专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体装置以及其制作方法-CN202310561422.5在审
  • 翁宸毅;张境尹;王慧琳;谢晋阳 - 联华电子股份有限公司
  • 2018-11-05 - 2023-08-29 - H10N50/01
  • 本发明公开一种半导体装置以及其制作方法,该半导体装置的制作方法包括下列步骤,在基底上形成第一金属间介电层。在第一金属间介电层上形成盖层。在基底上形成连接结构贯穿盖层与第一金属间介电层。在连接结构与盖层上形成磁性隧穿结堆叠。对磁性隧穿结堆叠进行图案化制作工艺,以于连接结构上形成磁性隧穿结结构并移除盖层。在第一金属间介电层上形成第二金属间介电层。第二金属间介电层围绕磁性隧穿结结构。一种半导体装置包括基底、连接结构、第一金属间介电层、磁性隧穿结结构与第二金属间介电层。第一金属间介电层的介电常数低于第二金属间介电层的介电常数。
  • 半导体装置及其制作方法
  • [发明专利]半导体装置以及其制作方法-CN201811306131.7有效
  • 翁宸毅;张境尹;王慧琳;谢晋阳 - 联华电子股份有限公司
  • 2018-11-05 - 2023-06-16 - H10N50/10
  • 本发明公开一种半导体装置以及其制作方法,该半导体装置的制作方法包括下列步骤,在基底上形成第一金属间介电层。在第一金属间介电层上形成盖层。在基底上形成连接结构贯穿盖层与第一金属间介电层。在连接结构与盖层上形成磁性隧穿结堆叠。对磁性隧穿结堆叠进行图案化制作工艺,以于连接结构上形成磁性隧穿结结构并移除盖层。在第一金属间介电层上形成第二金属间介电层。第二金属间介电层围绕磁性隧穿结结构。一种半导体装置包括基底、连接结构、第一金属间介电层、磁性隧穿结结构与第二金属间介电层。第一金属间介电层的介电常数低于第二金属间介电层的介电常数。
  • 半导体装置及其制作方法

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