[发明专利]一种激光器功率快速稳定的方法有效

专利信息
申请号: 201510211187.4 申请日: 2015-04-29
公开(公告)号: CN104836110B 公开(公告)日: 2018-08-07
发明(设计)人: 朱云峰;朱小明;张永青 申请(专利权)人: 东莞市鼎先激光科技股份有限公司
主分类号: H01S3/134 分类号: H01S3/134
代理公司: 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 代理人: 殷齐齐
地址: 523000 广东*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种激光器功率快速稳定的方法,包括激光器的激光谐振腔,设有一第一电磁阀、一第二电磁阀、第三电磁阀和一第四电磁阀,通过控制该四个电磁阀的开启时间使该激光谐振腔内的工作气体快速达到工作压力,从而使激光器功率快速稳定,公式为:V1*T1+V2*T2=V3*T3+V4*T4,本发明结构合理巧妙,工艺成熟,通过对激光器腔体的测量以及电气元器件的精准控制建立的数学模型,实现对激光器腔体内部工作气体压力控制,实时控制激光器腔体气体的变化,并且能方便的修改各种参数,快速准确的实现激光器腔体的气量控制,使激光器功率快速稳定。
搜索关键词: 一种 激光器 功率 快速 稳定 方法
【主权项】:
1.一种激光器功率快速稳定的方法,包括激光器的激光谐振腔,其特征在于:于该激光谐振腔上按工作气体进给方向依次设有两进气支路、两出气支路,于该两进气支路上分别设有一第一电磁阀、一第二电磁阀,于该两出气支路上分别设有一第三电磁阀、一第四电磁阀,通过控制该四个电磁阀的开启时间使该激光谐振腔内的工作气体快速达到工作压力,从而使激光器功率快速稳定,公式为:V1*t1+V2*t2=V3*t3+V4*t4,其中,设定所述第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀和第四电磁阀处的工作气体流量分别为V1、V2、V3和V4,设定该第一电磁阀至第四电磁阀开启的时间分别为t1至t4。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市鼎先激光科技股份有限公司,未经东莞市鼎先激光科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510211187.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 一种激光器功率快速稳定的方法-201510211187.4
  • 朱云峰;朱小明;张永青 - 东莞市鼎先激光科技股份有限公司
  • 2015-04-29 - 2018-08-07 - H01S3/134
  • 本发明公开了一种激光器功率快速稳定的方法,包括激光器的激光谐振腔,设有一第一电磁阀、一第二电磁阀、第三电磁阀和一第四电磁阀,通过控制该四个电磁阀的开启时间使该激光谐振腔内的工作气体快速达到工作压力,从而使激光器功率快速稳定,公式为:V1*T1+V2*T2=V3*T3+V4*T4,本发明结构合理巧妙,工艺成熟,通过对激光器腔体的测量以及电气元器件的精准控制建立的数学模型,实现对激光器腔体内部工作气体压力控制,实时控制激光器腔体气体的变化,并且能方便的修改各种参数,快速准确的实现激光器腔体的气量控制,使激光器功率快速稳定。
  • 激光振荡装置-201380004221.X
  • 山本敦树;西村哲二 - 松下知识产权经营株式会社
  • 2013-03-13 - 2017-02-01 - H01S3/134
  • 本发明的激光振荡装置,在使激光振荡装置从停止状态启动时,使气体循环通路以及光谐振器的内部的滞留气体从通过气体压力控制器而打开的气体排出用阀排出。在打开时间运算器根据之前紧接的激光振荡装置的停止时间而算出的时间的期间,介由通过气体压力控制器打开的气体提供阀,将激光媒质气体提供器与气体提供用阀之间的配管内的激光媒质气体和滞留气体一起排出。由此,能降低使用阀数、削减成本,进而能抑制激光媒质气体的消耗。
  • 预电离与主放电时序控制装置及方法-200910045239.X
  • 曹昇炜 - 上海微电子装备有限公司
  • 2009-01-13 - 2009-12-09 - H01S3/134
  • 本发明提出一种气体放电激光器预电离与主放电时序控制装置与方法。气体放电激光器预电离与主放电时序控制装置包括输入端、预电离放电回路、主放电回路、时间测量单元和控制单元。本发明通过保证预电离与主放电时间间隔的稳定性,进一步提高激光器放电的均匀性,为光刻机提供稳定的光源输出。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top