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- [发明专利]一种调光薄膜-CN201710849828.8在审
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李玉清
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海安浩驰科技有限公司
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2017-09-19
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2018-01-12
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G02B3/00
- 本发明有关于一种调光薄膜，包括由下向上依次复合层叠的透明基材层和调光功能层，其特征是，所述调光功能层包括上表面和/或下表面设有图形化沟槽的形状记忆聚合物薄膜层、内嵌在图形化沟槽中的导电薄膜和设置在导电薄膜两端的电极；所述透明基材层的光入射面具有两个或两个以上微透镜结构，且该透明基材的光出射面具有两个或两个以上微柱状棱镜结构，其中每个微透镜结构的曲率为45μm‑1至550μm‑1，微透镜结构与微柱状棱镜结构的表面涂有透明的聚氨酯树脂
- 一种调光薄膜
- [发明专利]一种微纳结构固化方法-CN201811640086.9在审
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李勇滔;景玉鹏
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中国科学院微电子研究所
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2018-12-29
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2020-07-07
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G03F7/40
- 本发明提供一种微纳结构固化方法，所述方法包括，将经显影后具有微纳图形结构的晶圆放置于去离子水的溶液中，用去离子水置换出晶圆上的显影液；将置换完成的晶圆放置在微波干燥腔室内的载片台上，开启真空吸附装置以便将晶圆固定在载片台上；启动微波功率源，通过微波耦合匹配器将微波功率完全施加至微波干燥腔室内，对晶圆上的微纳图形结构进行微波干燥固化；微波功率源开启一段时间后，启动与微波干燥腔室连接的真空泵组，将腔室内的水汽排除至腔室外，直至固化完毕本发明微纳固化方法能够有效彻底地清除晶圆上的水分，进而干燥固化微纳结构，并且固化过程不会导致这些微纳结构塌陷。
- 一种结构固化方法
- [发明专利]通用性薄膜材料图形化方法-CN200710047946.3无效
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丁桂甫;蔡豪刚;杨卓青
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上海交通大学
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2007-11-08
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2008-03-19
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B81C1/00
- 本发明公开一种微机械加工技术领域的通用性薄膜材料图形化方法。本发明通过光刻或掩模电镀在基片上制备一次性平面微模具；在整个基片范围内淀积薄膜材料，填满微模具的空隙；通过研磨加工去除薄膜高出微模具的多余部分，并减至所需厚度；选择性去除一次性平面微模具，得到所需微结构本发明既可制造单层结构，也可制造叠层结构，且可与牺牲层工艺相结合，制造悬空结构，具有不受薄膜材料、厚度、淀积方法，以及衬底材料限制，通用化的优点，解决了一些薄膜材料用常规方法无法制造具有较大厚度以及整齐边界微结构的问题，工艺简单，图形化质量较高，与常规微加工工艺兼容，不需特殊的工艺或设备，易于推广。
- 通用性薄膜材料图形方法
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