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- [发明专利]异质结热物理性质测量方法和装置-CN202310706629.7在审
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曹炳阳;刘朝阳;杨光
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清华大学
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2023-06-14
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2023-10-13
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G01N25/20
- 本发明提供一种异质结热物理性质测量方法和装置,包括:在测试时长内,对待测异质结样本进行加热,获取加热温升值和加热功率;基于所述加热温升值,确定所述加热温升值在所述测试时长内随时间变化的变化离散点和有效导热面积;根据所述变化离散点、所述加热功率、所述有效导热面积和所述待测异质结样本的各层厚度计算所述待测异质结样本的热物性。本发明对待测异质结样本表面进行热激励,测得样品表面不同时刻的温升变化,以得到温度变化离散点,根据温度变化离散点一次性地原位测量待测异质结样本的热物性,实现精度更高、效率更高的异质结热物理性质的测量。
- 异质结热物理性质测量方法装置
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