片圆心；本发明筛选出低误差程度的像素点进行霍夫圆检测，在减少冗余计算的同时提高了霍夫圆检测的准确性，并能准确的获取晶片圆心位置。
一种晶片圆心校正方法

[发明专利]用于视频引伸计系统的亮度和对比度校正以及方法-CN202080045759.5在审
发明人：克里斯汀·赫欧;迈克尔·阿什曼 -专利权人：伊利诺斯工具制品有限公司
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：本公开描述了用于校正与视频引伸计系统中的关联背屏的亮度水平相关联的边缘位置误差的系统和方法。在一些示例中，为了校正边缘位置误差，处理系统被配置为执行边缘检测算法以测量和/或计算与误差量相关联的所观察的边缘位置和基准边缘位置之间的差异，并计算校正项以解决误差。在白到黑过渡的情况下校正项可以加到边缘检测算法的结果中，并且在黑到白过渡的情况下被减去以校正误差。
用于视频引伸计系统亮度对比度校正以及方法

[发明专利]光学邻近校正方法、掩模制造方法和半导体芯片制造方法-CN202211683475.6在审
发明人：李儿潾;梁起豪;郑芝银;文晟墉;张准荣 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：所述用于制造半导体芯片的光学邻近校正(OPC)方法可包括：检测初始布图图案的多个边缘，并且将所述多个边缘之中的违反掩模规则的边缘确定为目标边缘；在目标边缘上设置参考控制点(RCP)；通过基于RCP划分目标边缘来形成多边缘；在多边缘上设置附加控制点；通过基于RCP和附加控制点将多边缘变换为弯曲边缘，来形成修改布图图案；基于修改布图图案执行OPC模拟；以及基于OPC模拟的结果来计算修改布图图案的边缘放置误差(EPE)。
光学邻近校正方法制造半导体芯片

[发明专利]一种掩模图形优化方法及掩模板-CN202211559561.6在审
发明人：陈运;丁明 -专利权人：深圳晶源信息技术有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G03F1/76 文献下载
摘要：所述方法提供初始掩模版图，将初始掩模版图划分为预设等级的分块，相邻分块间界定原始边界线，原始边界线扩展形成扩展边界线；将分块内掩模图形进行打断获得线段；在线段上放置初始评价点，模拟掩模图形形成实际掩模图像和理想掩模图像，并将初始评价点在实际掩模图像和理想掩模图像的轮廓上的投影进行关联以获得评价点的边缘放置误差；基于评价点的边缘放置误差和预设评价函数对分块扩展边界线内的掩模图形进行优化并输出分块原始边界线内的优化结果；
一种图形优化方法模板

[发明专利]一种稀疏孔径望远镜边缘传感方法-CN202210640040.7有效
发明人：安其昌;刘欣悦;张景旭;李洪文 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及大口径望远镜测量技术领域，特别涉及一种稀疏孔径望远镜边缘传感方法；在本发明内，先对稀疏孔径望远镜中子镜间活塞误差进行探测，得到子镜活塞误差，再对稀疏孔径望远镜的边缘台阶误差进行波长尺度的检测，得到边缘传感的数据，最后根据边缘传感的数据再对子镜活塞误差进行修正。
一种稀疏孔径望远镜边缘传感方法

[发明专利]一种基于观测目标的拼接子镜边缘误差高精度实时探测方法-CN202211404416.0在审
发明人：王斌;戴懿纯;金振宇 -专利权人：中国科学院云南天文台
申请日： 2022-11-10 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明的基于观测目标的拼接子镜边缘误差高精度实时探测方法，在拼接子镜间设计子瞳相位差成像系统；在子瞳相位差成像系统的基础上，执行估计子镜间边缘误差的算法；基于观测目标的拼接子镜边缘误差高精度实时探测方法，测量的是反射面的边缘误差，无须标定零点，计算方法简单可靠，能够实现边缘误差的实时探测；并且抗噪性能好，具有不被复杂工作环境影响的优势；不仅可以在主动调整阶段进行应用，也可以在共相保持阶段进行应用。
一种基于观测目标拼接边缘误差高精度实时探测方法

[发明专利]基于Mist-边缘-雾-云计算的热误差预测系统及热误差补偿系统-CN202110437631.X有效
发明人：马驰;桂洪泉;王时龙;刘佳兰 -专利权人：重庆大学
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：一种基于Mist‑边缘‑雾‑云计算的热误差预测系统，包括Mist计算层、边缘计算层、雾计算层和云计算层；Mist计算层包括：树莓派(RPi)，用于将传感器采集得到的电流、电压信号转换为热误差数据；边缘计算层包括：过滤器；放大器；路由器；微型数据中心，用于存储最近的热误差数据并判断设备运行状态是否正常并在设备运行状态异常时快速响应；雾计算层包括：服务器；热误差预测单元，预测热误差得到热误差预测值；云计算层包括：数据库；训练单元，根据数据库内存储的热误差数据训练热误差预测模型、并将训练得到的热误差预测模型传输至热误差预测单元以更新热误差预测单元内的热误差预测模型。本发明还提出了一种基于Mist‑边缘‑雾‑云计算的热误差补偿系统。
基于 mist 边缘计算误差预测系统补偿

[发明专利]通用输入数据采样电路及其方法-CN97122924.4无效
发明人：蒋力峰;刘;姜大善 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 1997-11-20 - 公布日： 2003-04-16 - 主分类号： H03K5/00 文献下载
摘要：检测定时误差和选择中点数据采样的正确时钟边缘的电路，包括上升边缘采样装置和下降边缘采样装置，分别在输入时钟的上升和下降边缘采样输入数据信号，并产生第一和第二中间数据信号；误差信号产生装置，设在各采样装置中，在指定的调定时间和保持时间要求未满足时产生误差上升或误差下降信号；指定机构，接收第一、第二中间信号和误差信号，检测到误差下降或上升信号时分别将第一或第二中间数据信号自动输给一逻辑装置。
通用输入数据采样电路及其方法

[发明专利]一种OPC方法以及制备掩膜版的方法-CN201210413530.X有效
发明人：张婉娟 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2012-10-25 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本发明提供一种OPC方法以及制备掩膜版的方法，引入了掩膜版误差增强因子，并设计出与掩膜版误差增强因子相关的反馈系数调整表格，结合边缘放置误差的影响，来优化图案，克服了掩膜版误差增强因子的存在造成图案的较大的震荡
一种 opc 方法以及制备掩膜版

[发明专利]对输入信号的波形边缘进行时间标定的方法-CN00131381.9无效
发明人： B·A·瓦德 -专利权人：特克特朗尼克公司
申请日： 2000-09-14 - 公布日： 2001-03-28 - 主分类号： G01R13/30 文献下载
摘要：对输入信号进行时间标定的方法,产生作为基准边缘的时间标记过的数字数据值,并在基准边缘中限定至少一个第一时间标记。捕获输入信号的数字数据采样,形成输入信号的波形记录。将波形记录边缘的数字数据采样与同时的基准边缘数字数据值比较,产生表示波形记录边缘和基准边缘之间差的误差值。时间补偿值从误差值中产生,以改变基准边缘的时间位置,重复比较和时间补偿产生步骤,使误差值最小化。最小误差值处的时间补偿值与最接近的波形记录边缘的数字数据采样的时间位置结合,产生波形记录边缘时间标记。
输入信号波形边缘进行时间标定方法

[发明专利]反光球的球心坐标获取方法、装置、设备和存储介质-CN202310666012.7在审
发明人：李鹏;刘双龙 -专利权人：武汉联影智融医疗科技有限公司
申请日： 2023-06-06 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G06T7/70 文献下载
摘要：本申请涉及一种反光球的球心坐标获取方法，该方法包括：获取CT影像中位于目标反光球的球心附近的种子点坐标；将所述种子点坐标作为起始点，对所述目标反光球进行边缘检测，得到所述目标反光球对应的边缘点集合；去除所述边缘点集合中的异常边缘点，得到原始边缘点集合；在所述原始边缘点集合的误差矩阵的残差值小于残差阈值的情况下，基于所述原始边缘点集合的误差矩阵的拟合结果，获取所述目标反光球的候选球心坐标；基于所述候选球心坐标，确定出目标边缘点集合；若所述目标边缘点集合的误差矩阵的残差值小于所述残差阈值，则基于所述目标边缘点集合的误差矩阵的拟合结果，确定出所述目标反光球的球心坐标。
反光球心坐标获取方法装置设备存储介质

[发明专利]加强半色调影像打印品质的方法-CN200410045351.0有效
发明人：陈政忠;蒋政辉 -专利权人：光宝科技股份有限公司
申请日： 2004-05-19 - 公布日： 2005-11-23 - 主分类号： H04N1/58 文献下载
摘要：一种加强半色调影像打印品质的方法，侦测一打印文件的边缘特征及其边缘方向性，然后以误差扩散法对该文件执行半色调影像处理，于文件扫描得到RGB影像之后，以高通滤波器侦测出RGB影像的边缘特征及其边缘方向，紧接着在误差扩散法处理过程中，利用条件式量化器根据输入像素点的边缘特征值、灰阶值及误差累积值，将具有边缘与非边缘特征的像素点分离处理，并使得具非边缘的像素点依原有误差扩散法方式得到较平滑的分配，而具边缘特征的像素点得到集中的分配，通过此可让文件中的文字边缘部份能更锐利。
加强色调影像打印品质方法