[发明专利]应用于极紫外光刻光源的CO2 在审
| 申请号： | 202311171796.2 | 申请日： | 2023-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN116914551A | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 潘其坤;郭劲;于德洋;陈飞;张冉冉;赵崇霄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S3/134 | 分类号： | H01S3/134;H01S3/13;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明涉及极紫外光刻技术领域，具体提供一种应用于极紫外光刻光源的CO |
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| 搜索关键词： | 应用于 紫外 光刻 光源 co base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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