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[实用新型]一种塑胶电镀挂具-CN202022147925.2有效
发明人：李伟 -专利权人：深圳市信维通信股份有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种塑胶电镀挂具，用于装夹塑胶振子并对其进行电镀，其包括电连接于电源负极的挂杆，塑胶振子上设有多个待镀通孔与多个待镀针，挂杆上设有与待镀通孔电连接的挂条，还包括夹持件，夹持件包括分别与待镀针抵触的第一夹臂与第二夹臂，第一夹臂的一端与第二夹臂的一端连接，第一夹臂的另一端与第二夹臂的另一端分别抵触于待镀通孔的侧壁。本实用新型提供的塑胶电镀挂具的夹持件能够将塑胶振子上的待镀针夹持住，并且夹持件还与待镀通孔抵触并形成电连接，待镀通孔能够向夹持件通电的同时，还能够为夹持件提供夹持力，从而确保夹持件能够稳定地夹持在待镀针上，进而降低漏镀的风险，提升产品良率。
一种塑胶电镀

[发明专利]一种化学镀用超声水浴装置-CN201510002112.5无效
发明人：廖树帜;廖诗葳;雷成民;李淑剑;林影;罗志新 -专利权人：湖南师范大学
申请日： 2015-01-05 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： C23C18/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种化学镀用超声水浴装置，该装置由超声波发生器、超声波换能器振子、不锈钢水浴槽、加热器组成；超声波发生器与超声波换能器振子分别固定在不锈钢水浴槽外、内壁上，不锈钢水浴槽固定在加热器上；其特征在于：在温控水浴槽中安装超声换能器，利用超声技术，使复杂镀件每一个待镀表面化学镀液浓度、温度、反应速度都处于一致，从而保证复杂镀件各待镀表面镀层的均一性。
一种化学超声水浴装置

[发明专利]一种检测真空蒸镀膜厚的检测装置和真空蒸镀装置-CN201610007049.9有效
发明人：贾文斌;彭锐;王欣欣;朱飞飞;高昕伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-01-05 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测真空蒸镀膜厚的检测装置和真空蒸镀装置，用以解决现有技术中因频繁更换晶振片所造成的生产成本过高的问题。其中，所述检测装置包括检测结构和晶振片，所述检测结构上设置有与所述晶振片对应的开口，以使得蒸镀分子通过该开口沉积到所述晶振片上；所述检测装置还包括设置在所述开口与所述晶振片之间的过滤层。
一种检测真空镀膜装置

[发明专利]一种石英晶体电极薄膜的制备方法-CN202011392217.3有效
发明人：朱玉琴;罗来正;何建新;王成章;李佳蒙;张凯;封先河;黄朝志;吴帅;舒畅 -专利权人：中国兵器工业第五九研究所
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： C25D5/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种石英晶体电极薄膜的制备方法，包括以下步骤：A)对晶振的真空镀膜进行净化和活化；B)采用镍的预镀电镀液对所述步骤A)中净化和活化后的真空镀膜进行预镀，得到预镀镍层；C)使用金属镀液在所述预镀镍层表面进行正反向电流电镀，得到晶振电镀厚度层；所述正向电镀与反向电镀的时间之比为(5～10)：1，所述正向电镀与反向电镀的电流密度之比为(3～10)：1，所述正向电镀的电流密度为1～5A/dm2振表面获得结合力良好，表面均匀的镀层，满足后续的测试要求。
一种石英晶体电极薄膜制备方法

[发明专利]振动式卧式滚镀装置-CN201811187953.8在审
发明人：李俊;陈德林;任伟 -专利权人：扬州市金杨电镀设备有限公司;扬州景如源电镀设备配件有限公司
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： C25D17/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种振动式卧式滚镀装置。包括滚镀机架（1），以及设置在滚镀机架（1）上的电镀滚筒（2），还包括有振动电机（3），所述振动电机（3）直接驱动滚镀机架（1），使电镀滚筒（2）内部产生微幅高频振动，还包括有为电镀滚筒（2）供电的导电支承（4），为振动电机（3）供电的导电触点（8），还包括有滚镀机架（1）振动时为避免激振力作无效损失的的减振弹簧（6）。本发明能有效避免了滚镀过程中的积料挂料现象，保证了电镀电流连续可靠性，明显提高了电镀合格率。
滚镀电镀滚筒振动电机滚镀装置振动式供电导电触点导电支承电镀电流高频振动挂料现象减振弹簧直接驱动电镀积料激振微幅合格率保证

[实用新型]一种化学镀用超声水浴装置-CN201520002754.0有效
发明人：廖树帜;廖诗葳;雷成民;李淑剑;林影;罗志新 -专利权人：湖南师范大学
申请日： 2015-01-05 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： C23C18/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种化学镀用超声水浴装置，该装置由超声波发生器、超声波换能器振子、不锈钢水浴槽、加热器组成；超声波发生器与超声波换能器振子分别固定在不锈钢水浴槽外、内壁上，不锈钢水浴槽固定在加热器上；其特征在于：在温控水浴槽中安装超声换能器，利用超声技术，使复杂镀件每一个待镀表面化学镀液浓度、温度、反应速度都处于一致，从而保证复杂镀件各待镀表面镀层的均一性。
一种化学超声水浴装置

[实用新型]振动式卧式滚镀装置-CN201821654721.4有效
发明人：李俊;陈德林;任伟 -专利权人：扬州市金杨电镀设备有限公司;扬州景如源电镀设备配件有限公司
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种振动式卧式滚镀装置。包括滚镀机架（1），以及设置在滚镀机架（1）上的电镀滚筒（2），还包括有振动电机（3），所述振动电机（3）直接驱动滚镀机架（1），使电镀滚筒（2）内部产生微幅高频振动，还包括有为电镀滚筒（2）供电的导电支承（4），为振动电机（3）供电的导电触点（8），还包括有滚镀机架（1）振动时为避免激振力作无效损失的减振弹簧（6）。本实用新型能有效避免了滚镀过程中的积料挂料现象，保证了电镀电流连续可靠性，明显提高了电镀合格率。
滚镀电镀滚筒振动电机本实用新型供电导电触点导电支承电镀电流高频振动挂料现象滚镀装置减振弹簧直接驱动振动式电镀积料激振微幅合格率保证

[实用新型]一种蒸镀机的维护腔装置-CN202320740074.3有效
发明人：曹景博;黄明洋 -专利权人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀机的维护腔装置，包括蒸镀装置、维护装置和移动热源，蒸镀装置的蒸镀腔用于放置蒸镀基板，所述移动热源的加热腔内固定安装有坩埚以及用于对坩埚进行加热的加热源，所述维护装置内设置维护腔，所述移动热源能够在蒸镀装置与维护装置之间移动，且加热腔分别与蒸镀腔、维护腔密封对接，所述蒸镀腔、加热腔的底部以及所述加热腔的顶部分别设置有可启闭的密封板。本实用结构简单，使用方便，通过将移动热源设置为能够在蒸镀装置与维护装置之间移动，使加热腔分别与蒸镀腔、维护腔密封连通，在维护腔可以进行蒸镀材料的添加、更换或者回收、膜厚检测晶振的更换，加热源的检查分析。
一种蒸镀机维护装置

[发明专利]振子及其制造方法-CN201810148158.1有效
发明人：陈凤 -专利权人：深圳市飞荣达科技股份有限公司
申请日： 2018-02-13 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： C23C28/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种振子及其制造方法，制造方法包括以下步骤：S1、注塑成型制得具有预定结构的振子本体；S2、对所述振子本体的表面进行机械粗化处理，超声波清洗；S3、对所述振子本体进行化学镀镍，在所述振子本体的表面形成化学镍层；S4、在所述化学镍层上激光镭雕形成阻隔线，以在所述振子本体表面分隔出电镀区和非电镀区；S5、电镀铜处理，在所述振子本体的电镀区上形成镀铜层；S6、退化学镍处理，去除所述振子本体的非电镀区上的化学镍层；本发明的振子的制造方法，采用化学镀和电镀相结合进行镀层，相较于全化学镀的方式时间短、工艺成本低，提高了生产效率。
振子非电镀区化学镍层电镀区镀铜层制造表面形成化学化学镀和电镀超声波清洗粗化处理电镀锡层工艺成本化学镀镍激光镭雕生产效率预定结构注塑成型电镀铜电镀锡化学镀化学镍镀层分隔镍层去除阻隔

[实用新型]一种蒸镀膜厚校准装置-CN202123176500.5有效
发明人：岳小非;王煦;蔡长生;张悦;戴雷;蔡丽菲 -专利权人：四川阿格瑞新材料有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀膜厚校准装置，包括水晶晶振片、振荡器、控制系统、电源、蒸发源、校准机构和蒸镀室；所述蒸发源和所述水晶晶振片均位于所述蒸镀室内，所述水晶晶振片位于所述蒸发源的上方；所述水晶晶振片与所述振荡器电性连接，所述振荡器与所述控制系统电性连接；所述校准机构与所述水晶晶振片连接，所述校准机构与所述控制系统电性连接，所述控制系统和所述蒸发源均与所述电源电性连接。本实用新型的蒸镀膜厚校准装置，能够调节水晶晶振片与蒸发源之间的距离，保证固定频率变化的量不变，进而保证实际计算的蒸镀速率不变，降低最终得到的实际膜厚的误差。
一种镀膜校准装置

[实用新型]一种基站天线双极化天线振子-CN202020090055.7有效
发明人：赵伟;李传奇;那仁喜 -专利权人：广东通宇通讯股份有限公司
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： H01Q1/38 文献下载
摘要：一种基站天线双极化天线振子，包括振子和反射板，振子设有由塑料介质成型的振子主体，振子主体内部预埋贯穿振子主体上下表面的馈电柱，在振子主体的上表面镀一层具有2组极化方向正交的振子单元作为辐射片，在振子主体下表面镀馈电网络，馈电网络通过馈电柱与辐射片连接，振子主体固定在反射板上，使反射板与馈电网络不接触。该双极化天线振子重量轻，零件少，只需将振子和反射板进行装配即可使用，同样该结构减少了生产工序，性能一致性良好。所述方案可以通过激光直接成型技术实现比传统塑料电镀方案成本更低。
一种基站天线极化

[发明专利]一种真空蒸镀机的易冷却探头结构-CN202110738884.0在审
发明人：薛蒙晓 -专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： G01B17/02 文献下载
摘要：本申请提供一种真空蒸镀机的易冷却探头结构，所述易冷却探头结构用于检测被镀膜工件的镀膜膜层的厚度，所述易冷却探头结构包括探头固定件、冷却水管和腔体固定件，所述冷却水管与探头固定件连接，所述腔体固定件用于将所述易冷却探头结构与真空蒸镀机的主腔体板固定，所述探头固定件具有一个或多个凹槽，凹槽的底面具有一个通孔，晶振片设置在凹槽的底面上，探头设置在晶振片的上方并且探头的下端在凹槽的内部，所述探头固定件将晶振片和探头固定在凹槽相对应的位置，所述探头固定件的内部还具有冷却液流道
一种真空蒸镀机冷却探头结构

[实用新型]一种真空蒸镀机的易冷却探头结构-CN202121471033.6有效
发明人：薛蒙晓 -专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G01B17/02 文献下载
摘要：本申请提供一种真空蒸镀机的易冷却探头结构，所述易冷却探头结构用于检测被镀膜工件的镀膜膜层的厚度，所述易冷却探头结构包括探头固定件、冷却水管和腔体固定件，所述冷却水管与探头固定件连接，所述腔体固定件用于将所述易冷却探头结构与真空蒸镀机的主腔体板固定，所述探头固定件具有一个或多个凹槽，凹槽的底面具有一个通孔，晶振片设置在凹槽的底面上，探头设置在晶振片的上方并且探头的下端在凹槽的内部，所述探头固定件将晶振片和探头固定在凹槽相对应的位置，所述探头固定件的内部还具有冷却液流道
一种真空蒸镀机冷却探头结构

[实用新型]一种减少蒸镀速率波动的线性蒸镀源喷嘴结构-CN201721700138.8有效
发明人：童凯;曾兴中;肖冯俊树;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种减少蒸镀速率波动的线性蒸镀源喷嘴结构，在线性蒸镀源喷嘴结构的上方设置有低温多晶硅基板，在线性蒸镀源喷嘴结构的侧方设置有石英晶振片，线性蒸镀源喷嘴结构由至少八个喷嘴排列而成，其中位于中间的喷嘴为直立喷嘴，直立喷嘴的喷嘴口朝向所述低温多晶硅基板；位于两侧的至少各一个喷嘴为向外侧倾斜的倾斜喷嘴，倾斜喷嘴的喷嘴口朝向所述石英晶振片。本实用新型中石英晶振片只通过专用的两侧倾斜喷嘴来监控材料的实际蒸发速率，与用于将材料蒸发到LTPS基板的直立喷嘴互不干涉，从而减少因为中间用于LTPS基板蒸镀的直立圆柱喷嘴堵孔以及真空波动导致线性蒸发源扫描过程中的速率波动
线性蒸镀源喷嘴喷嘴直立石英晶振片倾斜喷嘴速率波动基板本实用新型低温多晶硅喷嘴口蒸镀蒸发膜厚均匀性线性蒸发源互不干涉基板蒸镀喷嘴排列扫描过程外侧倾斜圆柱喷嘴真空波动蒸镀膜层专用的侧方堵孔监控

[实用新型]薄膜厚度传感器和蒸镀设备-CN201320140108.1有效
发明人：元裕太;李周炫;梁逸南;洪瑞 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种薄膜厚度传感器和蒸镀设备，涉及蒸镀工艺技术领域，实现一个薄膜厚度传感器检测多个蒸发源蒸镀形成的薄膜厚度，从而降低了成本。该薄膜厚度传感器，用于蒸镀工艺中薄膜厚度的检测，包括：至少两个导向管，每个所述导向管的第一端位于同一位置，每个所述导向管的第二端分别朝向不同方向；所述导向管的第一端处设置有晶体振子和用于检测所述晶体振子谐振频率的检测装置；或者，每个所述导向管中设置有晶体振子，所述导向管的第一端处设置有用于检测每个所述导向管中晶体振子谐振频率的检测装置。蒸镀设备，包括：上述的薄膜厚度传感器；多个蒸发源；在所述薄膜厚度传感器中，每个导向管的第二端分别朝向每个所述蒸发源。
薄膜厚度传感器设备