专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]选择区域外延自脉动DFB激光器的制作方法-CN201110415079.0有效
  • 张灿;朱洪亮;梁松;马丽 - 中国科学院半导体研究所
  • 2011-12-13 - 2012-06-13 - H01S5/12
  • 一种选择区域外延自脉动DFB激光器的制作方法,包括如下步骤:步骤1:在InP衬底上制作两条介质掩膜图形,该两条介质掩膜图形分别包括A段、B段和过渡区;步骤2:在制作有介质掩膜图形的衬底上外延生长多量子阱有源区;步骤3:在多量子阱有源区上制作均匀光栅;步骤4:腐蚀去掉介质掩膜图形对应的介质掩模,在光栅层上依次生长InP包层和电接触层;步骤5:在介质掩膜图形的A段和B段之间刻蚀电隔离区,刻蚀深度到达InP包层的表面;步骤6:电接触层上刻蚀脊波导结构;步骤7:在脊波导结构上蒸镀正面电极;步骤8:将InP衬底减薄,在减薄的InP衬底背面蒸镀背面电极;步骤9:在管芯一端蒸镀抗反射薄膜,另一端蒸镀高反射膜,完成自脉动器件管芯的制作
  • 选择区域外延脉动dfb激光器制作方法
  • [发明专利]一种曝光单元的排布方法-CN201410387776.3有效
  • 栾会倩 - 无锡华润上华科技有限公司
  • 2014-08-07 - 2017-05-24 - G03F7/20
  • 本发明提供一种曝光单元的排布方法,包括步骤一、定义选取对位标记曝光单元的标准;步骤二、以一定步长分别沿与管芯的第一边平行的第一方向和与第一边垂直的第二方向移动,直至沿第一方向和第二方向的偏移量距离达到半个管芯的长度,得到该步长精度下所有可能的有效管芯数量及曝光单元排布;步骤三、选取所述步骤二中有效管芯最多的排布,分别将所述偏移量加上整数个管芯,获得一系列满足有效管芯最大化的曝光单元排布;步骤四、依据所述标准,对所述步骤三中所获得的所述一系列曝光单元排布中位于晶圆边缘的曝光单元进行检查本发明的曝光单元排布满足有效管芯最大化,避免放置虚拟图形,使曝光单元数目最少。
  • 一种曝光单元排布方法
  • [发明专利]一种GaAs基LED管芯制作方法-CN201810000619.0有效
  • 徐晓强;张兆喜;闫宝华;刘琦;肖成峰;郑兆河 - 山东浪潮华光光电子股份有限公司
  • 2018-01-02 - 2020-07-31 - H01L33/00
  • 一种GaAs基LED管芯制作方法,包括如下步骤:a)将生长有外延层的砷化镓基LED晶片进行背面减薄;b)将减薄后的LED晶片的背面的GaAs衬底在常温条件下利用电子束蒸发台在真空环境下使用Ni材料及Au材料蒸镀制成N面电极;c)将晶片放置到电子束蒸发台内,在真空调节下对LED晶片正面加热蒸镀一层氯化铯薄膜;d)P电极掩膜图形制作;e)欧姆接触层和P电极制作;g)使用锯片机对LED晶片进行管芯切割操作,得到分割完成的管芯。整个管芯结构的制作过程工艺简单,不需要使用腐蚀型溶液,全部使用常规设备制作,整个过程制操作简单,原材料成本较低,制成步骤简短,能够快速实现管芯的制作,适用于大规模量化生产,通用于所有砷化镓基发光二极管中的管芯结构的制作工艺
  • 一种gaasled管芯制作方法
  • [发明专利]浅沟道隔离区内的空洞检测方法-CN201310143044.5有效
  • 吕淑瑞 - 无锡华润上华科技有限公司
  • 2013-04-22 - 2017-03-22 - H01L21/66
  • 一种浅沟道隔离区内的空洞检测方法,其检测划片槽内最小线宽小于晶片内最小线宽的划片槽图形的浅沟道隔离区,通过判断划片槽图形的浅沟道隔离区内是否存在空洞来判断晶片内管芯区域图形的浅沟道隔离区是否存在空洞。由于较小尺寸图形的浅沟道隔离区更容易出现空洞且更容易显露出来,因此通过检测较小尺寸划片槽图形的浅沟道隔离区内是否有空洞能够较早的检测出晶圆的晶片内的空洞,从而缩短检测周期,减小设备产能与原材料的浪费。
  • 沟道隔离区内空洞检测方法

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