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[发明专利]搬入装置、搬入方法及定位机构-CN201911307665.6在审
发明人：仓持吉治;崎山英树 -专利权人：株式会社前川制作所
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本发明提供一种搬入装置、搬入方法及定位机构，能够将配置有食品的托盘自动地搬入到推车吊架。搬入装置(1)具有：供给输送机(10)，其将托盘(T)供给到位于最下部的载置部(52)的Y方向的延长线上；搬入输送机(20)，其使托盘向延伸部(51)侧移动而搬入到载置部；以及升降机(30)，其使配置有托盘的搬入输送机经由载置部之间进行升降
装置方法定位机构

[发明专利]运送系统及其运转方法-CN200780031425.7无效
发明人：富崎猛 -专利权人：神钢电机株式会社
申请日： 2007-09-27 - 公布日： 2009-08-12 - 主分类号： G05D1/02 文献下载
摘要：本运送系统包括：可移动地设置在搬入搬出站和搬入站之间，运送被运送物的运送体；控制所述运送体的移动的控制单元；以及设置在所述搬入搬出站中，用于输入所述被运送物的搬出指示的搬入搬出侧输入单元。在没有进行所述被运送物的运送的初始状态中，所述运送体被配置在所述搬入搬出站中。所述控制单元在所述初始状态中所述搬入搬出侧输入单元被输入了搬出指示时，使所述运送体从所述搬入搬出站移动到所述搬入站中，再将所述运送体从所述搬入站返回到所述搬入搬出站中。
运送系统及其运转方法

[发明专利]处理装置、搬运方法以及物品的制造方法-CN202211092119.7在审
发明人：佐藤秀司 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：处理装置用于处理从外部装置搬运的多个基板，所述处理装置的特征在于，包括：搬运部，其包括搬入部和搬出部，所述搬入部用于载置要从所述外部装置向所述处理装置搬入的基板，所述搬出部用于载置要从所述处理装置向所述外部装置搬出的基板，所述搬运部用于在所述搬入部、所述搬出部以及对所述基板进行处理的处理部之间搬运基板；以及控制部，其按照搬运模式来控制在所述外部装置与所述处理装置之间对基板的搬运，所述搬运模式包括如下搬入优先模式，在该搬入优先模式下，在存在应该向所述搬入部搬入的基板和应该从所述搬出部搬出的基板的情况下，与从所述搬出部搬出基板相比，优先向所述搬入部搬入基板。
处理装置搬运方法以及物品制造

[发明专利]闸阀装置和基板处理系统-CN201810442611.X有效
发明人：大森贵史;锅山裕树;三枝直也;伊藤毅 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-05-10 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种闸阀装置和基板处理系统，目的在于抑制基板的搬入搬出口的变形。闸阀装置与形成于在减压环境下对基板实施规定的处理的处理容器的侧壁的基板的搬入搬出口连接，包括：壁部，其形成有与搬入搬出口连通的开口部；和楔部件，其被插入位于开口上部的槽和位于搬入搬出口上部的槽，从搬入搬出口上部的槽的上表面支承搬入搬出口上部，其中，上述开口部是形成于壁部的开口部之上的部分，上述搬入搬出口上部是形成于处理容器的侧壁的搬入搬出口之上的部分。
闸阀装置处理系统

[发明专利]成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法-CN201811362764.X在审
发明人：阿部可子;菅原洋纪 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：成膜装置具备：被维持成真空的基板搬送室(12)；具有用于搬入及搬出基板(10)的搬入搬出口(22a、22b)的第一真空成膜室(20a、20b)；以及分别具有用于搬入基板(10)的搬入口(32)和用于搬出基板(10)的搬出口(34)的第二真空成膜室(30)，第一真空成膜室(20a、20b)经由搬入搬出口(22a、22b)与基板搬送室(12)之间搬入及搬出基板(10)，第二真空成膜室(30)经由搬入口(32)从基板搬送室(12)搬入基板(10)，且不经由搬入口(10)向所述基板搬送室(12)搬出基板(10)。
搬入基板真空成膜室基板搬送搬出成膜装置搬出口搬入口成膜处理电子器件成膜制造

[发明专利]印刷装置及对基板作业装置-CN201580080718.9有效
发明人：蛭川立雄;龟谷泰范;近藤毅;加藤光昭;水越刚;鸟居敦志;饭阪淳;楠一弘 -专利权人：株式会社富士
申请日： 2015-06-08 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： B41F15/08 文献下载
摘要：印刷装置(20)具备对丝网掩模(M)及基板支撑部件(70)进行搬入搬出的搬运杆(25a)和控制部。控制部能够控制搬运杆(25a)而执行包括对搬出对象的丝网掩模(M)进行搬出的掩模搬出处理及对搬入对象的丝网掩模(M)进行搬入的掩模搬入处理在内的掩模更换处理。另外，控制部(21)能够控制搬运杆(25a)而执行包括对搬出对象的基板支撑部件(70)进行搬出的支撑部件搬出处理及对搬入对象的基板支撑部件(70)进行搬入的支撑部件搬入处理在内的支撑部件更换处理。
印刷装置作业

[发明专利]PCB行业滚轮式线边仓自动搬运管理方法-CN202211378777.2在审
发明人：张三星;李辉 -专利权人：上海哥瑞利软件股份有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种PCB行业滚轮式线边仓自动搬运管理方法，包括AGV搬入业务、AGV搬出业务，EAP系统通过opc ua标准通讯跟设备连接，设备发送相应事件，EAP根据设备上报事件，来判断是否搬入或者搬出；如果是搬入请求事件，EAP会通过webapi接口方式通知RCS系统，RCS系统接收到通知后，会给AGV下发搬入指令，AGV根据指令进行搬入操作，搬入完成AGV会根据事先设定的轨迹，搬送到制定线边仓。
pcb 行业轮式线边仓自动搬运管理方法

[发明专利]减压干燥装置-CN200610115720.8无效
发明人：坂本贵浩;坂井光广;八寻俊一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-08-11 - 公布日： 2007-02-14 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：该减压干燥装置具备：在侧壁部具有搬入基板的搬入口和搬出基板的搬出口，将从搬入口搬入的基板以大致水平状态收容的腔室；对搬入口和搬出口进行开关的门部件；在利用门部件关闭搬入口和搬出口的状态下，对腔室内进行减压的减压机构；大致水平地搬送基板，将其从搬入口搬入到腔室内，并且，在利用减压机构进行减压干燥处理后，大致水平地搬送该基板，将其从搬出口搬出到腔室之外的搬送机构；和在腔室内，不是局部地支撑、而是能够均匀地支撑基板的带
减压干燥装置

[发明专利]基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统-CN200610105710.6无效
发明人：矢泽隆之;荒川洋;小山淳之介 -专利权人：日本电产三协株式会社
申请日： 2006-07-13 - 公布日： 2007-01-17 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明提供一种能相对多层结构的基板收纳箱可靠地搬出及搬入基板的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统。本发明的基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部(15)、并在各层的长支撑部(15)上承载基板(1)进行多层收纳的箱体(11)，使用具有承载所述基板(1)用的手部(22)的机器人(21)将基板(1)搬出搬入，包含对将要承载对象基板(1)的长支撑部(15)的跟前侧端部(16)或已经承载有对象基板(1)的长支撑部(15)的跟前侧端部(16)进行支承、扩大箱体(11)内供手部(22)进入或后退的空间的支承工序(A)，从箱体(11)搬出对象基板(1)的搬出工序及向箱体(11)搬入对象基板(1)的搬入工序与所述支承工序(A)一起进行。
搬出方法系统

[发明专利]样本测定系统和架搬出搬入方法-CN201680014770.9有效
发明人：立谷洋大;大前勇一郎;熊谷淳 -专利权人：希森美康株式会社
申请日： 2016-03-16 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： G01N35/04 文献下载
摘要：本发明提供一种能够高效地使用有限的面积的样本测定系统和架搬出搬入方法。样本测定系统（100）包括测定单元（10）、运送单元（20）、数个搬出搬入单元（30）、以及控制部件（500）。搬出搬入单元（30）能够在第1方向排列放置数个架（60），其用于搬出所放置的架。运送单元（20）途经测定单元（10）运送架（60）。搬出搬入单元（30）搬入由运送单元（20）运送的架（60）。各搬出搬入单元（30）在与第1方向交叉的第2方向排列配置，从第1方向的一侧搬出架（60）并从另一侧搬入架（60）。
样本测定系统搬出方法

[发明专利]真空处理系统-CN200880022749.9无效
发明人：宫下哲也;多田宪伦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2008-08-22 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供一种真空处理系统(1)，其具备：CVD处理室(12～15)，其在真空下对晶片(W)进行CVD处理；搬送室(11)，其具有搬入/搬出晶片(W)的搬入搬出口(31)，经由能够使搬入搬出口(31)开闭的门阀(G)连接CVD处理室(12～15)，具备将晶片(W)经由搬入搬出口(31)相对于CVD处理室(12～15)搬入搬出的搬送机构(16)，该处理室内部保持为真空状态；清扫气体喷出构件(51)，其设于搬入搬出口(31)附近，在打开门阀(G)而将搬送室(11)与任一个CVD处理室连通的状态下，经由搬入搬出口(31)向该CVD处理室喷出清扫气体。
真空处理系统

[发明专利]基板处理装置-CN200710086066.7有效
发明人：粟野宪康 -专利权人：住友精密工业株式会社
申请日： 2007-03-08 - 公布日： 2007-09-12 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种即使基板的搬入时间产生延迟，也能够使作为整体的蚀刻时间一定，可在基板之间进行均匀的蚀刻的基板处理装置。当利用第一检测装置(29a)检测基板K已进入到处理区域(20)内时，将处理液供给至基板K上，进行一次处理，同时，测量从基板K进入至结束搬入为止的经过时间，作为基板搬入时间。另外，从完全搬入基板K开始进行二次处理，在所测量的基板搬入时间为在基准搬入时间内的情况下，以标准的搬送速度搬送基板K，进行二次处理，在基板搬入时间比基准搬入时间长的情况下，计算消除所超过的延迟时间所需的搬送速度
处理装置

[发明专利]零件搬入指示装置-CN200410008884.1无效
发明人：山崎实 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2004-03-25 - 公布日： 2004-09-29 - 主分类号： G06F17/60 文献下载
摘要：以往所存在的问题是，在利用搬入指示卡进行在生产线中使用的零件的搬入的情况下，搬入指示卡的发放需要很多时间。为解决这种问题，本发明的零件搬入指示装置，根据产品的生产计划，按以规定的产品数捆绑的每个小单位，计算出所使用的各零件的搬入计划数(S42－S48)。而后，针对多个小单位按每个小单位赋予识别信息、预先发放与各零件的搬入计划数相对应的各零件类别的搬入指示卡(S50－S56)。进而，该装置根据在生产线上的实际的产品生产状况，特定需要搬入的小单位(S72－S76)，输出所特定的小单位的识别信息(S78)。
零件指示装置

[发明专利]气相式加热方法以及气相式加热装置-CN201911069456.2有效
发明人：永井耕一 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： F24H8/00 文献下载
摘要：一种气相式加热方法，其中，经由搬入搬出部将物体向蒸气加热炉或加热炉搬入，利用蒸气加热炉内的设置于比搬入搬出部靠上方处的冷却部对热转变液的蒸气进行冷却，并且，通过设置于比冷却部靠上方处且与搬入搬出部相比压力损失小的连络部，使气体出入，而使连续炉内的压力均衡，并且对被搬入的物体进行加热。
气相式加热方法以及装置

[发明专利]纸张类集积装置、纸张类处理装置、以及现金自动交易装置-CN200810128829.4有效
发明人：古濑晶子;佐藤正;柴田伸二 -专利权人：日立欧姆龙金融系统有限公司
申请日： 2008-06-20 - 公布日： 2009-04-01 - 主分类号： B65H29/54 文献下载
摘要：再利用箱(130a)具有集积箱(137)、用于将纸币搬入集积箱内的搬入机构(搬入引导件(131g1、131g2)、搬送辊(131r1、131r2)、供给辊(132)、夹送辊(133)、门辊(134))、以及敲击部件(136)，该敲击部件在通过搬入机构将纸币搬入进集积箱内时，与纸币的前端部接触并被抬起，并且在纸币的后端部被搬入集积空间内时，将纸币的后端部敲落到集积箱内的下方。敲击部件构成为，在纸币被敲落到集积箱内的下方时，在纸币的长边方向的整体上，该敲击部件与搬入的纸币接触。
纸张类集积装置处理以及现金自动交易

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