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- [发明专利]切割方法-CN201510011960.2在审
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刘吉祥;刘煊杰;陈晓军;江卢山
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2015-01-09
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2016-08-03
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H01L21/78
- 一种切割方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底包括测试区、测试区两侧的隔离区、以及隔离区外侧的核心区,半导体衬底表面形成有器件层、所述器件层表面的互连层和互连层表面的焊垫层,所述焊垫层包括位于测试区、隔离区以及核心区上方的若干焊垫以及覆盖所述焊垫和互连层表面的钝化层;刻蚀所述钝化层,在所述钝化层内形成凹槽,所述凹槽暴露出位于核心区、测试区上方的焊垫表面;依次刻蚀钝化层、互连层和器件层至半导体衬底表面,在隔离区与测试区交界处形成隔离沟槽,将钝化层、互连层、器件层断开;沿测试区进行切割,使测试区两侧的半导体衬底、器件层、互连层和焊垫层相互分离。
- 切割方法
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