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- [发明专利]处理装置、搬运方法以及物品的制造方法-CN202211092119.7在审
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佐藤秀司
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佳能株式会社
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2022-09-08
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2023-03-14
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G03F7/20
- 本发明提供处理装置、搬运方法以及物品的制造方法。处理装置用于处理从外部装置搬运的多个基板，所述处理装置的特征在于，包括：搬运部，其包括搬入部和搬出部，所述搬入部用于载置要从所述外部装置向所述处理装置搬入的基板，所述搬出部用于载置要从所述处理装置向所述外部装置搬出的基板，所述搬运部用于在所述搬入部、所述搬出部以及对所述基板进行处理的处理部之间搬运基板；以及控制部，其按照搬运模式来控制在所述外部装置与所述处理装置之间对基板的搬运，所述搬运模式包括如下搬入优先模式，在该搬入优先模式下，在存在应该向所述搬入部搬入的基板和应该从所述搬出部搬出的基板的情况下，与从所述搬出部搬出基板相比，优先向所述搬入部搬入基板。
- 处理装置搬运方法以及物品制造
- [发明专利]检查装置-CN201710358920.4有效
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杉田信治;大西贵子;太田佳秀
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欧姆龙株式会社
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2017-05-19
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2021-01-15
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G01N23/044
- 本发明提供一种使用放射线的检查装置，防止放射线的泄漏并缩短检查时间。检查装置具有搬入准备室、拍摄室及搬出准备室，搬入准备室和搬出准备室分别具有：搬入装置，从第一开口部搬入检查对象物；移动装置，使搬入的检查对象物沿与搬入方向不同的方向平行移动至第二开口部；以及搬出装置，使检查对象物沿着与移动装置的移动方向不同的方向移动，将检查对象物从第二开口部搬出，拍摄室具有拍摄装置，拍摄装置拍摄从搬入准备室搬入的检查对象物，移动装置具有：载置部，载置检查对象物；以及屏蔽构件，与载置部一起移动，屏蔽从第一开口部或第二开口部入侵并向该移动装置的移动方向传播的放射线
- 检查装置
- [发明专利]减压干燥装置-CN200610115720.8无效
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坂本贵浩;坂井光广;八寻俊一
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东京毅力科创株式会社
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2006-08-11
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2007-02-14
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H01L21/00
- 本发明提供一种减压干燥装置，即使基板为大型、安全性也优异，并能抑制振动的产生，且能可靠地防止涂敷在基板上的涂敷液发生转印。该减压干燥装置具备：在侧壁部具有搬入基板的搬入口和搬出基板的搬出口，将从搬入口搬入的基板以大致水平状态收容的腔室；对搬入口和搬出口进行开关的门部件；在利用门部件关闭搬入口和搬出口的状态下，对腔室内进行减压的减压机构；大致水平地搬送基板，将其从搬入口搬入到腔室内，并且，在利用减压机构进行减压干燥处理后，大致水平地搬送该基板，将其从搬出口搬出到腔室之外的搬送机构；和在腔室内，不是局部地支撑、而是能够均匀地支撑基板的带
- 减压干燥装置
- [发明专利]立式热处理装置及其使用方法-CN200580001445.0有效
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原木健次郎;山本博之;植村聪;角田勇二;竹内靖;酒井裕史
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东京毅力科创株式会社
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2005-10-17
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2007-01-31
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H01L21/677
- 一种立式热处理装置，包括：将收纳有多片被处理体(W)的搬运容器(2)搬入以及搬出该立式热处理装置用的至少一个搬入搬出部(3、4)；保管通过该搬入搬出部而搬入该立式热处理装置内的多个搬运容器的第一保管部(5)；收纳多段保持有多片被处理体的保持件(6)，并对被处理体实施规定热处理的热处理炉(7)；和为了在上述保持件与搬运容器之间移载被处理体而承载搬运容器的移载部(8)；其中，作为所述搬入搬出部，设置有上段的搬入搬出部(3)和下段的搬入搬出部(4)，同时，在上段和下段的搬入搬出部之间设置有保管搬运容器的第二保管部(20)。上述搬入搬出部(3，4)中的至少一个作为保管搬运容器(2)的第三保管部(30)。可实现在不增大占用面积的条件下增加搬运容器的保管数量，并实现生产率的提高。
- 立式热处理装置及其使用方法
- [发明专利]基板处理装置-CN200710086066.7有效
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粟野宪康
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住友精密工业株式会社
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2007-03-08
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2007-09-12
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H01L21/00
- 本发明提供一种即使基板的搬入时间产生延迟，也能够使作为整体的蚀刻时间一定，可在基板之间进行均匀的蚀刻的基板处理装置。当利用第一检测装置(29a)检测基板K已进入到处理区域(20)内时，将处理液供给至基板K上，进行一次处理，同时，测量从基板K进入至结束搬入为止的经过时间，作为基板搬入时间。另外，从完全搬入基板K开始进行二次处理，在所测量的基板搬入时间为在基准搬入时间内的情况下，以标准的搬送速度搬送基板K，进行二次处理，在基板搬入时间比基准搬入时间长的情况下，计算消除所超过的延迟时间所需的搬送速度
- 处理装置
- [发明专利]零件搬入指示装置-CN200410008884.1无效
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山崎实
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丰田自动车株式会社
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2004-03-25
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2004-09-29
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G06F17/60
- 以往所存在的问题是，在利用搬入指示卡进行在生产线中使用的零件的搬入的情况下，搬入指示卡的发放需要很多时间。为解决这种问题，本发明的零件搬入指示装置，根据产品的生产计划，按以规定的产品数捆绑的每个小单位，计算出所使用的各零件的搬入计划数(S42－S48)。而后，针对多个小单位按每个小单位赋予识别信息、预先发放与各零件的搬入计划数相对应的各零件类别的搬入指示卡(S50－S56)。进而，该装置根据在生产线上的实际的产品生产状况，特定需要搬入的小单位(S72－S76)，输出所特定的小单位的识别信息(S78)。
- 零件指示装置
- [发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN202211658220.4在审
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大宅宗明;三林武;森井敬亮
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株式会社斯库林集团
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2022-12-22
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2023-08-22
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H01L21/677
- 本发明的课题是缩短基板处理装置的长度。本发明的解决方案的基板处理装置具有去程部分以及回程部分，基板在去程部分上移动，去程部分从基板被从索引器装置搬入的被搬入区域到朝向曝光装置搬出基板的接口部为止，从曝光装置向接口部搬入的基板在回程部分上移动，回程部分从接口部到朝向索引器装置搬出基板的被搬出区域为止。去程部分包含清洗部，对从索引器装置搬入的基板实施清洗处理；涂覆部，在用清洗部实施过清洗处理的基板上涂覆处理液；缓冲部，暂时收纳基板；以及搬送机器人，从清洗部搬出基板，向缓冲部搬入基板，从缓冲部搬出基板和向涂覆部搬入基板
- 处理装置方法
- [实用新型]基板处理装置-CN201721008841.2有效
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富藤幸雄
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株式会社斯库林集团
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2017-08-11
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2018-05-18
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H01L21/67
- 本实用新型是即使是大型的基板也能够充分抑制其带电的基板处理装置。基板处理装置(100)具备：载置部(42)，供载置基板(5)；腔室(41)，将载置在加热板(42)上的基板(5)的周围覆盖，并且形成有用于搬入基板(5)的搬入口(7)；搬运机械手(3)，具有支撑基板(5)的手部(33)，将由手部(33)支撑的基板(5)经由搬入口(7)搬入至腔室(41)内；以及电离器(6)，向从搬入口(7)的外侧朝向腔室(41)的方向喷射离子化的气体。
- 处理装置
- [发明专利]辅助装置-CN202111611228.0在审
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寺师健太郎;女屋拓土;松冈伸太郎
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株式会社迪思科
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2021-12-27
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2022-07-01
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B28D7/00
- 本发明提供辅助装置，该辅助装置能够自动更换切削刀具，并且能够在日后安装于已经交货给用户的切削装置。与切削装置连结的辅助装置包含：切削刀具保管单元，其保管多个切削刀具；搬出搬入单元，其从切削刀具保管单元搬出和搬入切削刀具；Y轴方向定位单元，其将搬出搬入单元相对于切削刀具保管单元定位于Y轴方向的作用位置和退避位置；Z轴移动机构，其使搬出搬入单元沿Z轴方向移动；以及X轴移动机构，其使搬出搬入单元沿X轴方向移动而对安装于切削装置的切削单元的主轴的切削刀具发挥作用。
- 辅助装置
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