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[发明专利]一种纳米压印方法和装置-CN202211335534.0在审
发明人：徐继祥;赵沙欧;孟祥峰 -专利权人：浙江至格科技有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种纳米压印方法和装置，属于纳米压印技术领域，解决了现有的方法会造成聚合物溢出玻璃基体外或微纳结构填充不够的问题。包括：(1)向软模板设置有微纳图形的一面喷涂聚合物胶水层，使聚合物胶水层覆盖所述微纳图形，且聚合物胶水层的厚度大于微纳图形的厚度；(2)将软模板喷涂有聚合物胶水层的一面与玻璃基体相对接触，进行压印，使用紫外线灯照射，待聚合物胶水层固化后，去除带有微纳图形的软膜板，具有微纳图形的聚合物胶水层留在玻璃基体表面，即得到具有微纳图形的玻璃基体。该方法可以避免聚合物外溢和结构填充不完整。
一种纳米压印方法装置

[发明专利]一种微流道结构及其制备方法-CN201710750856.4有效
发明人：毛海央;李锐锐;杨宇东 -专利权人：中国科学院微电子研究所;昆山光微电子有限公司
申请日： 2017-08-28 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种微流道结构，尤其是一种微流道结构及其制备方法，属于微流道的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述微流道结构，包括微流道衬底；还包括设置于微流道衬底上的图形化烛灰纳米颗粒层，利用所述图形化烛灰纳米颗粒层能在微流道衬底上形成所需的表面微流道阵列。本发明结构紧凑，能实现试剂中生物、化学相关物质在基底表面的图形化，制备工艺简单易行，适用的生物、化学物质范围广，衬底材料的可选择范围宽，具有普遍适用性，安全可靠。
一种微流道结构及其制备方法

[发明专利]微透镜微图形组合薄膜-CN99114800.2无效
发明人：陈波;郭履容;曾红军;韦辉 -专利权人：四川大学
申请日： 1999-04-21 - 公布日： 2000-10-25 - 主分类号： G02B27/22 文献下载
摘要：微透镜微图形组合薄膜,由微透镜列阵层、塑料基底层和微细图形层紧贴组合而成,其中,微细图形的结构与微透镜列阵的结构相匹配。材料组合方式有三种,即镜、塑、图;镜、图、塑;镜、塑、图、塑。微透镜单元有三种,即方形、六角形、或圆形透镜。微透镜排列方式分别为正方形、六角形、或圆形边缘接触排列方式。该膜同时保留了水平视差和垂直视差;在任何光环境下均显三维图形;观察角大,无需特殊观察技巧;不易被仿造。
透镜图形组合薄膜

[发明专利]GaN基图形衬底模板的制备方法-CN201010136249.7无效
发明人：张佰君;卫静婷;饶文涛 -专利权人：中山大学
申请日： 2010-03-26 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：本发明涉及一种GaN基图形衬底模板的制备方法。该方法包括以下步骤：在衬底上生长一层用于氮化物外延生长的GaN基模板；用微球溶液在GaN基模板表面铺设微球，形成单分子层结构的微球层；在衬底上进行金属蒸镀，蒸镀的金属通过微球之间的空隙沉积到GaN基模板的表面；通过超声震动去除单分子层结构的微球层，得到图形化的金属层；利用该金属层作为掩膜，通过刻蚀方式将金属层上的图形转移到GaN基膜板上；去除金属层，得到GaN基材料图形衬底模板。该方法工艺简单，成本较低，图形凹坑大小及间距可控的微米级半导体衬底图形制备方法。
gan 图形衬底模板制备方法

[实用新型]一种测量物体转动角度的系统-CN201922114247.7有效
发明人：王德麾;黄鹏;谢志梅;姜世平;董小春 -专利权人：四川芯辰光微纳科技有限公司
申请日： 2019-12-02 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：所述系统包括CCD相机，微结构高分子薄膜，待测物体以及与CCD相机连接的显示器，所述微结构高分子薄膜贴于待测物体表面，所述微结构高分子薄膜朝着放置CCD相机的方向。所述微结构高分子薄膜包括微透镜阵列层、高分子薄膜层和微图形阵列层，微透镜阵列层和微图形阵列层分别设置于高分子薄膜层的上下表面通过在高分子薄膜的上下表面分别制备微透镜阵列和微图形阵列，从而获得微结构高分子薄膜，将该薄膜与待测物体正对着CCD相机的表面贴合，其表面的图形位移可以通过CCD探测。当物体发生转动时，通过探测图形的位移，结合位移大小与转角大小的关系，可以算出物体发生转动的角度。
一种测量物体转动角度系统

[发明专利]一种通过可控微图形增强钛氧薄膜光催化性能的方法及其应用-CN201610831691.9有效
发明人：文峰;刘洪武;薛键璐;魏博;黄晓屿 -专利权人：海南大学
申请日： 2016-09-19 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： B01J21/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种通过可控微图形增强钛氧薄膜光催化性能的方法及其应用，先通过光刻法和刻蚀法在基底上表面形成立体的微图形结构，然后再在具有立体微图形结构的基底上制备钛氧薄膜层。本发明对钛氧薄膜结构进行了较大改进，先在基底材料上制作立体微图形再镀膜，使得镀膜后的钛氧薄膜也保持着立体微图形结构。这种操作方法和结构的改变使所得薄膜对所能吸收的所有波段的光的利用率均提高，大大提高了光的整体利用率，实现了增强钛氧薄膜光催化性能的目的，而不同于掺杂改性等方法使薄膜吸收红移的思路。
钛氧薄膜光催化性能微图形结构微图形镀膜可控薄膜光催化降解基底上表面整体利用率薄膜吸收掺杂改性基底材料有机物光刻法波段红移基底刻蚀制备应用废水验证试验吸收制作改进

[发明专利]基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法-CN201711405281.9在审
发明人：冯飞;田博文;李昕欣 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2019-07-02 - 主分类号： H01L27/06 文献下载
摘要：本发明提供一种基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法，包括：SOI硅片，具有衬底硅、埋氧层以及顶层硅；图形化堆叠结构，包含交叉网状结构，其下方具有释放槽，图形化堆叠结构悬挂于释放槽中；盖基片，键合于顶层硅，盖基片具有微沟槽，图形化堆叠结构位于微沟槽内；微色谱柱的微沟道，形成于衬底硅中，微沟道内具有微柱阵列，微沟道与释放槽连通；底基片，键合于衬底硅，以形成包含微沟槽、释放槽及微沟道的微通道。本发明的微热导检测器和微色谱柱分别位于SOI硅片的顶层硅和衬底硅上，增加了设计的灵活性和工艺制作的可控性。本发明无需额外的连接部件，具有死体积低、灵敏度高等优点。
衬底硅色谱柱释放槽微沟道检测器堆叠结构顶层硅图形化微沟槽微热集成芯片键合制备工艺制作连接部件网状结构微柱阵列可控性灵敏度埋氧层微通道连通悬挂

[实用新型]基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片-CN201721815749.7有效
发明人：冯飞;田博文;李昕欣 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： H01L27/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片，包括：SOI硅片，具有衬底硅、埋氧层以及顶层硅；图形化堆叠结构，包含交叉网状结构，其下方具有释放槽，图形化堆叠结构悬挂于释放槽中；盖基片，键合于顶层硅，盖基片具有微沟槽，图形化堆叠结构位于微沟槽内；微色谱柱的微沟道，形成于衬底硅中，微沟道内具有微柱阵列，微沟道与释放槽连通；底基片，键合于衬底硅，以形成包含微沟槽、释放槽及微沟道的微通道。本实用新型的微热导检测器和微色谱柱分别位于SOI硅片的顶层硅和衬底硅上，增加了设计的灵活性和工艺制作的可控性。本实用新型无需额外的连接部件，具有死体积低、灵敏度高等优点。
衬底硅色谱柱释放槽微沟道检测器本实用新型堆叠结构顶层硅图形化微沟槽微热集成芯片键合工艺制作连接部件网状结构微柱阵列可控性灵敏度埋氧层微通道连通悬挂

[发明专利]大面积微纳结构软压印方法-CN200710099102.3无效
发明人：董小春;杜春雷;史立芳;罗先刚 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2007-05-11 - 公布日： 2007-10-10 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：大面积微纳结构软压印方法：首先采用光刻方法在硬质基底表面加工需要微纳图形结构，在加工完成的硬质模板表面涂预聚的有机材料PDMS，完成软质模板的制作；将软质模板的非图形面黏附于经过双面抛平的基片表面，并滴加有机材料抗蚀剂进行旋涂，旋涂后从基片表面取下，并将软质模板的结构面与基片的抛光面进行紧密接触；将软质模板从基片表面掀掉，有机材料抗蚀剂材质的微纳结构将被遗留在基片表面，进行热烘焙固化处理，并通过干法刻蚀工艺即可去除底胶或将微纳图形转移至基底表面本发明不仅解决了大面积范围内微纳图形的高保真度、高一致性压印复制问题，减小了压印微纳图形性的留膜量，可以实现特征尺寸从几十微米到几十纳米范围内微纳结构的高精度复制。
大面积结构压印方法

[发明专利]一种几何约束下的电场诱导微复型方法-CN201110150644.5有效
发明人：邵金友;刘红忠;丁玉成;田洪淼;李祥明;李欣 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2011-06-07 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公布了一种几何约束下电场诱导的微复型方法，该方法为：制备具有一定图形结构的模板，并进行相应的表面处理，在模板和涂覆有光固化胶的基材之间引入合适的电场，使光固化胶在电场力作用下完成微复型过程，然后用紫外线曝光固化，再采用干法氧气刻蚀进行后处理，从而制得与模板的图形结构互补的微纳结构。本发明可以广泛应用于各种微纳器件的加工，例如：芯片实验室、高电容解耦式电容器、太阳能电池、平板式显示器(OLED、SED、LCD)等。这种微复型工艺制备的图形结构与模板的图形结构相符，其特征结构尺寸为微米级至纳米级。
一种几何约束电场诱导微复型方法

[发明专利]一种精密数字化微纳米压印的方法-CN200710132387.6有效
发明人：申溯;陈林森;魏国军;周雷;周小红;解正东;吴智华 -专利权人：苏州苏大维格数码光学有限公司;苏州大学
申请日： 2007-09-13 - 公布日： 2008-02-27 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种精密数字化微纳米压印的方法，其特征在于，包括下列步骤：(1)将待压印的微纳结构图形划分为微区单元阵列；(2)根据微区单元制作压印模仁；(3)确定压印模仁与待压印基板的相对位置，进入第一个压印工作位；(4)进行一个微区单元的微纳结构图形压印；(5)改变压印模仁与待压印基板的相对位置，至下一个压印工作位；(6)重复步骤(4)和(5)，至完成所有微区单元的压印。本发明通过小面积压印结构的拼接，实现了大幅面的微纳结构图形制作，解决了现有技术中当模仁面积增大时，发生图形畸变的可能性也随之增大的问题；并且扩大了微纳米压印的应用范围。
一种精密数字化纳米压印方法

[发明专利]一种衬底表面的微处理方法、复合衬底及LED外延片-CN202110835665.4有效
发明人：曾广艺 -专利权人：广东中图半导体科技股份有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种衬底表面的微处理方法、复合衬底及LED外延片，微处理方法包括：通过提供衬底，在衬底的一侧表面沉积非晶膜层，在非晶膜层远离衬底的一侧制备掩膜图形层，将制备完掩膜图形层的衬底进行时效处理，以使掩膜图形层向非晶膜层扩散，在非晶膜层的与掩膜图形层接触的界面形成扩散层，进一步图形化时效处理后的衬底，形成多个图形结构，由于扩散层与非晶膜层的致密度不同，当刻蚀时图形结构的表面形成有多个微结构凸起本发明实施例提供的微处理方法可以对图形化衬底的图形结构表面进行粗化调控而不影响其它位置表面，增加图形结构的表面面积，提高图形化衬底的光反射效率，进而能够增加LED外延片外量子效率。
一种衬底表面处理方法复合 led 外延

[发明专利]具有微纳结构的薄膜制备方法及采用该薄膜的摩擦发电机-CN201310313590.9有效
发明人：赵豪;刘贤豪;李建平;孙利佳;王竹 -专利权人：纳米新能源（唐山）有限责任公司
申请日： 2013-07-24 - 公布日： 2015-02-11 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：具有微纳结构的薄膜的制备方法及采用该薄膜的摩擦发电机。该方法包括：1）制备图形化模板，在金属线基底层一侧表面上设置具有图形化的金属线层，得到图形化模板；所述金属线层由图形化金属线形成；2）制作一侧表面具有微纳结构的高分子薄膜，在步骤1）制备的图形化模板上涂覆高分子材料的浆料，待浆料固化后将其从模板剥离，得到一侧表面具有微纳结构的高分子薄膜。本发明提供的具有微纳结构的薄膜的制备方法可以方便地制造出摩擦发电机，且制造过程简单，成本低。
具有结构薄膜制备方法采用摩擦发电机

[发明专利]一种反射微透镜阵列成像装置及制造方法-CN202110655353.5在审
发明人：谢志梅;王德麾;姜世平;董小春;钟勇 -专利权人：四川芯辰光微纳科技有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种反射微透镜阵列成像装置及制造方法，包括一层微结构阵列、一层透明薄膜、一层第二微透镜阵列和一层反射材料体；微结构阵列包括第一微透镜阵列或微图形阵列；第二微透镜阵列由多个子透镜排布而成；第一微透镜阵列由多个子透镜排布而成，且该排布方式与第二微透镜阵列中的子透镜的排布方式相同；微图形阵列由多个子图形排布而成，且该排布方式与第二微透镜阵列中的子透镜的排布方式相同等；本发明实现了图像的裸眼动态显示，可以实现更加轻薄的系统结构，实现了对微透镜的保护，较少磨损，延长装置使用寿命，降低了制造成本。
一种反射透镜阵列成像装置制造方法

[实用新型]一种反射微透镜阵列成像装置-CN202121320248.8有效
发明人：谢志梅;王德麾;姜世平;董小春;钟勇 -专利权人：四川芯辰光微纳科技有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种反射微透镜阵列成像装置，包括一层微结构阵列、一层透明薄膜、一层第二微透镜阵列和一层反射材料体；微结构阵列包括第一微透镜阵列或微图形阵列；第二微透镜阵列由多个子透镜排布而成；第一微透镜阵列由多个子透镜排布而成，且该排布方式与第二微透镜阵列中的子透镜的排布方式相同；微图形阵列由多个子图形排布而成，且该排布方式与第二微透镜阵列中的子透镜的排布方式相同等；本实用新型实现了图像的裸眼动态显示，可以实现更加轻薄的系统结构，实现了对微透镜的保护，较少磨损，延长装置使用寿命，能够降低制造成本。
一种反射透镜阵列成像装置