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- [发明专利]改善边缘放置误差的方法-CN202210859062.2在审
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戴韫青
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上海华力集成电路制造有限公司
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2022-07-20
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2022-11-01
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G03F1/36
- 本发明提供一种改善边缘放置误差的方法，提供设计版图，对设计版图第一次光学临近修正得到第一光罩图形；其中，第一光罩图形上形成有至少一个片段图形，使得第一光罩图形呈阶梯状，第一光罩图形的第一曝光后轮廓与设计版图间存在第一边缘放置误差；在第一光罩图形存在高度差处插入补偿图形，得到第二光罩图形；根据第二光罩图形得到第二曝光后轮廓，使得第二曝光后轮廓与设计版图间存在的第二边缘放置误差小于第一边缘放置误差。本发明在光罩修正图形中落差较大的两图形之间生成一个阶梯状的图形做为缓冲，曝光产生的轮廓有较小的边缘放置误差(EPE)，并且其轮廓上的波浪现象也减弱。
- 改善边缘放置误差方法
- [发明专利]边缘放置误差的检测方法-CN202111013392.1在审
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朱晓亮;张家锦
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上海微电子装备（集团）股份有限公司
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2021-08-31
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2023-03-03
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G03F7/20
- 本发明提供了一种边缘放置误差的检测方法，包括：提供一掩模版，形成有包括剂量测试图形和边缘粗糙度测试图形的测试标记；根据测试标记执行曝光工艺，并检测获得影响边缘放置误差的参数，参数包括照明位置精度、剂量重复性影响值、套刻误差、边缘粗糙度影响值和局部CD均匀性误差；根据参数设计包括第一前层图形和第一当层图形的边缘放置误差测试图形；执行曝光和显影工艺，检测第一前层图形与第一当层图形之间的套准位置，以判断边缘放置误差是否在容许量内本发明的技术方案能够拟合出套刻误差和CD均匀性误差等参数在边缘放置误差中的占比或者能够获得各个参数与边缘放置误差之间的关系式。
- 边缘放置误差检测方法
- [发明专利]将板状件放置在加工机中的装置和方法-CN201080032180.1有效
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M·卡笛罗;让-克劳德·丽贝艾德
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鲍勃斯脱股份有限公司
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2010-07-16
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2012-05-23
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B65H9/12
- 一种用于将板状件(10)放置在加工机(1)中的方法，所述加工机包括用于将这些板状件(10)放置在传送器(30)的多个夹持构件(31)中的进料器(20)，所述传送器以有节奏的流将所述板状件传送到相继的站(所述方法包括以下相继的步骤，在每个板状件(10)的前进过程中：通过检测所述板状件(10)的前边缘或后边缘，测量板状件(10)相对于理论位置的纵向放置误差和角度放置误差；根据所测量的纵向放置误差和角度放置误差控制进料器(20)；激活固定装置(21)，以便将板状件(10)安装在进料器(20)上；通过检测印刷在所述板状件上(10)的对准标记(12)，测量安装在进料器(20)上所述板状件(10)相对于理论位置的纵向放置误差、横向放置误差和角度放置误差。
- 将板状件放置加工中的装置方法
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