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- [发明专利]接触孔的制作方法-CN202111226189.2在审
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鲍宇;曾招钦
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上海华力集成电路制造有限公司
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2021-10-21
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2022-02-11
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H01L21/768
- 本申请公开了一种接触孔的制作方法，包括：在介质层中形成沟槽，介质层形成于衬底上方，衬底表面形成有半导体器件；在介质层和沟槽表面形成扩散阻挡层；通过CVD工艺在扩散阻挡层表面形成线性衬垫层；通过PVD工艺在线性衬垫层表面沉积形成衬垫层；在衬垫层表面形成铜种籽层；在铜种籽层上形成铜层，铜层填充沟槽；进行平坦化处理，去除沟槽外的扩散阻挡层、线性衬垫层、衬垫层、铜种籽层和铜层，使沟槽外的介质层暴露。本申请通过在接触孔的制作过程中，通过CVD工艺形成线性衬垫层后，通过PVD工艺在线性衬垫层表面生成衬垫层从而改善线性衬垫层的成膜质量，降低其电阻，从而提高了器件的电学性能，进而提高其可靠性。
- 接触制作方法
- [实用新型]覆盖有衬垫层的隔板穿线结构及车辆-CN202220039961.3有效
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朱博然;党程;马利
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长城汽车股份有限公司
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2022-01-07
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2022-07-12
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H02G3/22
- 本实用新型提供了一种覆盖有衬垫层的隔板穿线结构及车辆，本实用新型的覆盖有衬垫层的隔板穿线结构包括隔板、以及覆盖于隔板上的衬垫层，其中，隔板上设有穿线孔，对应穿线孔，衬垫层上设有过线孔；并且，衬垫层上设有开缝，开缝由衬垫层的边缘延伸至过线孔中。本实用新型的覆盖有衬垫层的隔板穿线结构，通过设置一条由衬垫层的边缘延伸到过线孔中的开缝，在安装线束过孔胶套时，可通过由开缝处掀起衬垫层的方式方便地将线束过孔胶套设置在过线孔中，并固定在穿线孔内；从而可避免在过线孔的周围加工多条豁口，并可有效缩减过线孔的开孔尺寸，利于改善隔板及其衬垫层的整体隔声性能。
- 覆盖衬垫隔板穿线结构车辆
- [发明专利]超声波探头-CN201280004853.1有效
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佐光晓史;竹中智子;石田一成
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株式会社日立医疗器械
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2012-01-05
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2013-09-11
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A61B8/00
- 本发明提供一种超声波探头，具备将超声波与电信号相互转换的CMUT元件（13）、在表面形成多个CMUT元件（13）的半导体基板（15）、设在CMUT元件（13）的表面侧的声透镜（3）、以及设在半导体基板（15）的背面侧的衬垫层（5），衬垫层（5）由与半导体基板接触的第一衬垫层（27）、以及设在衬垫层（27）的背面侧的第二衬垫层（29）形成，第一衬垫层（27）根据半导体基板（15）的板厚设定声阻抗，衬垫层（29）由能使透过衬垫层（27）的超声波衰减的衰减材料形成，声阻抗与衬垫层（27）的声阻抗一致地设定，从而抑制反射回波的多重反射。
- 超声波探头
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