专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种蒸镀机的维护腔装置-CN202320740074.3有效
  • 曹景博;黄明洋 - 合肥欣奕华智能机器股份有限公司
  • 2023-04-06 - 2023-06-20 - C23C14/54
  • 本实用新型公开了一种蒸镀机的维护腔装置,包括蒸镀装置、维护装置和移动热源,蒸镀装置的蒸镀腔用于放置蒸镀基板,所述移动热源的加热腔内固定安装有坩埚以及用于对坩埚进行加热的加热源,所述维护装置内设置维护腔,所述移动热源能够在蒸镀装置与维护装置之间移动,且加热腔分别与蒸镀腔、维护腔密封对接,所述蒸镀腔、加热腔的底部以及所述加热腔的顶部分别设置有可启闭的密封板。本实用结构简单,使用方便,通过将移动热源设置为能够在蒸镀装置与维护装置之间移动,使加热腔分别与蒸镀腔、维护腔密封连通,在维护腔可以进行蒸镀材料的添加、更换或者回收、膜厚检测晶振的更换,加热源的检查分析。在一定程度上提高了真空腔的清洁环境。
  • 一种蒸镀机维护装置
  • [实用新型]一种有机卤化物材料蒸镀用蒸发源装置-CN202222977570.9有效
  • 曹景博;王强 - 合肥欣奕华智能机器股份有限公司
  • 2022-11-08 - 2023-04-04 - C23C14/24
  • 本实用新型公开了一种有机卤化物材料蒸镀用蒸发源装置,包括金属卤化物蒸发源、有机卤化物蒸发源和基板,金属卤化物蒸发源、有机卤化物蒸发源均设置于基板待蒸镀面下方,两个有机卤化物蒸发源设置于金属卤化物蒸发源的两侧,金属卤化物蒸发源将金属卤化物材料蒸镀在基板上,金属卤化物蒸发源与基板之间形成金属卤化物蒸镀区域,两个有机卤化物蒸发源喷射在除基板上外的金属卤化物蒸镀区域中。该蒸发源装置提高了有机卤化物材料的利用率,同时有利于卤化物材料的均匀混合,提高了卤化物材料的成膜质量。
  • 一种有机卤化物材料蒸镀用蒸发装置
  • [发明专利]一种新型OLED蒸镀点源-CN202211422707.2在审
  • 曹景博;周文建 - 合肥欣奕华智能机器股份有限公司
  • 2022-11-15 - 2023-02-03 - C23C14/24
  • 本发明公开了一种新型OLED蒸镀点源,包括外筒、固定板、陶瓷环片、坩埚、冷却管和加热丝,所述外筒、固定板、坩埚自外向内依次固定,所述固定板为两端开口的管状结构,冷却管和加热丝通过陶瓷环片固定安装在固定板内侧,并环绕在坩埚周侧均匀分布,固定板内开设有多个环向均匀分布的竖槽以及与所述竖槽相连通的多层横槽,竖槽的顶部开口,所述陶瓷环片周侧具有与横槽和竖槽滑动配合的凸缘,所述陶瓷环片的环面上均匀开设有多个穿孔,加热丝由上下至少两层陶瓷环片的穿孔依次穿过。本发明通过旋转陶瓷环片,可以实现调整加热丝的固定位置或者直接将加热丝从内部直接取出,既能实现加热丝位置可调以降低开发生产成本,又能缩短点源内部维护时间。
  • 一种新型oled蒸镀点源
  • [实用新型]一种钙钛矿太阳能电池蒸镀机基板传输装置-CN202222606429.8有效
  • 曹景博;陈乃熙 - 合肥欣奕华智能机器股份有限公司
  • 2022-09-30 - 2023-01-20 - B65G13/06
  • 本实用新型公开了一种钙钛矿太阳能电池蒸镀机基板传输装置,包括伺服系统、传动轴以及至少一个传输模组,所述伺服系统与所述传动轴联接,所述传输模组包括传送箱、传动轴组、主轴和传送轮,所述主轴转动穿设在所述传送箱上,并通过正交齿轮箱与所述传动轴正交传动连接,所述传动轴组转动安装在所述传送箱上,其一端延伸出传送箱之外,多个传动轴组等间距水平方向排列分布,该传动轴组的最末端通过键和键槽与传送轮连接,所述传动轴组与所述主轴之间正交分布,并通过非接触磁力传动对传动连接。本实用结构简单,使用方便,可实现连续性半接触式传送,静音无尘,提升产品良率,延长维护周期。
  • 一种钙钛矿太阳能电池蒸镀机基板传输装置
  • [实用新型]一种晶振探头装置及真空镀膜装置-CN202221840266.3有效
  • 张训路;曹景博;张燕斌 - 合肥欣奕华智能机器股份有限公司
  • 2022-07-15 - 2022-12-27 - C23C14/24
  • 本实用新型公开了一种晶振探头装置,包括探头部,所述探头部包括探头主体以及与所述探头主体连接的防护罩;所述探头主体包括晶振片以及用于监控所述晶振片厚度的探头;所述防护罩包括与位于所述晶振片下方的网状板,所述网状板上设有至少一个通孔,所述晶振片通过所述网状板与所述探头主体的外部连通,本实用新型通过在晶振片的前方安装一个可拆卸的网状板,并且根据所需的蒸镀材料分子过滤比例在网状板上设置一定数量和尺寸的通孔,进而可以控制达到晶振片上的蒸镀材料的量,从而可以延长晶振片的使用寿命,而且,本申请的结构简单,拆卸方便,使用成本低。
  • 一种探头装置真空镀膜
  • [发明专利]一种基板运送装置-CN201811414800.2有效
  • 金薰;李兆晟;曹景博 - 合肥欣奕华智能机器股份有限公司
  • 2018-11-26 - 2022-09-09 - H01L21/677
  • 本发明提供了一种基板运送装置,该基板运送装置包括:支架;滑动装配在所述支架上可锁定在第一设定位置的第一支撑座,以及滑动装配在所述第一支撑座上并可锁定在第二设定位置的第二支撑座;其中,所述第一支撑座沿竖直方向滑动,所述第二支撑座沿水平方向滑动;还包括与所述第二支撑座固定连接并用于支撑基板的支撑臂;以及用于调整所述支撑臂下垂量的调整装置。在上述技术方案中,通过设置的调整装置调整支撑臂的下垂量,进而提高基板在放置时的准确性。进而提高基板在加工时的效率。
  • 一种运送装置
  • [发明专利]一种蒸镀装置及蒸镀方法-CN202011100696.7在审
  • 李灿;池珉昊;李承皇;曹景博 - 合肥欣奕华智能机器有限公司
  • 2020-10-15 - 2022-04-19 - C23C14/04
  • 本发明涉及掩膜版蒸镀领域,公开一种蒸镀装置及蒸镀方法,该蒸镀装置,包括:蒸镀室;设置在蒸镀室内用于运送非透明基板的托架;非透明基板具有至少一个第一对位标识;设置在托架用于对第一对位标识加热的加热器;用于对朝向蒸发源的非透明基板进行遮挡的掩膜版,掩膜版具有与第一对位标识一一对应的第二对位标识;位于蒸镀室外部的红外热成像仪,红外热成像仪确定第一对位标识的位置和第二对位标识的位置的距离差;用于控制托架移动的对位平台,根据距离差以使位于托架上的非透明基板的第一对位标识与第二对位标识对位。使掩膜版与非透明基板准确对位,提高了产品良率,降低了生产制造成本。
  • 一种装置方法

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