专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]金属氧化物薄膜的制备方法-CN201911114758.7在审
  • 彭钊 - TCL华星光电技术有限公司
  • 2019-11-14 - 2020-05-01 - C23C18/12
  • 一种金属氧化物薄膜的制备方法,所述方法包括:提供一金属氧化物的一前驱盐类;将所述前驱盐类与一促进剂、一溶剂混合均匀得到一前驱盐类溶液;将所述前驱盐类溶液涂布于一基板,并去除多余的所述前驱盐类溶液形成一前驱物膜层;以及以一烘烤温度对所述基板上的所述前驱物膜层进行一烘烤程序,所述烘烤温度为不超过200℃,以形成所述前驱盐类对应的所述金属氧化物薄膜。
  • 金属氧化物薄膜制备方法
  • [发明专利]掺杂半导体膜-CN202180069574.2在审
  • A·爱丁;程睿;杨毅;K·尼塔拉;K·嘉纳基拉曼;戚波;A·B·玛里克 - 应用材料公司
  • 2021-09-15 - 2023-06-30 - H01L21/033
  • 示例性沉积方法可包括将含硅前驱物和含硼前驱物输送至半导体处理腔室的处理区域。方法可包括用含硅前驱物和含硼前驱物输送含掺杂剂的前驱物。含掺杂剂的前驱物可包括碳、氮、氧或硫中的一者或多者。方法可包括在半导体处理腔室的处理区域中形成所有前驱物的等离子体。方法可包括在设置在半导体处理腔室的处理区域中的基板上沉积硅和硼材料。硅和硼材料可包括来自含掺杂剂的前驱物的大于或约1原子%的掺杂剂。
  • 掺杂半导体
  • [发明专利]一种提高ALD膜厚均匀性的方法-CN202311221317.3在审
  • 陈庆敏;卓倩武;俞玉松;张旭冉;贾建英 - 无锡松煜科技有限公司
  • 2023-09-21 - 2023-10-27 - C23C16/455
  • 本发明膜制备过程包括如下步骤:将基底放置于所述反应腔内,并对所述反应腔进行抽真空和升温处理;通入水前驱体到反应腔,对硅片进行预处理;通入铝前驱体,沉积于硅片表面;通入惰性保护气吹扫;通入水前驱体,用于与铝前驱体反应;通入惰性保护气,用于吹扫掉多余的水前驱体;重复上述步骤数次。在通入铝前驱体或者水前驱体的同时,通入一定量的惰性保护气,如氮气,这样氮气和铝前驱体或者水前驱体进入后混合,能够把反应气体均匀分散开来,就能够解决大产能反应腔室中部分位置量少的现象。
  • 一种提高ald均匀方法
  • [发明专利]原子层沉积装置及方法-CN201811613536.5有效
  • 赵雷超;史小平;兰云峰;秦海丰;纪红;张文强 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2018-12-27 - 2021-05-07 - C23C16/455
  • 本申请公开了一种原子层沉积装置及方法,该原子层沉积装置包括:反应腔室,分别经由第一前驱体传输管路和第二前驱体传输管路通入第一前驱体和第二前驱体;供给气缸和回收气缸,两气缸分别连接至第二前驱体传输管路,并且经由连通管路彼此连接;其中,通过对所述供给气缸与所述回收气缸的容积进行控制,从而经由所述回收气缸回收至少部分所述第二前驱体并通过连通管路将其导回至供给气缸中。通过对第二前驱体的回收利用,减少了第二前驱体的浪费,也防止了其与第一前驱体在真空泵中发生反应,延长了真空泵的使用寿命。
  • 原子沉积装置方法
  • [实用新型]可分离式新型轮椅车-CN201621383442.X有效
  • 孙宏伟;熊灿;李瑷莲;刘振达;乔贝;杜鑫 - 东北石油大学
  • 2016-12-16 - 2017-06-16 - B62K5/007
  • 一种可分离式新型轮椅车,涉及轮椅技术领域,它包括驱动系统和轮椅主体,驱动系统与轮椅主体相连接,驱动系统包括前驱动车轮、前驱动保护外壳、驱动装置和驱动操作盘,驱动装置内设有蓄电池箱和电动机,驱动装置底端设有前驱动底盘,前驱动底盘上垂直设有前驱动车轮,前驱动底盘一端设有前驱动凸起,前驱动凸起与轮椅主体连接,轮椅主体包括车架、气囊座椅、气囊靠背、前车轮和后车轮,车架与前驱凸起连接。
  • 可分离新型轮椅车
  • [实用新型]一种洗碗机控制电路及洗碗机-CN202221843864.6有效
  • 黄财贵;邓波;杨象春 - 深圳拓邦股份有限公司
  • 2022-07-18 - 2022-12-16 - A47L15/42
  • 本实用新型涉及一种洗碗机控制电路及洗碗机,包括:设置于洗碗机的门把手上,并在门把手受力时生成压力检测信号的压力检测模块;连接压力检测模块,用于接收压力检测信号并输出控制电平的控制器;连接控制器和洗碗机的水泵工作电路,用于接收控制电平以导通或关断的开关模块;其中,水泵工作电路在开关模块导通时工作,在开关模块关断时停止工作。实施本实用新型能够在门打开之前驱动水泵停止工作,有效的防止溅水。
  • 一种洗碗机控制电路
  • [发明专利]钙钛矿固相前驱体及制备方法、钙钛矿材料的制备和应用-CN202210565413.9在审
  • 杨世和;肖爽;何易 - 北京大学深圳研究生院
  • 2022-05-23 - 2022-09-20 - C07C209/00
  • 本申请属于光电技术领域,尤其涉及一种钙钛矿固相前驱体及制备方法,以及一种钙钛矿材料的制备和应用。其中,钙钛矿固相前驱体的制备方法,包括步骤:制备钙钛矿前驱体溶液;在钙钛矿前驱体溶液中添加水进行配位反应,将钙钛矿前驱体溶液转化成钙钛矿固相前驱体。本申请钙钛矿固相前驱体的制备方法,可在空气中进行,制备的钙钛矿固相前驱体中游离的卤素离子含量少,显著提高钙钛矿前驱体在环境中稳定性。使得钙钛矿固相前驱体可直接在含有水、氧的空气氛围中制备钙钛矿,提高制备灵活性,降低对环境及设备的限制,大幅度降低了制备生产成本。另外,钙钛矿固相前驱体也有利于提高钙钛矿的成膜均匀性,减少钙钛矿薄膜缺陷,提高薄膜质量。
  • 钙钛矿固相前驱制备方法钙钛矿材料应用

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