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- [发明专利]功率半导体器件-CN201180029814.2有效
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L·施托拉施塔;A·科普塔;M·拉希莫
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ABB技术有限公司
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2011-06-17
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2013-02-13
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H01L29/739
- (3)与集电极电极(25)之间,p掺杂基极层(4),其设置在漂移层(3)与发射极电极(2)之间,该基极层(4)与发射极电极(2)直接电接触,n掺杂源区(6),其设置在发射极侧(11)且嵌入基极层(4)内并且接触发射极电极(2),栅电极(7),其与基极层(4)、源区(6)和漂移层(3)电绝缘。发射极电极(2)在接触区域(22)内接触基极层(4)和源区(6)。有源半导体单元(18)在晶圆(10)内形成,有源半导体单元(18)包括层或这样的层的部分:其位于关于与源区接触的发射极电极的接触区域(22)的发射极侧(11)、所述源区(6)和基极层(4)的该处能够形成导电沟道的这样的部分的正交投影中器件进一步包括p掺杂阱(5),其设置在与基极层(4)相同的平面中,但在有源单元(18)的外部。阱(5)直接或经由基极层(4)至少其中之一方式电连接到发射极电极(2)。
- 功率半导体器件
- [发明专利]绝缘栅型半导体装置-CN03130616.0有效
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斋藤涉;大村一郎;相田聪
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株式会社东芝
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2003-04-28
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2003-11-05
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H01L29/78
- 包括例如选择性地形成在n-漂移层(11)的表面的多个P基极层(12),分别形成在各P基极层(12)的表面的n+源极层(13),形成在n-漂移层(11)的背面侧的n+漏极层(15),与该n+漏极层(15)连接的漏极(21),与P基极层(12)及n+源极层(13)连接的多个源电极(22),通过栅极绝缘膜(23)形成在源电极(22)之间的栅极电极(24),选择性地设置在该栅极电极(24)下面的n-漂移层(11)的表面、与P基极层(12)的-个连接并具有比P基极层(12)低的不纯物浓度的p层(14)构成。
- 绝缘半导体装置
- [发明专利]半导体装置-CN201380028289.1有效
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住友正清;深津重光
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株式会社电装
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2013-05-28
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2017-11-07
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H01L29/78
- 一种半导体装置,具备第1导电型的漂移层(13);第2导电型的基极层(14),形成在漂移层的表层部;第2导电型的集电极层(11),形成在与漂移层中的基极层隔开间隔的位置;多个栅极绝缘膜(16),形成在基极层的表面;多个栅极电极(17a,17b),分别形成在栅极绝缘膜上;发射极层(20),形成在基极层的表层部;发射极电极(23),与发射极层及基极层电连接;以及集电极电极(24),与集电极层电连接。发射极层仅与栅极绝缘膜中的配置上述一部分的栅极电极的栅极绝缘膜相接。
- 半导体装置
- [发明专利]硅双极晶体管的制造方法-CN00816239.5无效
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T·约翰松;H·诺尔斯特伦
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艾利森电话股份有限公司
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2000-11-22
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2003-02-26
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H01L21/331
- 公开了一种在硅双极晶体管制造中用来制作基极区和用来开发射极窗口的方法,它包含下列步骤提供具有器件隔离(3)的硅衬底(1);在所述衬底中或其顶部制作第一基极区(5);在所述第一基极区上制作薄的氧化物层(7);在所述薄的氧化物层顶部制作硅层(9),所述硅层将作为第二基极区;对所述硅层进行离子注入;在所述硅层顶部制作电介质层(11),所述电介质用来隔离所述晶体管的基极区和发射极区;对这样得到的结构进行图形化,以便确定发射极窗口(15);对所述确定的发射极窗口区域内的结构进行蚀刻,穿过电介质层和硅层,其中薄的氧化物层被用作蚀刻停止层,从而形成发射极窗口;以及随后对结构进行热处理,使氧化物破裂,致使第一和第二基极区彼此接触
- 双极晶体管制造方法
- [发明专利]功率半导体器件-CN200680026776.4有效
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穆纳福·拉希莫;彼得·斯特赖特
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ABB技术有限公司
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2006-07-18
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2008-07-23
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H01L29/744
- 具有四层npnp结构的功率半导体器件(1)可通过栅电极(5)被关断。第一基极层(8)包括与阴极区域(6)相邻的阴极基极区域(81)和栅极基极区域(82),该栅极基极区域(82)与栅电极(5)相邻但设置成与阴极区域(6)间隔一段距离,栅极基极区域(82、82’)在至少一个第一深度处具有与阴极基极区域为了调制阻挡状态中的场和使从阴极产生的空穴在被驱入动态雪崩中时散开,栅极基极区域(82、82’)具有比阴极基极区域(81)高的掺杂浓度,和/或栅极基极区域(82)具有比阴极基极区域(81)深的深度。
- 功率半导体器件
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