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- [发明专利]离子注入方法和离子注入装置-CN201010262386.5有效
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中尾和浩
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日新离子机器株式会社
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2010-08-25
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2011-10-19
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H01J37/317
- 在由向玻璃基板上照射的多个离子束形成的重叠区域中,可以高效地调整各离子束的束电流密度分布。所述离子注入方法包括:束电流密度分布调整工序,按预先确定的顺序,把多个带状离子束分别调整为规定的束电流密度分布;目标修正工序,在束电流密度分布调整工序期间,在对第二个以后的各离子束调整束电流密度分布之前,使用先调整了束电流密度分布的调整结果,针对此后要调整束电流密度分布的离子束,修正作为调整目标的规定的束电流密度分布;以及玻璃基板输送工序,在与多个带状离子束的长边方向交叉的方向上输送玻璃基板。
- 离子注入方法装置
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